一种固态前驱体源瓶结构制造技术

本实用新型专利技术提供一种固态前驱体源瓶结构，所述固态前驱体源瓶结构包括瓶体和密封盖板；瓶体内形成有气体反应室；密封盖板覆盖于瓶体上，并密封气体反应室；密封盖板上设有气体接口，气体接口与气体反应室连通；气体接口和气体反应室之间设有过滤器；过滤器通过固定装置设置于密封盖板上，并且过滤器与密封盖板之间设有密封圈；本实用新型专利技术提供的固态前驱体源瓶结构，通过在过滤器与密封盖板之间设有密封圈，这样能够有效提升气体过滤的气密性，并且提升过滤器的过滤效果，同时还避免在瓶体上设有过滤结构，降低了产品加工难度；本实用新型专利技术提供的固态前驱体源瓶结构，结构简单，方便加工成型，且装配较为方便。且装配较为方便。且装配较为方便。

【技术实现步骤摘要】
一种固态前驱体源瓶结构


[0001]本技术属于
，具体涉及一种固态前驱体源瓶结构。

技术介绍

[0002]现有的固态前驱体源瓶过滤系统结构一般设计在瓶体上，整体过滤结构较为复杂，不方便加工成型，且密封性较差，严重影响到固态前驱体源瓶过滤效果。
[0003]基于上述固态前驱体源瓶中存在的技术问题，尚未有相关的解决方案；因此迫切需要寻求有效方案以解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是针对上述技术中存在的不足之处，提出一种固态前驱体源瓶结构，旨在解决现有固态前驱体源瓶过滤结构复杂、不方便加工的问题之一。
[0005]本技术提供一种固态前驱体源瓶结构，所述固态前驱体源瓶结构包括瓶体和密封盖板；瓶体内形成有气体反应室；密封盖板覆盖于瓶体上，并密封气体反应室；密封盖板上设有气体接口，气体接口与气体反应室连通；气体接口和气体反应室之间设有过滤器；过滤器通过固定装置设置于密封盖板上，并且过滤器与密封盖板之间设有密封圈。
[0006]进一步地，密封盖板内设有过滤腔，过滤腔分别与气体接口和气体反应室连通；过滤器设置于过滤腔内，密封圈夹紧在过滤器和过滤腔内位于气体接口一侧之间。
[0007]进一步地，固定装置为孔卡；孔卡设置于过滤腔的侧壁上；孔卡位于过滤器面向气体反应室的一侧，从而将过滤器固定在过滤腔内。
[0008]进一步地，过滤腔内位于气体接口一侧还设有环形的凹槽，密封圈设置于凹槽内，并凸出于凹槽。
[0009]进一步地，固态前驱体源瓶结构还包括气口接板，气口接板上设有连接柱，连接柱内形成有通气道；气口接板固定设置于密封盖板上，并位于气体接口背离于过滤腔一侧的端面上；气口接板通过连接柱插接于气体接口内，从而使通气道与过滤腔连通。
[0010]进一步地，密封盖板上设有多个气体接口；气体接口为气体入口；或者，气体接口为气体出口。
[0011]进一步地，瓶体为圆柱体结构，密封盖板为圆盘结构，并且瓶体的顶部形成有连接法兰，密封盖板通过连接件密封连接于连接法兰上。
[0012]进一步地，过滤器为圆形过滤网。
[0013]进一步地，密封圈的横截面为圆形。
[0014]进一步地，密封盖板上设有多个气体入口和一个气体出口，气体入口和气体出口分别设置于密封盖板的周向上。
[0015]本技术提供的固态前驱体源瓶结构，通过在过滤器与密封盖板之间设有密封圈，这样能够有效提升气体过滤的气密性，并且提升过滤器的过滤效果，同时还避免在瓶体上设有过滤结构，降低了产品加工难度；本技术提供的固态前驱体源瓶结构，结构简
单，方便加工成型，且装配较为方便。
附图说明
[0016]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0017]以下将结合附图对本技术作进一步说明：
[0018]图1为本技术一种固态前驱体源瓶结构的剖视图；
[0019]图2为本技术一种固态前驱体源瓶结构实施例一局部示意图；
[0020]图3为本技术一种固态前驱体源瓶结构实施例二局部示意图；
[0021]图4为本技术一种固态前驱体源瓶结构的俯视图。
[0022]图中：1、瓶体；11、气体反应室；2、密封盖板；21、过滤腔；22、气体接口；3、气口接板；31、通气道；4、气体入口；5、气体出口；6、密封圈；7、过滤器；8、固定装置；9、孔卡；10、连接件。
