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一种用于人工晶体炉的旋转及升降装置制造方法及图纸

技术编号:36308255 阅读:53 留言:0更新日期:2023-01-13 10:33
一种用于人工晶体炉的旋转及升降装置,涉及人工晶体制备领域,本实用新型专利技术通过在立柱的顶端设置旋转机构,然后在旋转机构中悬臂立柱的上面设置升降机构,通过升降机构中卷筒上的钢丝绳带动炉室或坩埚或冷却屏或自动加料装置进行吊装,由于钢丝绳与吊装物的连接形式为挂接,可以实现多种吊装物的随意切换等,有效的提高了本装置的应用范围及吊装效率等,本实用新型专利技术具有结构简便,使用方便等特点,适合大范围的推广和应用。范围的推广和应用。范围的推广和应用。

【技术实现步骤摘要】
一种用于人工晶体炉的旋转及升降装置


[0001]本技术涉及人工晶体制备领域,尤其涉及一种旋转及升降装置,具体涉及一种用于人工晶体炉的旋转及升降装置。

技术介绍

[0002]已知的,人工晶体炉是制备人工晶体材料时的专用设备,以制备多/单晶硅为例,现有人工晶体炉在使用时,首先将坩埚通过天车或移动的升降车吊装到坩埚支撑座上,然后将炉室通过位于立柱侧边的升降装置吊起并套接在坩埚的外围,锁紧锁扣将炉室与炉底或炉室与炉筒短接固连在一起形成一个密闭的腔体,然后通过对坩埚加热将坩埚内的硅料进行熔化,待坩埚内的硅料熔化后,上提拉机构带动籽晶下降,当籽晶的下端头与坩埚内的熔液接触并熔为一体后,上提拉机构带动籽晶缓慢上升,此时,熔液跟随籽晶同时上升,当粘附在籽晶上的熔液逐渐脱离坩埚内的熔液后,随着温度的降低,粘附在籽晶上的熔液逐渐结晶,进而形成所需的新的晶体。
[0003]专利技术人通过检索发现,现有人工晶体炉的具体结构可参见中国专利,专利申请号为CN201810418045.9,申请日为2018年05月04日,公布号为CN108385164A,公布日为2018年08月10日,专利名称为半导体单晶炉,该专利公开的技术方案中炉室的升降方式为其中主炉室通过可升降磁场装置实现上下升降,副炉室通过升降驱动装置实现上下升降,上述升降方式均为硬连接升降(具体可参见上述专利的说明书),其在实际应用时,升降装置只能实现炉室的升降,无法对炉室内的坩埚或冷却屏或自动加料装置等部件进行吊装,当坩埚或冷却屏或自动加料装置需要吊装时只能借助另一套升降装置来实现等,即现有的升降装置只能实现单独吊装物的吊装,无法通过一套升降装置实现多个吊装物的替换吊装。
[0004]因此,如何提供一种用于人工晶体炉的炉室或坩埚或冷却屏或自动加料装置的旋转及升降装置就成了本领域技术人员的长期技术诉求。

