废气净化装置及处理设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种废气净化装置及处理设备，通过将外管套设在导热管外以使导热管的外周壁与外管的内周壁之间形成加热腔，而加热件伸入该加热腔内，如此，在废气由导热管的第一端进入导热管内后，加热件透过导热管以对导热管内的废气加热产生化学反应，实现净化废气的目的，净化后的气体则由导热管的第二端排出，其中，由于导热管的隔离作用而使得加热件不与废气直接接触，因此能够防止废气对加热件的腐蚀，此外，由于在导热管的内周壁设置了多个导热翅片，因此可以增加废气在导热管内的受热面积，废气受热更加充分，加快废气高温反应速度，提高废气净化处理效率。提高废气净化处理效率。提高废气净化处理效率。

【技术实现步骤摘要】
废气净化装置及处理设备


[0001]本技术涉及废气处理
，尤其是涉及一种废气净化装置及处理设备。

技术介绍

[0002]在半导体、面板显示器、发光二极管(Light Emitting Diode，LED)、太阳能等领域中，化学气相沉积(Chemical Vapour Deposition，CVD)/蚀刻(ETCH)/模内装饰技术(In
‑
Mold Decoration，IMP)(离子注入)、扩散(DIFF)等生产工序过程中都会产生工艺废气。以半导体制造为例，半导体设备在生产时产生的工艺废气可以分为如下三类：第一类是易燃易爆气体，如氢气(H2)、甲烷(CH4)、硅烷(SiH4)等；第二类是有毒腐蚀性气体，如砷化氢(AsH3)、磷化氢(PH3)、三氟化硼(BF3)、三氟化氮(NF3)、四氟化硅(SiF4)、氯气(Cl2)、氟化氢(HF)、氟气(F2)、氨气(NH3)等；第三类是温室效应气体如氢氟碳化合物(HFCs)、全氟碳化合物(PFCs)、甲烷(CH4)、一氧化二氮(N2O)、六氟化硫(SF6)等。
[0003]这些工艺废气可以通过加热后的高温环境下，发生化学反应，产生无毒、无危害性的高温气体，实现净化。然而，目前的废气净化过程中，废气会对加热件造成腐蚀。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种废气净化装置及处理设备，能够防止废气对加热件的腐蚀。
[0005]第一方面，本技术提供了一种废气净化装置，包括：
[0006]导热管，所述导热管的第一端用于进气，所述导热管的第二端用于出气；其中，所述导热管的内周壁设有多个导热翅片；
[0007]外管，套设于所述导热管外，且所述外管的内周壁和所述导热管的外周壁之间形成加热腔；
[0008]加热件，伸入所述加热腔内。
[0009]上述技术方案，通过将外管套设在导热管外以使导热管的外周壁与外管的内周壁之间形成加热腔，而加热件伸入该加热腔内，如此，在废气由导热管的第一端进入导热管内后，加热件透过导热管以对导热管内的废气加热产生化学反应，实现净化废气的目的，净化后的气体则由导热管的第二端排出，其中，由于导热管的隔离作用使加热件不与废气直接接触，因此能够防止废气对加热件的腐蚀，此外，由于在导热管的内周壁设置了多个导热翅片，因此可以增加废气在导热管内的受热面积，废气受热更加充分，加快废气高温反应速度，提高废气净化处理效率。
[0010]在可选的实施方式中，所述废气净化装置还包括：
[0011]第一连接板，连接于所述外管的第一端和所述导热管的第一端，且所述第一连接板设有与所述导热管的内腔相连通的进气口，所述加热件由所述第一连接板伸入所述加热腔内；
[0012]第二连接板，连接于所述外管的第二端和所述导热管的第二端，且所述第二连接
板设有与所述导热管的内腔相连通的出气口；
[0013]其中，所述第一连接板、所述第二连接板、所述外管和所述导热管共同围成所述加热腔。
[0014]上述技术方案中，通过第一连接板和第二连接板分别连接在外管和导热管，以共同形成一个密闭式的加热腔，由此使得通过第一连接板伸入加热腔的加热件能够使得加热腔整体升温，保证对导热管内废气的加热均匀性，温度更为稳定，同时，第一连接板还实现了对加热件的固定。
[0015]在可选的实施方式中，所述加热件在所述加热腔内的部分与所述导热管和所述外管均间隔。
[0016]上述技术方案，由于加热件在加热腔内的部分与导热管和外管均间隔，即加热件不与导热管和外管接触，从而加热件先加热加热腔，再通过热传递的方式将热量依次传递至导热管和翅片，进而达到加热导热管内废气的作用，热量分布更为均匀，使得废气更为均匀受热。
