一种用于回收铜铟镓硒太阳能电池沉积中硒的回收装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于回收铜铟镓硒太阳能电池沉积中硒的回收装置，包括腔壁、法兰管、冷凝板、分子泵、管道和前级泵，所述腔壁固定连接在铜铟镓硒太阳能电池沉积的腔室上，腔壁与腔室构成密封空间，法兰管连接在腔壁上且与密封空间连通，冷凝板的一端连接在法兰管上，冷凝板的另一端与分子泵连接，前级泵通过管道与分子泵连接，铜铟镓硒太阳能电池沉积产生的硒蒸汽从腔室出来依次经过法兰管、冷凝板、分子泵、管道和前级泵。本实用新型专利技术对尾排结构进行了设计，根据硒蒸汽的特性增加合理的冷凝结构，促使硒蒸汽在进入泵前会被尽量冷凝，可大量降低硒对泵的影响，同时也降低硒对尾气处理及排放的影响。处理及排放的影响。处理及排放的影响。

【技术实现步骤摘要】
一种用于回收铜铟镓硒太阳能电池沉积中硒的回收装置


[0001]本技术属于能源回收
，具体涉及一种用于回收铜铟镓硒太阳能电池沉积中硒的回收装置。

技术介绍

[0002]真空蒸发(Vacum Evaporation)镀膜是在真空条件下，用蒸发器加热蒸发物质，使之升华，蒸发粒子流直接射向基片，并在基片上沉积形成固态薄膜，或加热蒸发镀膜材料的真空镀膜方法。CIGS：铜铟镓硒太阳能电池。
[0003]当前蒸发类镀膜的腔室结构中，对蒸发源的利用率普遍低于50％，大部分材料蒸发后不是沉积到膜层结构中，而是随着泵被抽走，这造成原材料的巨大损失。常规设计主要在尾排中增加过滤装置，或对尾气进行处理，而处理后的废料只能通过特殊处理才能再利用，但这样会提高成本。
[0004]现有技术中对CIGS制程工中硒的利用率不高，造成硒源的大量浪费；而且过多的硒蒸汽的排向层排会造成有毒有害气体生成。