技术实现思路

[0005]为了克服
技术介绍
中的不足,本技术提供了一种用于人工晶体炉的旋转及升降装置,本技术通过在旋转机构中悬臂立柱的上面设置升降机构,通过升降机构中卷筒上的钢丝绳带动炉室或坩埚或冷却屏或自动加料装置进行吊装,可以实现多种吊装物的随意切换等。
[0006]为实现上述专利技术目的,本技术采用如下技术方案:
[0007]一种用于人工晶体炉的旋转及升降装置,包括旋转机构和升降机构,所述旋转机构中的旋转固定座设置在立柱的顶端,所述旋转固定座连接悬臂立柱,所述悬臂立柱围绕旋转固定座旋转,在悬臂立柱的外缘面上设有向外延伸的悬臂,所述升降机构中的卷筒固定板设置在悬臂立柱的顶端,升降机构中的滚珠花键副设置在卷筒固定板的上面,滚珠花键副中的旋转滑块连接卷筒,所述卷筒外缘面上的外螺纹连接卷筒螺母,在卷筒的外缘面上缠绕有钢丝绳,所述钢丝绳的外端头穿过悬臂上的导向轮处于悬臂的下方,滚珠花键副
的端头连接动力源形成所述的用于人工晶体炉的旋转及升降装置。
[0008]所述的用于人工晶体炉的旋转及升降装置,所述钢丝绳外端头的外缘面上设有导向配重块。
[0009]所述的用于人工晶体炉的旋转及升降装置,所述旋转机构包括悬臂、主动齿轮、旋转固定座、旋转电机、从动齿轮和悬臂立柱,所述旋转固定座的外缘面上套接有悬臂立柱,在悬臂立柱的外缘上设有向外延伸的悬臂,在悬臂下方悬臂立柱的外缘面上套接有从动齿轮,所述从动齿轮连接主动齿轮,所述主动齿轮连接旋转电机的电机主轴。
[0010]所述的用于人工晶体炉的旋转及升降装置,所述旋转固定座的外缘面与悬臂立柱的内缘面之间的下端头或上端头或上下两端头分别设有旋转轴承。
[0011]所述的用于人工晶体炉的旋转及升降装置,所述旋转固定座的外缘面与悬臂立柱的内缘面之间的上下两端头分别设有上旋转隔套及下旋转隔套。
[0012]所述的用于人工晶体炉的旋转及升降装置,所述旋转电机的电机主轴连接旋转减速机的动力输入轴,所述旋转减速机的动力输出轴连接主动齿轮,旋转减速机设置在旋转固定座底板的上面。
[0013]所述的用于人工晶体炉的旋转及升降装置,所述主动齿轮与从动齿轮的替换结构为主动齿轮为主动带轮或主动摩擦轮,从动齿轮为从动带轮或从动摩擦轮,所述主动带轮与从动带轮通过皮带传递动力,所述主动摩擦轮与从动摩擦轮接触通过摩擦传递动力。
[0014]所述的用于人工晶体炉的旋转及升降装置,所述升降机构包括钢丝绳、卷筒固定板、升降电机、卷筒螺母固定座、滚珠花键副、卷筒、压绳器、卷筒螺母、卷筒右支撑座和卷筒左支撑座,所述卷筒右支撑座和卷筒左支撑座间隔设置在卷筒固定板上,在卷筒右支撑座与卷筒左支撑座之间的卷筒固定板上设有卷筒螺母固定座,在卷筒螺母固定座上设有卷筒螺母,在卷筒右支撑座与卷筒左支撑座之间设有滚珠花键副,所述滚珠花键副上的旋转滑块连接卷筒,所述卷筒外缘面上的外螺纹连接卷筒螺母,滚珠花键副其中一端头连接升降电机的电机主轴,在卷筒的绕绳螺旋槽内缠绕有钢丝绳,在绕绳螺旋槽的外缘面外围设有压绳器。
[0015]所述的用于人工晶体炉的旋转及升降装置,所述升降电机的电机主轴连接卷筒一级减速机的动力输入轴,所述卷筒一级减速机的动力输出轴连接卷筒二级减速机的动力输入轴,所述卷筒二级减速机的动力输出轴连接滚珠花键副的外端头。
[0016]所述的用于人工晶体炉的旋转及升降装置,所述卷筒右支撑座的右侧面设有接近开关支架,在所述接近开关支架上设有接近开关。
[0017]由于采用如上所述的技术方案,本技术具有如下有益效果:
