本实用新型专利技术涉及一种多晶硅生产工艺用的氩气供应装置，包括精馏塔，所述的精馏塔上设有氩气输送管，氩气输送管的末端上连通有第一缓冲罐，第一缓冲罐上连通有第二缓冲罐，第一缓冲罐和第二缓冲罐之间通过第一输送管和第二输送管相连通，第一输送管上设有第一调节阀，第二输送管上设有第二调节阀，第二调节阀和第二缓冲罐之间的第二输送管上设有电加热器，第二缓冲罐的出口端和换热器的冷源进口端相连通，换热器的热源进口端上设有空气输送管，空气输送管上设有压缩机，换热器的热源出口端上连通有空冷塔。减少低温氩气加热时所消耗的电能。本实用新型专利技术调节、使用方便，具有广泛的市场前景。的市场前景。的市场前景。
【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅生产工艺用的氩气供应装置
[0001]本技术涉及晶硅生产工艺用的氩气供应领域，具体涉及一种多晶硅生产工艺用的氩气供应装置。
技术介绍
[0002]光伏产业是二十一世纪世界上增长最快的高新技术产业之一。多晶硅是全球电子工业和光伏产业的基石，用硅材料制造的太阳能电池性能稳定、寿命长，并且成本相对于其他太阳能电池较低。为了生产成本更低、性能更好的太阳能电池，以工业硅(MG
‑
Si)为原料，利用冶金的方法进行精炼来生产太阳能级硅(SOG
‑
Si)。
[0003]在多晶硅生产过程中需要高纯度的氩气，由空分装置制取的氩气由于温度较低，现有工艺中通常是将空分装置制取的高纯氩气通常是经过电加热器加热至预设温度，而后输送至多晶硅生产装置中进行利用，低温氩气复热通常需要大量热量，电能耗费严重。
技术实现思路
[0004]针对现有技术的不足，本技术提供一种减少低温氩气加热时所消耗的电能的多晶硅生产工艺用的氩气供应装置，用于克服现有技术中缺陷。
[0005]本技术采用的技术方案为：一种多晶硅生产工艺用的氩气供应装置，包括精馏塔，所述的精馏塔上设置有氩气输送管，氩气输送管的末端上连通有第一缓冲罐的进口端，第一缓冲罐的出口端上连通有第二缓冲罐的进口端，第一缓冲罐和第二缓冲罐之间通过第一输送管和第二输送管相连通，第一输送管上设置有第一调节阀，第二输送管上设置有第二调节阀，第二调节阀和第二缓冲罐的进口端之间的第二输送管上设置有电加热器，第二缓冲罐的出口端和换热器的冷源进口端相连通，换热器的热源进口端上设置有空气输送管，空气输送管上设置有压缩机，换热器的热源出口端上连通有空冷塔。
[0006]优选的，还包括液氩储罐，液氩储罐的底部与第一缓冲罐的进口端之间依次通过液氩输送管和汽化装置相连通，液氩输送管上沿着液氩储罐至所述的汽化装置之间依次设置有增压泵和液体流量传感器，所述的汽化装置包括汽化管，汽化管上沿着液氩输送管至第一缓冲罐的方向依次设置有截止阀、液氩汽化器和第三调节阀。
[0007]优选的，所述的第一调节阀和第二缓冲罐之间的第一输送管上设置有第一气体流量传感器，电加热器和第二调节阀之间的第二输送管上设置有第二气体流量传感器。
[0008]优选的，所述的氩气输送管上沿着精馏塔至第一缓冲罐的方向上依次设置有单向阀和第三气体流量传感器。
[0009]优选的，所述的液氩储罐上设置有液位计。
[0010]优选的，所述的增压泵和液体流量传感器之间的液氩输送管和液氩储罐的顶部通过补压管相连通，补压管沿着液氩输送管至液氩储罐的方向依次设置有空冷式换热器和自立式调节阀。
[0011]优选的，所述的第二缓冲罐的出口端和换热器的冷源进口端之间通过第三输送管
相连通，换热器的冷源出口端上连通有第四输送管，第三输送管上设置有第一温度传感器，第四输送管上设置有第二温度传感器。
[0012]本技术有益效果是：首先，本技术利用经压缩机加压压缩空气形成的高温气体与低温氩气进行热交换，降低了低温氩气加热时利用电加热器加热所需要的电能消耗，并且压缩空气被低温氩气降温后再进入空冷塔能够降低空冷塔冷却压缩空气过程中的能耗，降低了企业的生产成本，利与推广。
[0013]其次，本技术所述的汽化装置的数量采用若干个，利于连续汽化由液氩储罐提供的液氩。
[0014]最后，本技术所述的液氩储罐上设置有液位计，便于反馈液氩储罐内的液体液位。
[0015]本技术具有结构简单，操作方便，设计巧妙，大大提高了工作效率，具有很好的社会和经济效益，是易于推广使用的产品。
附图说明
[0016]图1为本技术的结构示意图。
具体实施方式
