坩埚以及蒸镀设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种坩埚以及蒸镀设备，该坩埚包括上壳体和下壳体，上壳体可拆卸设置于下壳体的顶部，上壳体与下壳体之间形成用于容纳蒸镀原料的容纳腔，坩埚还包括第一连接件、第二连接件和紧固件，第一连接件转动设置于下壳体，上壳体的外壁凹设有安装槽，第二连接件与安装槽插接，且第二连接件的一端延伸至安装槽的外部，紧固件穿过第二连接件并与第一连接件连接。通过在下壳体上转动设置第一连接件，在上壳体上设置安装槽，安装时，将第二连接件插入安装槽，并将第二连接件与第一连接件通过紧固件锁紧。可避免坩埚因发生撞击变形而无法顺利安装紧固件。同时，该结构降低了上壳体与下壳体之间的接触面发生变形的风险。下壳体之间的接触面发生变形的风险。下壳体之间的接触面发生变形的风险。

【技术实现步骤摘要】
坩埚以及蒸镀设备


[0001]本技术涉及显示器制造
，尤其涉及一种坩埚以及包含该坩埚的蒸镀设备。

技术介绍

[0002]目前主流的OLED显示器具有轻薄、主动发光、快相应速度、广视角、色彩丰富、高亮度和低能耗等众多优点，因此广泛应用于智能手机、平板电脑和电视等终端产品。显示面板为OLED的主要部件，显示面板是在玻璃基板上通过蒸镀、蚀刻等工艺形成有机二极管、薄膜晶体管等元件，并布置上电极。在显示面板的蒸镀工艺中，通常使用坩埚对蒸镀原料(有机材料)进行加热并形成蒸镀气体，蒸镀气体沉积在玻璃基板上以形成有机膜层。
[0003]现有的坩埚如图1所示，包括上壳体1
′
和下壳体2
′
，上壳体1
′
盖设在下壳体2
′
的顶部，且上壳体1
′
与下壳体2
′
之间形成容纳腔，蒸镀原料装在容纳腔内。上壳体1
′
的周部设置有上边缘板11
′
，下壳体2
′
的周部设置有下边缘板21
′
，上边缘板11
’
和下边缘板21
′
的自由端均朝向背离容纳腔的方向延伸。上壳体1
′
和下壳体2
′
通过螺栓3
′
可拆卸连接。使用前，先将上壳体1
′
拆除，然后将在容纳腔内装填蒸镀原料，再将上壳体1
′
装配到下壳体2
′
上。最后对坩埚进行加热以使蒸镀原料蒸发形成蒸镀气体，蒸镀气体通过上壳体1
′
上的喷嘴喷出。现有技术存在以下不足：由于坩埚需要频繁搬运、吊装，在作业过程中容易与外部设备发生碰撞，造成上边缘板11
′
或下边缘板21
′
变形。因此在装配上壳体1
’
时，上边缘板11
′
和下边缘板21
′
上的安装孔发生错位，使得螺栓3
′
无法顺利安装。同时，由于上边缘板11
′
或下边缘板21
′
发生变形，还容易造成上壳体1
′
与下壳体2
′
之间的密封性降低，进而对蒸镀作业造成不良影响。

