气源柜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种气源柜。该气源柜包括气柜模组和电柜模组，气柜模组包括气柜柜体和独立设在气柜柜体内的气路组件、气源组件和真空组件，电柜模组包括电柜柜体和独立设在电柜柜体内的射频电源组件、强电组件和弱电组件。气柜柜体和电柜柜体可拆卸连接。该气源柜的运输成本较低，方便运输，且通用性较好。且通用性较好。且通用性较好。

【技术实现步骤摘要】
气源柜


[0001]本技术涉及镀膜设备
，尤其涉及一种气源柜。

技术介绍

[0002]气源柜作为气相沉积设备中不可或缺的重要组成部分，其机架结构的合理化设计对厂内生产组装、中途打包运输、现场售后维护都有着不容忽视的作用。
[0003]现有镀膜设备的气源柜主要存在以下不足和缺陷：第一：机架一体化体积庞大，不利于长途运输，尤其是海运，现有设备只能利用框架柜运输，运输成本很高，第二：当不同客户有不同工艺要求或者当有多种工艺需要同时满足时，设备机架的整合通用性不高，对机架结构改动量比较大。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提出一种气源柜，该气源柜的运输成本较低，方便运输，且通用性较好。
[0005]为实现上述技术效果，本技术的技术方案如下：
[0006]本技术公开了一种气源柜，包括：气柜模组，所述气柜模组包括气柜柜体和独立设在所述气柜柜体内的气路组件、气源组件和真空组件；电柜模组，所述电柜模组包括电柜柜体和独立设在所述电柜柜体内的射频电源组件、强电组件和弱电组件；其中：所述气柜柜体和所述电柜柜体可拆卸连接。
[0007]在一些实施例中，所述气路组件和所述气源组件沿前后方向间隔设置，且位于所述气柜柜体的右侧，所述真空组件设在所述气柜柜体的左侧，且用于与热炉的炉体相连以对所述炉体抽真空。
[0008]在一些实施例中，所述强电组件和所述弱电组件沿前后方向间隔设置，所述射频电源组件设在所述强电组件和所述弱电组件之间。
[0009]在一些实施例中，所述强电组件与所述气源组件相邻设置，所述弱电组件和所述气路组件相邻设置。
[0010]在一些实施例中，所述气柜柜体包括气柜框架以及下述至少一种构造，所述气柜框架为桁架结构，所述桁架结构具有多个用于支撑所述气路组件、所述气源组件和所述真空组件的气柜安装结构；气柜柜门，所述气柜柜门开合地设在所述气柜框架的前侧以及后侧；气柜封板，所述气柜封板配合在所述气柜框架的上侧以及下侧。
[0011]在一些实施例中，所述电柜柜体包括电柜框架以及下述至少一种构造，所述电柜框架为桁架结构，所述桁架结构具有多个用于支撑所述强电组件、所述弱电组件和所述射频电源组件的电柜安装结构；电柜柜门，所述电柜柜门开合地设在所述电柜框架的前侧以及后侧；电柜封板，所述电柜封板配合在所述电柜框架的上侧、下侧及右侧。
[0012]在一些实施例中，所述气源柜还包括设在所述电柜柜体的水路组件，所述水路组件设在所述射频电源组件上方且用于冷却所述射频电源组件。
[0013]在一些实施例中，所述气柜柜体和所述电柜柜体通过连接件可拆卸相连。
[0014]在一些具体的实施例中，所述气柜柜体的侧壁与所述电柜柜体的侧壁相贴合，且所述连接件为多个，多个所述连接件沿所述气柜柜体和所述电柜柜体的贴合面的轮廓间隔设置。
[0015]在一些实施例中，所述气柜柜体和所述电柜柜体的底壁上均设有支撑脚。
[0016]本技术的气源柜的有益效果：由于整个气源柜包括可拆卸连接的气柜模组和电柜模组，缩小了打包运输体积，解决了长距离道路运输超高问题；由于气路组件、气源组件和真空组件独立设置在气柜柜体内，射频电源组件、强电组件和弱电组件独立设置的电柜柜体内，各个组件之间不会发生干涉，可以根据用户的实际需要安装不同的组件，提升了气源柜的兼容性。
[0017]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0018]图1是本技术实施例的气源柜的结构示意图；
[0019]图2是本技术实施例的气源柜在另一个方向上的结构示意图；
[0020]图3是本技术实施例的气源柜拆去气柜柜门和电柜柜门的结构示意图；