[0017]如图1所示，一种多晶硅生产工艺用的氩气供应装置，包括精馏塔1，精馏塔1外侧设置有冷箱34，所述的精馏塔1上设置有氩气输送管2，氩气输送管2的末端上连通有第一缓冲罐3的进口端，第一缓冲罐3的出口端上连通有第二缓冲罐4的进口端，第一缓冲罐3和第二缓冲罐4之间通过第一输送管5和第二输送管6相连通，第一输送管5上设置有第一调节阀7，第二输送管6上设置有第二调节阀8，第二调节阀8和第二缓冲罐4的进口端之间的第二输送管6上设置有电加热器9，第二缓冲罐4的出口端和换热器10的冷源进口端相连通，换热器10的热源进口端上设置有空气输送管11，空气输送管11上设置有压缩机12，换热器10的热源出口端上连通有空冷塔13。所述的氩气输送管2上沿着精馏塔1至第一缓冲罐3的方向上依次设置有单向阀26和第三气体流量传感器27。
[0018]本产品为了因空分装置停车而造成的氩气输送中断，本产品包括液氩储罐14，液氩储罐14的底部与第一缓冲罐3的进口端之间依次通过液氩输送管15和汽化装置相连通，液氩输送管15上沿着液氩储罐14至所述的汽化装置之间依次设置有增压泵16和液体流量传感器17，所述的汽化装置包括汽化管18，汽化管18上沿着液氩输送管15至第一缓冲罐3的方向依次设置有截止阀19、液氩汽化器20和第三调节阀21。所述的汽化装置的数量采用若干个。
[0019]所述的液氩储罐14上设置有液位计28，便于反馈液氩储罐14内的液体液位。为了平衡在液氩外排过程中液氩储罐14内的压力平衡，本产品在所述的增压泵16和液体流量传感器17之间的液氩输送管15和液氩储罐14的顶部通过补压管29相连通，补压管29沿着液氩输送管15至液氩储罐14的方向依次设置有空冷式换热器30和自立式调节阀31。所述的液氩储罐14的数量采用若干个，若干个所述的液氩储罐14的底部均与液氩输送管15相连通，若干个所述的液氩储罐14的顶部均与补压管29相连通。
[0020]所述的第一调节阀7和第二缓冲罐4之间的第一输送管5上设置有第一气体流量传
感器23，电加热器9和第二调节阀8之间的第二输送管6上设置有第二气体流量传感器24。所述的第二缓冲罐4的出口端和换热器10的冷源进口端之间通过第三输送管22相连通，换热器10的冷源出口端上连通有第四输送管25，第三输送管22上设置有第一温度传感器32，第四输送管25上设置有第二温度传感器33。
[0021]本产品使用方法如下：如图1所示，精馏塔1产出的氩气经过氩气输送管2输送给第一缓冲罐3，而后一部分输送给第一输送管5，另一部分输送给第二输送管6再被电加热器9加热；而后经第一输送管5输送的氩气以及经第二输送管6输送的氩气同时输送到第二缓冲罐4混合后从第三输送管22输送给换热器10的冷源入口端。期间结合第一气体流量传感器23、第二气体流量传感器24以及第一温度传感器32所反馈的数值合理调整第一调节阀7和第二调节阀8的开度，至第一温度传感器32所反馈的数值位于预设范围之内。经第三输送管22输送的氩气进入换热器10的冷源通道与经压缩机12加压后的高温压缩空气换热，氩气在换热器10的冷源通道后被加热而后通过第四输送管25输送给多晶硅生产装置，压缩空气经过换热器10的热源通本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种多晶硅生产工艺用的氩气供应装置，其特征在于：包括精馏塔(1)，所述的精馏塔(1)上设置有氩气输送管(2)，氩气输送管(2)的末端上连通有第一缓冲罐(3)的进口端，第一缓冲罐(3)的出口端上连通有第二缓冲罐(4)的进口端，第一缓冲罐(3)和第二缓冲罐(4)之间通过第一输送管(5)和第二输送管(6)相连通，第一输送管(5)上设置有第一调节阀(7)，第二输送管(6)上设置有第二调节阀(8)，第二调节阀(8)和第二缓冲罐(4)的进口端之间的第二输送管(6)上设置有电加热器(9)，第二缓冲罐(4)的出口端和换热器(10)的冷源进口端相连通，换热器(10)的热源进口端上设置有空气输送管(11)，空气输送管(11)上设置有压缩机(12)，换热器(10)的热源出口端上连通有空冷塔(13)。2.根据权利要求1所述的多晶硅生产工艺用的氩气供应装置，其特征在于：还包括液氩储罐(14)，液氩储罐(14)的底部与第一缓冲罐(3)的进口端之间依次通过液氩输送管(15)和汽化装置相连通，液氩输送管(15)上沿着液氩储罐(14)至所述的汽化装置之间依次设置有增压泵(16)和液体流量传感器(17)，所述的汽化装置包括汽化管(18)，汽化管(18)上沿着液氩输送管(15)至第一缓冲罐(3)的方向依次设置有截止阀(19)、液氩汽化器(20)和第三调节阀(21)。3.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员：燕春福，
申请(专利权)人：开封市鑫联空分设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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