用于光学晶圆的测试设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种用于光学晶圆的测试设备。该测试设备包括：承载装置，具有载物板，载物板上设有多个用于容纳晶圆的置物槽，置物槽呈矩形阵列布设于载物板；第一调节装置，具有可沿X向移动的调节端，调节端连接于承载装置，以用于调节承载装置的位置；第二调节装置，具有可沿Y向移动的伸缩端，第一调节装置连接于伸缩端；光纤准直装置，具有光纤头，光纤准直装置设置于第一调节装置下方，用于探测置物槽中晶圆相对于光纤头的间距；控制器，分别通信连接于第一调节装置、第二调节装置和光纤准直调节装置，以用于调节第一调节装置和第二调节装置的运动状态。由此，解决了现有技术中存在的晶圆测试结果不准确和效率低的问题。的晶圆测试结果不准确和效率低的问题。的晶圆测试结果不准确和效率低的问题。

【技术实现步骤摘要】
用于光学晶圆的测试设备


[0001]本技术属于晶圆检测设备领域，具体涉及一种用于光学晶圆的测试设备。

技术介绍

[0002]伴随着光纤通讯技术的不断发展和普及使用，波分复用技术相关的膜片开始大量进入光纤敷设的骨干网络和城域网络，对于膜片的需求量也越来越大，间接地，使得切割成膜片的晶圆的需求量也随之上涨。
[0003]晶圆在切割后，会对晶圆的表面品质和形位误差等参数进行检测，从而筛选出符合生产需求的高质量的晶圆。目前，主要采用人工测试的方式逐一对晶圆的产品质量进行检测。整体的测试效率低，且对于产品的质量评估标准并不统一。同时，由于工人长时间的作业，可能出现过程疲劳和测试偏差等因素，导致晶圆的参数测试得不到有效保障。并且，人工在吸取晶圆，并将晶圆放置于准直器的测试区域时，由于操作习惯和姿势差异，即使是同一工人在同一工位采用同样的工具对相同的晶圆进行测试，测试结果也存在一定偏差，因此，这也在一定程度上影响了对晶圆质量的评估结果。
[0004]针对现有技术中存在的晶圆测试结果不准确和效率低的问题，还需要提出一种更为合理的技术方案，以解决当前的技术问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是提供一种用于光学晶圆的测试设备，以解决现有技术中存在的晶圆测试结果不准确和效率低的问题。
[0006]为了实现上述目的，本技术提供一种用于光学晶圆的测试设备，包括：
[0007]承载装置，具有载物板，所述载物板上设有多个用于容纳晶圆的置物槽，所述置物槽呈矩形阵列布设于所述载物板；
[0008]第一调节装置，具有可沿X向移动的调节端，所述调节端连接于所述承载装置，以用于调节所述承载装置的位置；
[0009]第二调节装置，具有可沿Y向移动的伸缩端，所述第一调节装置连接于所述伸缩端；
[0010]光纤准直装置，具有光纤头，所述光纤准直装置设置于所述第一调节装置下方，用于探测所述置物槽中晶圆相对于所述光纤头的间距；以及
[0011]控制器，分别通信连接于所述第一调节装置、第二调节装置和光纤准直调节装置，以用于调节所述第一调节装置和所述第二调节装置的运动状态。
[0012]在一种可能的设计中，所述承载装置包括定位座、滑块、夹具和载物板；
[0013]所述定位座连接于所述调节端，且所述定位座上设有安装槽，所述安装槽具有相对的第一端和第二端；
[0014]所述夹具上设有与所述载物板相适配的限位槽，所述载物板可拆卸地设置于所述限位槽中；所述夹具形成为与所述安装槽相适配的结构，以卡设于所述安装槽的第一端；所
述滑块设置于所述安装槽的第二端并通过弹簧连接于所述定位座，以能够在受到外力时回缩，而在外力消除时抵压所述夹具。
[0015]在一种可能的设计中，所述滑块面向于所述夹具的端面设有缓冲垫；所述滑块的底面设有滚珠。
[0016]在一种可能的设计中，所述承载装置还包括固定块，所述固定块连接于所述定位座，且所述固定块上设有插接于所述弹簧的限位轴。
[0017]在一种可能的设计中，所述定位座的两侧分别设有避让口，以能够通过所述避让口取放所述夹具。
[0018]在一种可能的设计中，所述载物板包括具有通孔的底面层和具有所述置物槽的限位层，所述限位层位于所述底面层上方并贴合于所述底面层，且两者均设于所述限位槽中。
[0019]在一种可能的设计中，所述第一调节装置包括第一导轨、第一导块和第一线性驱动器，所述第一导轨连接于所述第二调节装置的伸缩端并且所述第一导轨的延伸方向平行于所述X向；所述承载装置连接于所述第一导块；
[0020]所述第一导块的一端可移动地卡设于所述第一导轨，所述第一导块的另一端连接于所述第一线性驱动器，以当所述第一线性驱动器伸缩时，能够带动所述第一导块沿所述第一导轨移动。
[0021]在一种可能的设计中，所述第二调节装置包括第二导轨、第二导块和第二线性驱动器，所述第二导轨沿所述Y向延伸；所述第一调节装置连接于所述第二导块；
[0022]所述第二导块的一端可移动地连接于所述第二导轨，所述第二导块的另一端连接于所述第二线性驱动器，以当所述第二线性驱动器伸缩时，能够带动所述第二导块沿所述第二导轨移动。
[0023]在一种可能的设计中，所述光纤准直装置包括光纤准直器、调位机构和万向转动机构；
