本实用新型专利技术提供了一种机械手臂防撞装置，包括：升降旋转机构、急停止控制机构以及浸泡提篮机构，升降旋转机构包括配装座、升降驱动组件以及旋转驱动组件，升降驱动组件以及旋转驱动组件均安装在配装座上，升降驱动组件用于驱动旋转驱动组件沿着配装座升降，旋转驱动组件用于驱动紧急停止控制机构以及浸泡提篮机构同时旋转。本实用新型专利技术提供的机械手臂防撞装置主要由升降旋转机构、急停止控制机构以及浸泡提篮机构组成，其中，急停止控制机构安装在浸泡提篮机构与升降旋转机构之间，用于在浸泡提篮机构发生碰撞时控制升降旋转机构紧急停止动作，防撞效果较好，可以防止因操作失误导致撞击造成晶圆损坏的情况发生。致撞击造成晶圆损坏的情况发生。致撞击造成晶圆损坏的情况发生。
【技术实现步骤摘要】
机械手臂防撞装置
[0001]本技术涉及晶圆加工
，具体是涉及一种机械手臂防撞装置。
技术介绍
[0002]在半导体制程经常使用前后槽设计，后槽做药液(酸碱)浸泡，前槽做纯水清洗，一般会使用升降装置做晃动浸泡，旋转装置做前后槽切换，在升降及旋转时可能存在各种人为失误，例如在机构旋转处放置物品、槽内放置其他物品，导致升降及旋转发生碰撞，一般市面上所使用侦测装置多采用传感器检测是否发生碰撞，在传感器沾到药液后经常出现失灵的情况，导致防撞效果不理想。
[0003]为此，提出一种机械手臂防撞装置。
技术实现思路
[0004]本技术以解决
技术介绍
中提出的问题为目的，提供了一种机械手臂防撞装置。
[0005]具体技术方案如下：
[0006]一种机械手臂防撞装置，包括：
[0007]用于驱动浸泡提篮机构升降旋转的升降旋转机构；
[0008]用于盛放晶圆并将所述晶圆放置在药液中浸泡的浸泡提篮机构；
[0009]用于在所述浸泡提篮机构发生碰撞时控制所述升降旋转机构紧急停止动作的紧急停止控制机构，所述急停止控制机构安装在所述浸泡提篮机构与所述升降旋转机构之间。
[0010]作为本技术的一种优选方案，所述升降旋转机构包括配装座、升降驱动组件以及旋转驱动组件，所述升降驱动组件以及所述旋转驱动组件均安装在所述配装座上，所述升降驱动组件用于驱动所述旋转驱动组件沿着所述配装座升降，所述旋转驱动组件用于驱动所述紧急停止控制机构以及所述浸泡提篮机构同时旋转。
[0011]作为本技术的一种优选方案，所述升降驱动组件包括第一驱动电机、滑轨、丝杆、移动座、连接座、从动皮带轮以及主动皮带轮，所述第一驱动电机固定安装在所述配装座上，所述滑轨竖直且固定地安装在所述配装座的侧部，所述丝杆通过轴承座转动安装在所述配装座的侧部，所述丝杆竖直设置，所述移动座通过滑块与所述滑轨滑动连接，且所述移动座通过丝杆螺母与所述丝杆螺纹连接，所述连接座固定安装在所述移动座远离所述配装座的一侧面上，所述从动皮带轮固定安装在所述丝杆的上端端部，所述主动皮带轮固定安装在所述第一驱动电机的转动轴端部，且所述主动皮带轮与所述从动皮带轮通过皮带传动连接。
[0012]作为本技术的一种优选方案，所述旋转驱动组件包括第二驱动电机以及连接杆，所述第二驱动电机竖直且固定地安装在所述连接座上，所述连接杆竖直设置，且所述连接杆的上端通过联轴器与所述第二驱动电机的转动轴固定连接。
[0013]作为本技术的一种优选方案，所述第一驱动电机以及所述第二驱动电机均为减速电机。
[0014]作为本技术的一种优选方案，所述紧急停止控制机构包括安装座、空心座、凸台、微动开关以及固定板，所述安装座固定安装在所述连接杆的底端，所述空心座固定安装在所述安装座的侧部，所述凸台固定安装在所述空心座的侧部，且所述凸台上部边缘开设有凹槽，所述微动开关固定安装在所述空心座的内部，且所述微动开关的驱动杆活动穿过所述凹槽并向上翘起，所述微动开关分别与所述第一驱动电机以及所述第二驱动电机串联连接，所述固定板通过螺钉安装在所述凸台远离所述空心座的一侧面上。
[0015]作为本技术的一种优选方案，所述浸泡提篮机构包括连接臂以及晶舟，所述连接臂竖直设置，且所述连接臂上靠近其上端开设有梯形通槽，所述凸台插入所述梯形通槽中，所述连接臂通过所述固定板固定在所述凸台上，所述梯形通槽的内顶壁压紧所述微动开关的驱动杆，当所述微动开关的驱动杆被压紧时所述微动开关导通，当所述微动开关的驱动杆被松开时所述微动开关断开，所述晶舟固定安装在所述连接臂的侧部，且所述晶舟用于盛放所述晶圆。
[0016]作为本技术的一种优选方案，还包括用于为所述第二驱动电机供电的随行电缆，所述随行电缆的底部通过连接片与所述配装座的侧部固定连接。
[0017]作为本技术的一种优选方案，所述配装座的顶部固定安装有防护壳体，所述防护壳体将所述从动皮带轮、所述主动皮带轮以及所述皮带包围。
[0018]本技术具有以下有益效果：
[0019]本技术提供的机械手臂防撞装置主要由升降旋转机构、急停止控制机构以及浸泡提篮机构组成，其中，急停止控制机构安装在浸泡提篮机构与升降旋转机构之间，用于在浸泡提篮机构发生碰撞时控制升降旋转机构紧急停止动作，防撞效果较好，可以防止因操作失误导致撞击造成晶圆损坏的情况发生。