[0021]图4是本技术实施例的气源柜拆去气柜柜门和电柜柜门在另一个方向的结构示意图；
[0022]图5是本技术实施例的气源柜的气柜柜体和电柜柜体的局部结构示意图；
[0023]图6是本技术实施例的气源柜的气柜柜体和电柜柜体的在一个方向上的局部结构示意图。
[0024]附图标记：
[0025]1、气柜柜体；11、气柜框架；111、气柜安装结构；12、气柜柜门；13、气柜封板；
[0026]2、电柜柜体；21、电柜框架；211、电柜安装结构；22、电柜柜门；23、电柜封板；
[0027]3、气路组件；4、气源组件；5、真空组件；
[0028]6、射频电源组件；7、强电组件；8、弱电组件。
具体实施方式
[0029]为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。
[0030]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0031]此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。在本技术的描述中，除非另有说
明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0032]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0033]下面参考图1
‑
图6描述本技术实施例的气源柜的具体结构。
[0034]本技术公开了一种气源柜，如图1
‑
图2所示，本实施例的气源柜包括气柜模组和电柜模组，气柜模组包括气柜柜体1和独立设在气柜柜体1内的气路组件3、气源组件4和真空组件5，电柜模组包括电柜柜体2和独立设在电柜柜体2内的射频电源组件6、强电组件7和弱电组件8。气柜柜体1和电柜柜体2可拆卸连接。
[0035]可以理解的是，在本实施例中，由于气路组件3、气源组件4和真空组件5独立设置在气柜柜体1内部，且射频电源组件6、强电组件7和弱电组件8独立设置的电柜柜体2内部，这样各个组件之间不会发生干涉，安装位置相互独立，在实际设计过程中，可以根据用户的实际需要对气源柜进行各个组件的选装，提升了本实施例的气源柜的兼容性，提升了用户使用满本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.气源柜，其特征在于，包括：气柜模组，所述气柜模组包括气柜柜体(1)和独立设在所述气柜柜体(1)内的气路组件(3)、气源组件(4)和真空组件(5)；电柜模组，所述电柜模组包括电柜柜体(2)和独立设在所述电柜柜体(2)内的射频电源组件(6)、强电组件(7)和弱电组件(8)；其中：所述气柜柜体(1)和所述电柜柜体(2)可拆卸连接。2.根据权利要求1所述的气源柜，其特征在于，所述气路组件(3)和所述气源组件(4)沿前后方向间隔设置，且位于所述气柜柜体(1)的右侧，所述真空组件(5)设在所述气柜柜体(1)的左侧，且用于与热炉的炉体相连以对所述炉体抽真空。3.根据权利要求1所述的气源柜，其特征在于，所述强电组件(7)和所述弱电组件(8)沿前后方向间隔设置，所述射频电源组件(6)设在所述强电组件(7)和所述弱电组件(8)之间。4.根据权利要求1所述的气源柜，其特征在于，所述强电组件(7)与所述气源组件(4)相邻设置，所述弱电组件(8)和所述气路组件(3)相邻设置。5.根据权利要求1
‑
4中任一项所述的气源柜，其特征在于，所述气柜柜体(1)包括气柜框架(11),以及下述至少一种构造：所述气柜框架(11)为桁架结构，所述桁架结构具有多个用于支撑所述气路组件(3)、所述气源组件(4)和所述真空组件(5)的气柜安装结构(111)；气柜柜门(12)，所述气柜柜门(12)开合地设在所述气柜框架(11)的前侧以及后侧；气柜封板...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾小伟，郭路斌，张武，林佳继，刘群，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：