[0018]本技术通过在立柱的顶端设置旋转机构,然后在旋转机构中悬臂立柱的上面设置升降机构,通过升降机构中卷筒上的钢丝绳带动炉室或坩埚或冷却屏或自动加料装置进行吊装,由于钢丝绳与吊装物的连接形式为挂接,可以实现多种吊装物的随意切换等,有效的提高了本装置的应用范围及吊装效率等,本技术具有结构简便,使用方便等特点,适合大范围的推广和应用。
附图说明
[0019]图1是本技术的立体结构示意图;
[0020]图2是本技术去掉罩体后的立体结构示意图;
[0021]图3是本技术的主视结构示意图;
[0022]图4是本技术的左视结构示意图;
[0023]图5是本技术的俯视结构示意图;
[0024]图6是本技术中的局部剖视结构示意图;
[0025]在图中:1、卷筒罩体;2、悬臂;3、钢丝绳罩体;4、主动齿轮;5、旋转减速机;6、旋转固定座;7、导向配重块;8、钢丝绳;9、立柱;10、旋转电机;11、从动齿轮;12、悬臂立柱;13、卷筒固定板;14、卷筒二级减速机;15、卷筒一级减速机;16、升降电机;17、接近开关;18、卷筒螺母固定座;19、导向轮;20、导向轮座;21、导向筒;22、滚珠花键副;23、卷筒;24、压绳器;25、卷筒螺母;26、旋转轴承;27、下旋转隔套;28、上旋转隔套;29、卷筒右支撑座;30、卷筒左支撑座。
具体实施方式
[0026]通过下面的实施例可以更详细的解释本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于人工晶体炉的旋转及升降装置,包括旋转机构和升降机构,其特征是:所述旋转机构中的旋转固定座(6)设置在立柱(9)的顶端,所述旋转固定座(6)连接悬臂立柱(12),所述悬臂立柱(12)围绕旋转固定座(6)旋转,在悬臂立柱(12)的外缘面上设有向外延伸的悬臂(2),所述升降机构中的卷筒固定板(13)设置在悬臂立柱(12)的顶端,升降机构中的滚珠花键副(22)设置在卷筒固定板(13)的上面,滚珠花键副(22)中的旋转滑块连接卷筒(23),所述卷筒(23)外缘面上的外螺纹连接卷筒螺母(25),在卷筒(23)的外缘面上缠绕有钢丝绳(8),所述钢丝绳(8)的外端头穿过悬臂(2)上的导向轮(19)处于悬臂(2)的下方,滚珠花键副(22)的端头连接动力源形成所述的用于人工晶体炉的旋转及升降装置。2.根据权利要求1所述的用于人工晶体炉的旋转及升降装置,其特征是:所述钢丝绳(8)外端头的外缘面上设有导向配重块(7)。3.根据权利要求1所述的用于人工晶体炉的旋转及升降装置,其特征是:所述旋转机构包括悬臂(2)、主动齿轮(4)、旋转固定座(6)、旋转电机(10)、从动齿轮(11)和悬臂立柱(12),所述旋转固定座(6)的外缘面上套接有悬臂立柱(12),在悬臂立柱(12)的外缘上设有向外延伸的悬臂(2),在悬臂(2)下方悬臂立柱(12)的外缘面上套接有从动齿轮(11),所述从动齿轮(11)连接主动齿轮(4),所述主动齿轮(4)连接旋转电机(10)的电机主轴。4.根据权利要求3所述的用于人工晶体炉的旋转及升降装置,其特征是:所述旋转固定座(6)的外缘面与悬臂立柱(12)的内缘面之间的下端头或上端头或上下两端头分别设有旋转轴承(26)。5.根据权利要求3所述的用于人工晶体炉的旋转及升降装置,其特征是:所述旋转固定座(6)的外缘面与悬臂立柱(12)的内缘面之间的上下两端头分别设有上旋转隔套(28)及下旋转隔套(27)。6.根据权利要求3所述的用于人工晶体炉的旋转及升降装置,其特征是:所述旋转电机(10)的电机...

【专利技术属性】
技术研发人员:郭李梁朱振业
申请(专利权)人:郭李梁
类型:新型
国别省市:

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