附图说明
[0020]图1为本技术实施例提供的机械手臂防撞装置的结构示意图；
[0021]图2为本技术实施例提供的机械手臂防撞装置的另一视角的结构示意图；
[0022]图3为本技术实施例提供的机械手臂防撞装置拆除防护外壳后的结构示意图；
[0023]图4为本技术实施例提供的机械手臂防撞装置的局部结构示意图；
[0024]图5为本技术实施例提供的机械手臂防撞装置的局部爆炸结构示意图。
[0025]附图中：
[0026]1、升降旋转机构；101、配装座；102、第一驱动电机；103、主动皮带轮；104、从动皮带轮；105、皮带；106、丝杆；107、滑轨；108、移动座；109、连接座；110、第二驱动电机；111、联轴器；112、连接杆；113、随行电缆；114、连接片；115、防护壳体；
[0027]2、急停止控制机构；201、安装座；202、空心座；203、凸台；204、固定板；205、凹槽；206、微动开关；
[0028]3、浸泡提篮机构；301、连接臂；302、晶舟；303、梯形通槽；
[0029]4、晶圆。
具体实施方式
[0030]下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。
[0031]其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本专利的限制；为了更好地说明本技术的实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。
[0032]本技术实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本技术的描述中，需要理解的是，若出现术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。
[0033]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，若出现术语“连接”等指示部件之间的连接关系，该术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个部件内部本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种机械手臂防撞装置，其特征在于，包括：用于驱动浸泡提篮机构升降旋转的升降旋转机构(1)；用于盛放晶圆(4)并将所述晶圆(4)放置在药液中浸泡的浸泡提篮机构(3)；用于在所述浸泡提篮机构(3)发生碰撞时控制所述升降旋转机构(1)紧急停止动作的紧急停止控制机构(2)，所述急停止控制机构(2)安装在所述浸泡提篮机构(3)与所述升降旋转机构(1)之间。2.根据权利要求1所述的机械手臂防撞装置，其特征在于，所述升降旋转机构(1)包括配装座(101)、升降驱动组件以及旋转驱动组件，所述升降驱动组件以及所述旋转驱动组件均安装在所述配装座(101)上，所述升降驱动组件用于驱动所述旋转驱动组件沿着所述配装座(101)升降，所述旋转驱动组件用于驱动所述紧急停止控制机构(2)以及所述浸泡提篮机构(3)同时旋转。3.根据权利要求2所述的机械手臂防撞装置，其特征在于，所述升降驱动组件包括第一驱动电机(102)、滑轨(107)、丝杆(106)、移动座(108)、连接座(109)、从动皮带轮(104)以及主动皮带轮(103)，所述第一驱动电机(102)固定安装在所述配装座(101)上，所述滑轨(107)竖直且固定地安装在所述配装座(101)的侧部，所述丝杆(106)通过轴承座转动安装在所述配装座(101)的侧部，所述丝杆(106)竖直设置，所述移动座(108)通过滑块与所述滑轨(107)滑动连接，且所述移动座(108)通过丝杆螺母与所述丝杆(106)螺纹连接，所述连接座(109)固定安装在所述移动座(108)远离所述配装座(101)的一侧面上，所述从动皮带轮(104)固定安装在所述丝杆(106)的上端端部，所述主动皮带轮(103)固定安装在所述第一驱动电机(102)的转动轴端部，且所述主动皮带轮(103)与所述从动皮带轮(104)通过皮带(105)传动连接。4.根据权利要求3所述的机械手臂防撞装置，其特征在于，所述旋转驱动组件包括第二驱动电机(110)以及连接杆(112)，所述第二驱动电机(110)竖直且固定地安装在所述连接座(109)上，所述连接杆(112)竖直设置，且所述连接杆(112)的上端通过联轴器(111)与所述第二驱动电机(110)的转动轴固定连接。5.根据权利要求4...
【专利技术属性】
技术研发人员：张宇丞，高长风，
申请(专利权)人：捷成微系统惠州股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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