技术实现思路

[0005]针对现有技术中存在的不足，本技术的目的在于提供一种结构简单、使用方便用于回收铜铟镓硒太阳能电池沉积中硒的回收装置。
[0006]为实现上述目的，本技术的技术方案为：一种用于回收铜铟镓硒太阳能电池沉积中硒的回收装置，包括腔壁、法兰管、冷凝板、分子泵、管道和前级泵，所述腔壁固定连接在铜铟镓硒太阳能电池沉积的腔室上，腔壁与腔室构成密封空间，法兰管连接在腔壁上且与密封空间连通，冷凝板的一端连接在法兰管上，冷凝板的另一端与分子泵连接，前级泵通过管道与分子泵连接，铜铟镓硒太阳能电池沉积产生的硒蒸汽从腔室出来依次经过法兰管、冷凝板、分子泵、管道和前级泵。
[0007]进一步的，所述腔壁与腔室构成的密封空间内为真空环境，法兰管通过焊接/螺栓方式连接于腔壁上。
[0008]进一步的，所述法兰管包括法兰、连接管和冷却管，连接管的一端连接在腔壁上且与腔壁和腔室构成的密封空间连通，法兰设置在连接管的另一端，冷凝板与法兰连接，冷却管缠绕设置在连接管上。
[0009]进一步的，所述冷却管包括入口、管和出口，管缠绕在连接管上并连通入口和出口，冷却管的入口设置在靠近腔壁的一侧，出口设置在远离腔壁的一侧。
[0010]进一步的，所述冷凝板包括若干叶片，冷凝板中部为供硒蒸汽通过的中空结构，叶片以百叶的形状连接在冷凝板的中空部位。
[0011]进一步的，所述叶片呈多排形式连接在冷凝板上，叶片的角度为30～75
°
。
[0012]进一步的，所述冷凝板还包括第一冷却管和第二冷却管，第一冷却管设置在冷凝板的圆周外侧，第二冷却管设置在冷凝板的中部。
[0013]进一步的，所述冷凝板上设有螺孔，第一冷却管位于叶片的外侧，螺孔位于第一冷却管所构成圆形的外侧，冷凝板通过螺栓与螺孔配合连接在法兰管上。
[0014]进一步的，所述冷凝板的两侧均设有密封圈，密封圈位于第二冷却管的内侧，冷凝板连接在法兰管上时，第二冷却管靠近法兰，第一冷却管位于外侧，冷凝板与法兰之间采用密封圈密封。
[0015]进一步的，所述分子泵为一种用于分子流状态下的真空泵，为牵引分子泵、涡轮分子泵、复合分子泵中的一种或多种；前级泵为可直接作用于大气状态的机械泵。
[0016]采用本技术技术方案的优点为：
[0017]1、本技术对尾排结构进行了设计，根据硒蒸汽的特性增加合理的冷凝结构，促使硒蒸汽在进入泵前会被尽量冷凝，可大量降低硒对泵的影响，同时也降低硒对尾气处理及排放的影响。该回收装置结构简单，将尾气中的硒冷凝再次利用，不需特殊的废料处理工艺，在CIGS镀膜领域中有好的应用。
[0018]2、本技术利用硒蒸汽低熔点的特点进行设计，将蒸汽中硒提炼出来；在保证不影响分子泵抽速的状态下，控制对硒蒸汽的最大化冷凝，可以将排出尾排的硒蒸汽凝固再利用，且不需特殊的废料处理工艺；同时降低尾排中的硒蒸汽的污染。
附图说明
[0019]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明：
[0020]图1为本技术回收装置主视示意图；
[0021]图2为本技术回收装置整体结构示意图；
[0022]图3为本技术法兰管结构示意图；
[0023]图4为本技术冷凝板结构示意图；
[0024]图5为本技术冷凝板正面结构示意图；
[0025]图6为本技术冷凝板背面结构示意图；
[0026]图7为本技术冷凝板安装结构示意图。
[0027]上述图中的标记分别为：1
‑
腔壁、2
‑
法兰管、3
‑
冷凝板、4
‑
分子泵、5
‑
管道、 6
‑
前级泵。
具体实施方式
[0028]在本技术中，需要理解的是，术语“长度”；“宽度”；“上”；“下”；“前”；“后”；“左”；“右”；“竖直”；“水平”；“顶”；“底”“内”；“外”；“顺时针”；“逆时针”；“轴向”；“平面方向”；“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位；以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0029]如图1至图7所示，一种用于回收铜铟镓硒太阳能电池沉积中硒的回收装置，包括腔壁1、法兰管2、冷凝板3、分子泵4、管道5和前级泵6，所述腔壁1固定连接在铜铟镓硒太阳能电池沉积的腔室上，腔壁1与腔室构成密封空间，法兰管2连接在腔壁1上且与密封空间连通，冷凝板3的一端连接在法兰管2上，冷凝板3的另一端与分子泵4连接，前级泵6通过管道5与分子泵4 连接，铜铟镓硒太阳能电池沉积产生的硒蒸汽从腔室出来依次经过法兰管2、冷
凝板3、分子泵4、管道5和前级泵6。本技术对尾排结构进行了设计，根据硒蒸汽的特性增加合理的冷凝结构，促使硒蒸汽在进入泵前会被尽量冷凝，可大量降低硒对泵的影响，同时也降低硒对尾气处理及排放的影响。该回收装置结构简单，将尾气中的硒冷凝再次利用，不需特殊的废料处理工艺，在CIGS 镀膜领域中有好的应用。
[0030]腔壁1与腔室构成的密封空间内为真空环境，法兰管2通过焊接/螺栓方式连接于腔壁1上。
[0031]法兰管2包括法兰24、连接管25和冷却管，连接管25的一端连接在腔壁 1上且与腔壁1和腔室构成的密封空间连通，法兰24设置在连接管25的另一端，冷凝板3与法兰24连接，冷却管缠绕设置在连接管25上。优选的，法兰为CF、ISO、KF等类型中的一种或多种；连接管25为抗腐蚀性好的不锈刚材质。
[0032]冷却管包括入口21、管22和出口23，管22缠绕在连接管25上并连通入口21和出口23，冷却管的入口21设置在靠近腔壁1的一侧，出口23设置在远离腔壁1的一侧。冷却管材质选用铜、铝中的一种，优选紫铜。
[0033]冷凝板3包括若干叶片本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于回收铜铟镓硒太阳能电池沉积中硒的回收装置，其特征在于：包括腔壁(1)、法兰管(2)、冷凝板(3)、分子泵(4)、管道(5)和前级泵(6)，所述腔壁(1)固定连接在铜铟镓硒太阳能电池沉积的腔室上，腔壁(1)与腔室构成密封空间，法兰管(2)连接在腔壁(1)上且与密封空间连通，冷凝板(3)的一端连接在法兰管(2)上，冷凝板(3)的另一端与分子泵(4)连接，前级泵(6)通过管道(5)与分子泵(4)连接，铜铟镓硒太阳能电池沉积产生的硒蒸汽从腔室出来依次经过法兰管(2)、冷凝板(3)、分子泵(4)、管道(5)和前级泵(6)。2.如权利要求1所述的一种用于回收铜铟镓硒太阳能电池沉积中硒的回收装置，其特征在于：所述腔壁(1)与腔室构成的密封空间内为真空环境，法兰管(2)通过焊接/螺栓方式连接于腔壁(1)上。3.如权利要求1或2所述的一种用于回收铜铟镓硒太阳能电池沉积中硒的回收装置，其特征在于：所述法兰管(2)包括法兰(24)、连接管(25)和冷却管，连接管(25)的一端连接在腔壁(1)上且与腔壁(1)和腔室构成的密封空间连通，法兰(24)设置在连接管(25)的另一端，冷凝板(3)与法兰(24)连接，冷却管缠绕设置在连接管(25)上。4.如权利要求3所述的一种用于回收铜铟镓硒太阳能电池沉积中硒的回收装置，其特征在于：所述冷却管包括入口(21)、管(22)和出口(23)，管(22)缠绕在连接管(25)上并连通入口(21)和出口(23)，冷却管的入口(21)设置在靠近腔壁(1)的一侧，出口(23)设置在远离腔壁(1)的一侧。5.如权利要求3所述的一种用于回收铜铟镓硒太阳能电池沉积中硒的回收装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：年志刚，徐铭俊，赵修虞，罗友菊，
申请(专利权)人：宣城开盛新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：