具体实施方式
[0023]为了使本技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0024]需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
[0025]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。
[0026]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0027]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0028]如图1至图4所示，本技术提供一种固态前驱体源瓶结构，所述固态前驱体源瓶结构包括瓶体1和密封盖板2；瓶体1内形成有气体反应室11，从而能够向气体反应室11内充气，进行混合反应；密封盖板2覆盖于瓶体1上，并密封气体反应室11；密封盖板2上设有气体接口22，气体接口22与气体反应室11连通；气体接口和气体反应室11之间设有过滤器7；过滤器7通过固定装置8设置于密封盖板2上，并且过滤器7与密封盖板2之间设有密封圈6；
采用上述方案，通过在过滤器7与密封盖板2之间设有密封圈6，能够有效提升气体过滤的气密性，提升过滤器的过滤效果，同时还避免在瓶体上设有过滤结构，降低了产品加工难度。
[0029]优选地，结合上述方案，如图1至图4所示，密封盖板2内设有过滤腔21，该过滤腔21分别与气体接口22和气体反应室11连通，从而实现气体的流通，气体的流通方向F具体参阅图1所示；进一步地，过滤器7设置于过滤腔21内，并且使密封圈6夹紧在过滤器7和过滤腔21内位于气体接口22一侧(该侧即为过滤腔21内与气体接口22连通的一面)之间，从而实现弹性密封，在气体流通时还可以起到缓冲的作用。
[0030]优选地，结合上述方案，如图1至图4所示，本实施例中，固定装置8为孔卡9；具体地，孔卡9设置于过滤腔21的侧壁上；孔卡9位于过滤器7面向气体反应室11的一侧，从而将过滤器7固定在过滤腔21内。
[0031]优选地，结合上述方案，如图1至图4所示，过滤腔21内位于气体接口22一侧还设有环形的凹槽，其中，密封圈6设置于凹槽内，并凸出于凹槽，这样能够与过滤器7形成过盈配合，形成缓冲结构。
[0032]优选本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种固态前驱体源瓶结构，其特征在于，所述固态前驱体源瓶结构包括瓶体(1)和密封盖板(2)；所述瓶体(1)内形成有气体反应室(11)；所述密封盖板(2)覆盖于所述瓶体(1)上，并密封所述气体反应室(11)；所述密封盖板(2)上设有气体接口(22)，所述气体接口(22)与所述气体反应室(11)连通；所述气体接口和所述气体反应室(11)之间设有过滤器(7)；所述过滤器(7)通过固定装置(8)设置于所述密封盖板(2)上，并且所述过滤器(7)与所述密封盖板(2)之间设有密封圈(6)。2.根据权利要求1所述的固态前驱体源瓶结构，其特征在于，所述密封盖板(2)内设有过滤腔(21)，所述过滤腔(21)分别与所述气体接口(22)和所述气体反应室(11)连通；所述过滤器(7)设置于所述过滤腔(21)内，所述密封圈(6)夹紧在所述过滤器(7)和所述过滤腔(21)内位于所述气体接口(22)一侧之间。3.根据权利要求2所述的固态前驱体源瓶结构，其特征在于，所述固定装置(8)为孔卡(9)；所述孔卡(9)设置于所述过滤腔(21)的侧壁上；所述孔卡(9)位于所述过滤器(7)面向所述气体反应室(11)的一侧，从而将所述过滤器(7)固定在所述过滤腔(21)内。4.根据权利要求2所述的固态前驱体源瓶结构，其特征在于，所述过滤腔(21)内位于所述气体接口(22)一侧还设有环形的凹槽，所述密封圈(6)设置于所述凹槽内...

【专利技术属性】
技术研发人员：耿德占，徐荣辉，
申请(专利权)人：中科艾尔北京科技有限公司，
类型：新型
国别省市：