[0024]所述万向转动机构的一端连接于所述光纤准直器，以带动所述光纤准直器沿球面转动；所述调位机构连接于所述万向转动机构，以调节所述万向转动机构的位置。
[0025]在一种可能的设计中，所述测试设备还包括基板和紧固件，所述基板上设有多个呈阵列排布的且与所述紧固件相配合的安装孔，所述承载装置、所述第一调节装置、所述第二调节装置和所述光纤准直装置分别通过所述紧固件可拆卸地连接于所述基板。
[0026]该测试设备的工作过程可以概述为：首先，可以将多个晶圆放置于置物槽中，此后，第一调节装置和/或第二调节装置移动，从而将承载装置移动至光纤准直装置的作用范围，这样一来，可以使光纤准直装置对晶圆进行快速有效的检测。
[0027]这样一来，只需要第一调节装置和/或第二装置移动，便可以使不同的晶圆分别正对光纤准直装置，从而提高整体的检测效率。测试设备对于晶圆的检测标准统一，可以减少因人为检测而带来的偏差，从而排查外部因素的干扰，保障晶圆的测试参数，提高膜片生产评估结果的准确性。
[0028]通过上述技术方案，置物槽可以有效限定晶圆的位置，从而防止承载装置移动时晶圆位置发生偏移。这样一来，可以保证晶圆位置的稳定性，进而使光纤准直装置可以在其测试区域内对不同的晶圆进行有效测试。通过第一调节装置和/或第二调节装置来承载装置的位置，可以使置物槽中的晶圆能够逐一有序地靠近光纤准直装置，第一调节装置和第
二调节装置的机械位移量相对固定，可以在一定程度上减少位移而造成的误差，由此保证测试结果的准确性。通过这样的测试方式，可代替传统人工逐一吸取晶圆检测的方式，一方面可以保证测试结果的准确性，另一方面，还可以提高整体的检测效率。
附图说明
[0029]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0030]图1是本技术提供的用于光学晶圆的测试设备在第一视角的立体结构示意图；
[0031]图2是本技术提供的用于光学晶圆的测试设备在第二视角的立体结构示意图；
[0032]图3是图2中A部分的结构示意图。
[0033]上述附图中：1
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承载装置，11
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定位座，12
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滑块，13
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避让口，14
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夹具，15
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载物板，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于光学晶圆的测试设备，其特征在于，包括：承载装置(1)，具有载物板(15)，所述载物板(15)上设有多个用于容纳晶圆的置物槽，所述置物槽呈矩形阵列布设于所述载物板(15)；第一调节装置(2)，具有可沿X向移动的调节端，所述调节端连接于所述承载装置(1)，以用于调节所述承载装置(1)的位置；第二调节装置(3)，具有可沿Y向移动的伸缩端，所述第一调节装置(2)连接于所述伸缩端；光纤准直装置(4)，具有光纤头，所述光纤准直装置(4)设置于所述第一调节装置(2)下方，用于探测所述置物槽中晶圆相对于所述光纤头的间距；以及控制器，分别通信连接于所述第一调节装置(2)、第二调节装置(3)和光纤准直调节装置，以用于调节所述第一调节装置(2)和所述第二调节装置(3)的运动状态。2.根据权利要求1所述的用于光学晶圆的测试设备，其特征在于，所述承载装置(1)包括定位座(11)、滑块(12)、夹具(14)和载物板(15)；所述定位座(11)连接于所述调节端，且所述定位座(11)上设有安装槽，所述安装槽具有相对的第一端和第二端；所述夹具(14)上设有与所述载物板(15)相适配的限位槽，所述载物板(15)可拆卸地设置于所述限位槽中；所述夹具(14)形成为与所述安装槽相适配的结构，以卡设于所述安装槽的第一端；所述滑块(12)设置于所述安装槽的第二端并通过弹簧连接于所述定位座(11)，以能够在受到外力时回缩，而在外力消除时抵压所述夹具(14)。3.根据权利要求2所述的用于光学晶圆的测试设备，其特征在于，所述滑块(12)面向于所述夹具(14)的端面设有缓冲垫；所述滑块(12)的底面设有滚珠。4.根据权利要求2所述的用于光学晶圆的测试设备，其特征在于，所述承载装置(1)还包括固定块(16)，所述固定块(16)连接于所述定位座(11)，且所述固定块(16)上设有插接于所述弹簧的限位轴。5.根据权利要求2所述的用于光学晶圆的测试设备，其特征在于，所述定位座(11)的两侧分别设有避让口(13)，以能够通过所述避让口(13)取放所述夹具(14)。6.根据权利要求2所述的用于光学晶圆的测试设备，其特征在于，所述载物...

【专利技术属性】
技术研发人员：周舟，
申请(专利权)人：奥普镀膜技术广州有限公司，
类型：新型
国别省市：