[0017]在可选的实施方式中，所述加热件沿着所述导热管的周向环绕于所述导热管之外。
[0018]上述技术方案，由于加热件周向环绕于导热管之外，能够使得热量分布更为均匀，废气更为均匀受热。
[0019]在可选的实施方式中，所述加热件包括多个加热棒，多个所述加热棒沿着所述导热管的周向间隔环绕于所述导热管之外。
[0020]上述技术方案，加热件的每个加热棒固定于第一连接板，以实现加热棒的安装固定，同时，由于多个加热棒周向间隔环绕于导热管之外，因此能够使得热量分布的更为均匀，由此废气更为均匀受热。
[0021]在可选的实施方式中，每个所述导热翅片包括相背的第一边和第二边，所述第一边连接于所述导热管的内周壁，所述第二边靠近所述导热管的中心轴线，且所述第二边相对于所述第一边靠近所述导热管的第二端。
[0022]上述技术方案，通过导热翅片的第一边与热管的内周壁连接，且由于导热翅片的第二边相对于第一边靠近导热管的第二端，因此可以减少导热翅片对废气的阻力。
[0023]在可选的实施方式中，所述第一边的中点和所述第二边的中点之间的连线与所述导热管的中心轴线所成的角度为30～60
°
。
[0024]上述技术方案，将导热翅片第一边的中点和第二边的中点之间的连线与导热管的中心轴线所成的角度为30～60
°
，即导热翅片与导热管的中心轴线呈30～60
°
设置，以避免导热翅片与导热管的中心轴线所成角度过大导致对废气流速造成影响，也避免角度过小导致导热翅片与废气的基础面积过小，从而保证导热翅片对废气的加热效果。
[0025]在可选的实施方式中，多个所述导热翅片分为多个翅片组，多个所述翅片组沿所述导热管的轴向间隔分布，每个所述翅片组包括沿着所述导热管的周向间隔分布的至少两个所述导热翅片。
[0026]上述技术方案，通过周向间隔分布的至少两个导热翅片绕着导热管形成一个环形圈，整体通联，且多个翅片组轴向间隔分布形成多道环形圈，以使得多个导热翅片呈一定规则均匀分布在导热管的内周壁上，增加废气的受热面积，从而使得废气受热更为均匀，有利
于增大加热效率。
[0027]在可选的实施方式中，所述导热管和所述外管均为圆形管。
[0028]上述技术方案，通过将导热管和外管均设置呈圆管状，以使得废气受热更为均匀。
[0029]第二方面，本技术提供了一种废气处理设备，包括上述实施方式的废气净化装置。
附图说明
[0030]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0031]图1为本技术实施例废气净化装置的示意图之一；
[0032]图2为本技术实施例废气净化装置的示意图之二。
[0033]图标：10
‑
外管；12
‑
加热腔；20
‑
导热管；21
‑<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种废气净化装置，其特征在于，包括：导热管(20)，所述导热管(20)的第一端用于进气，所述导热管(20)的第二端用于出气；其中，所述导热管(20)的内周壁设有多个导热翅片(21)；外管(10)，套设于所述导热管(20)外，且所述外管(10)的内周壁和所述导热管(20)的外周壁之间形成加热腔(12)；加热件(30)，伸入所述加热腔(12)内。2.根据权利要求1所述的废气净化装置，其特征在于，所述废气净化装置还包括：第一连接板(40)，连接于所述外管(10)的第一端和所述导热管(20)的第一端，且所述第一连接板(40)设有与所述导热管(20)的内腔相连通的进气口(41)，所述加热件(30)固定于所述第一连接板(40)；第二连接板(50)，连接于所述外管(10)的第二端和所述导热管(20)的第二端，且所述第二连接板(50)设有与所述导热管(20)的内腔相连通的出气口(51)；其中，所述第一连接板(40)、所述第二连接板(50)、所述外管(10)和所述导热管(20)共同围成所述加热腔(12)。3.根据权利要求1或2所述的废气净化装置，其特征在于，所述加热件(30)在所述加热腔(12)内的部分与所述导热管(20)和所述外管(10)均间隔。4.根据权利要求1或2所述的废气净化装置，其特征在于，所述加热件(30)...

【专利技术属性】
技术研发人员：张伟明，姚俊杰，江枫涛，余欢，黄江华，
申请(专利权)人：上海盛剑半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：