技术实现思路

[0004]本技术的一个目的在于提出一种坩埚，其便于安装，密封性能好。
[0005]本技术的另一个目的在于提出一种蒸镀设备，其便于安装和密封性能好。
[0006]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0007]提供的一种坩埚，包括上壳体和下壳体，所述上壳体可拆卸设置于所述下壳体的顶部，所述上壳体与所述下壳体之间形成用于容纳蒸镀原料的容纳腔，所述坩埚还包括第一连接件、第二连接件和紧固件，所述第一连接件转动设置于所述下壳体，所述上壳体的外壁凹设有安装槽，所述第二连接件与所述安装槽插接，且所述第二连接件的一端延伸至所述安装槽的外部，所述紧固件穿过所述第二连接件并与所述第一连接件连接。
[0008]作为坩埚的一种优选方案，所述第一连接件为多个，多个所述第一连接件间隔设置于所述下壳体的周部，所述第二连接件和所述紧固件均与所述第一连接件一一对应设置。
[0009]作为坩埚的一种优选方案，所述第二连接件背离所述安装槽的槽底的一端设置有缺口，所述缺口用于穿设所述紧固件。
[0010]作为坩埚的一种优选方案，所述安装槽的长度尺寸大于所述第二连接件的长度尺寸，所述第二连接件能够沿所述安装槽的长度方向移动，以使所述缺口与所述第一连接件正对。
[0011]作为坩埚的一种优选方案，所述下壳体还设置有连接板，所述第一连接件包括水平设置的转轴和竖直设置的连接杆，所述转轴转动设置于所述连接板上，所述连接杆的一端与所述转轴连接，所述紧固件与所述连接杆背离所述转轴的一端连接。
[0012]作为坩埚的一种优选方案，所述坩埚还包括集气装置，所述集气装置设置于所述容纳腔内，且所述集气装置将所述容纳腔分割成位于上方的上腔体和位于下方的下腔体，所述集气装置内具有集气腔体，所述集气装置的底部开设有第一通孔，所述集气腔体通过所述第一通孔与所述下腔体连通，所述集气装置的顶部阵列分布有多个第二通孔，所述集气腔体通过所述第二通孔与所述上腔体连通。
[0013]作为坩埚的一种优选方案，所述容纳腔的腔壁上设置有安装台阶，所述集气装置安装在所述安装台阶上，所述上壳体与所述集气装置的顶部抵接。
[0014]作为坩埚的一种优选方案，所述下壳体的顶面靠近所述容纳腔的位置设置有斜面，所述斜面从背离所述容纳腔的一端至靠近所述容纳腔的一端向下倾斜，所述顶面和所述斜面均与所述上壳体抵接。
[0015]作为坩埚的一种优选方案，所述顶面和/或所述斜面上设置有密封层，并使所述密封层夹设于所述上壳体与所述下壳体之间。
[0016]还包括一种蒸镀设备，包括上述的坩埚。
[0017]本技术相比于现有技术的有益效果：
[0018]本技术的坩埚以及蒸镀设备，该坩埚通过在下壳体上转动设置第一连接件，在上壳体上设置安装槽，安装时，将第二连接件插入安装槽，并将第二连接件与第一连接件通过紧固件锁紧。可避免坩埚因发生撞击变形而无法顺利安装紧固件。同时，该结构降低了上壳体与下壳体之间的接触面发生变形的风险。因此，该坩埚具有便于安装，密封性能好的特点。
附图说明
[0019]图1为现有技术的坩埚的示意图。
[0020]图2为本技术实施例的坩埚的分解图。
[0021]图3为本技术实施例的坩埚的剖视图。
[0022]图4为图3中A处的放大图。
[0023]图5为本技术实施例的上壳体的局部示意图。
[0024]图6为本技术实施例的集气装置的剖视图。
[0025]图7为本技术实施例的下壳体的剖视图。
[0026]图8为本技术实施例的第一连接件和紧固件的示意图。
[0027]图1中：
[0028]1′
、上壳体；11
′
、上边缘板；2
′
、下壳体；21
′
、下边缘板；3
′
、螺栓。
[0029]图2至图8中：
[0030]1、上壳体；11、安装槽；2、下壳体；20、容纳腔；21、连接板；22、斜面；23、安装台阶；
3、紧固件；4、第一连接件；41、转轴；42、连接杆；5、第二连接件；51、缺口；6、集气装置；61、底壳；62、盖板；63、集气腔体；64、第一通孔；65、第二通孔；7、喷嘴；8、蒸镀原料；9、密封层。
具体实施方式
[0031]参考下面结合附图详细描述的实施例，本技术的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本技术不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种坩埚，包括上壳体和下壳体，所述上壳体可拆卸设置于所述下壳体的顶部，所述上壳体与所述下壳体之间形成用于容纳蒸镀原料的容纳腔，其特征在于，所述坩埚还包括第一连接件、第二连接件和紧固件，所述第一连接件转动设置于所述下壳体，所述上壳体的外壁凹设有安装槽，所述第二连接件与所述安装槽插接，且所述第二连接件的一端延伸至所述安装槽的外部，所述紧固件穿过所述第二连接件并与所述第一连接件连接。2.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述第一连接件为多个，多个所述第一连接件间隔设置于所述下壳体的周部，所述第二连接件和所述紧固件均与所述第一连接件一一对应设置。3.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述第二连接件背离所述安装槽的槽底的一端设置有缺口，所述缺口用于穿设所述紧固件。4.根据权利要求3所述的坩埚，其特征在于，所述安装槽的长度尺寸大于所述第二连接件的长度尺寸，所述第二连接件能够沿所述安装槽的长度方向移动，以使所述缺口与所述第一连接件正对。5.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述下壳体还设置有连接板，所述第一连接件包括水平设置的转轴和竖直设置的连接杆，所述转轴转动设置于所述连接板上，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵意，
申请(专利权)人：乐金显示光电科技中国有限公司，
类型：新型
国别省市：