单晶炉用提升装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种单晶炉用提升装置，包括升降导向机构、第一吊具、第二吊具以及开合调节机构，第一吊具与升降导向机构可滑动连接；第二吊具与第一吊具可活动连接；开合调节机构连接第二吊具，能够驱动第二吊具相对第一吊具活动，并到达收合位置或者打开位置；第二吊具在收合位置时沿第一吊具的长度方向设置；及在打开位置时与第一吊具形成预设夹角。开位置时与第一吊具形成预设夹角。开位置时与第一吊具形成预设夹角。

【技术实现步骤摘要】
单晶炉用提升装置


[0001]本专利技术涉及单晶制备
，尤其涉及一种单晶炉用提升装置。

技术介绍

[0002]在光伏产业、半导体产业中，人造晶体是常用的原材料。在使用单晶炉制备晶体期间需要向单晶炉内装载热场、坩埚等器件结构。为此行业内广泛使用单晶炉用提升装置来完成炉室提升过程。
[0003]为了适配并能够稳定对接炉体，现有的单晶炉用提升装置包括多个由同一中心沿平面向四周伸出的提升吊臂，使得单晶炉用提升装置在闲置或者非工作状态下占据相当大的空间区域，也容易对操作人员产生干扰或安全隐患。

技术实现思路

[0004]鉴于此，本专利技术提供一种单晶炉用提升装置，该装置在闲置或者非工作状态下占据的空间区域缩小，可以降低对场地空间的要求，并提高操作人员的便利性和安全性。
[0005]本专利技术提供的单晶炉用提升装置包括升降导向机构、第一吊具、第二吊具以及开合调节机构，第一吊具与升降导向机构可滑动连接；第二吊具与第一吊具可活动连接；开合调节机构连接第二吊具，能够驱动第二吊具相对第一吊具活动，并到达收合位置或者打开位置；第二吊具在收合位置时沿第一吊具的长度方向设置；及在打开位置时与第一吊具形成预设夹角。
[0006]在其中一个实施方式中，第二吊具转动连接于第一吊具，第二吊具相对第一吊具转动的轴线平行于升降导向机构所限定出的单晶炉升降活动轨迹。
[0007]如此设置，第二吊具与第一吊具共同形成一套可折叠切换形态的悬吊架机构，第二吊具在收合位置以及打开位置时分别对应悬吊架机构的收合状态与打开状态。通过折叠运动方式改变悬吊架机构的形态更加方便、便于设置开合调节机构的位置以及其连接第一吊具与第二吊具的方式。
[0008]在其中一个实施方式中，第一吊具设有第一吊炉单元，第二吊具设有第二吊炉单元，在第二吊具位于打开位置时，第一吊炉单元与第二吊炉单元分别位于第一吊具朝向地面的一侧和第二吊具朝向地面的一侧。
[0009]如此设置，在将炉体的位置设置完成，使其轴线与第二吊具的转动轴线重合的情况下，悬吊架机构一经切换至打开状态，第一吊炉单元与第二吊炉单元能够直接与炉体外周缘相适配，此时便可直接吊装炉体，使用方便。
[0010]在其中一个实施方式中，第一吊具包括供第二吊具转动连接的转动安装部、用于连接升降导向机构的升降安装部，第一吊炉单元设于转动安装部与升降安装部之间；或者，转动安装部设于第一吊炉单元与升降安装部之间。
[0011]当第一吊炉单元设于转动安装部与升降安装部之间时，第一吊具相对于升降导向机构外伸出的距离可以更小，由此可以将单晶炉用提升装置在第二吊具的长度方向上的尺
寸控制在较小的范围内，进一步限制了整套装置的空间区域占用；当转动安装部设于第一吊炉单元与升降安装部之间时，转动安装部与升降导向机构之间的距离较小，因此当悬吊架机构承受炉体重量后，悬吊架各个吊炉单元所在平面的水平度偏差更小，因而炉体被吊起后的倾斜程度更小。
[0012]在其中一个实施方式中，第二吊具的数量为两个，当两个第二吊具分别位于相应的打开位置时，两个第二吊具分别向第一吊具相背的两侧倾斜。
[0013]如此设置，悬吊架机构在打开状态下可以更稳固地承载炉体，可以避免炉体受力不平衡。
[0014]在其中一个实施方式中，开合调节机构包括伸缩推杆单元，伸缩推杆单元的两端分别活动连接于第一吊具与第二吊具，第二吊具在收合位置时，伸缩推杆单元位于第一吊具内部及/或第二吊具内部。
[0015]如此设置，开合调节机构的结构简单、安装方便且传力效率高，且悬吊架机构在收合状态下，开合调节机构能够被收纳在第一吊具及/或第二吊具内，不会额外占用空间区域。
[0016]在其中一个实施方式中，第二吊具在收合位置时贴合于第一吊具的侧部。
[0017]如此设置，悬吊架机构在收合状态下的结构更加紧凑。
[0018]在其中一个实施方式中，单晶炉用提升装置还包括升降组件以及摆动驱动组件，升降组件与升降导向机构滑动配合，第一吊具与升降组件转动配合，且二者的相对转动中心沿升降组件的滑动方向延伸，摆动驱动组件驱动连接第一吊具。
[0019]如此设置，能够根据使用需要带动悬吊架机构相对于升降组件以及升降导向机构转动，以实现自身从单晶炉竖直上方转移离开的目的，方便操作人员对晶体生产设备维保或执行作业。
[0020]在其中一个实施方式中，摆动驱动组件包括传动单元以及驱动单元，传动单元包括可活动安装于第一吊具的主动件、设于升降组件的从动件，主动件与从动件联动连接，驱动单元安装于第一吊具，并驱动连接主动件。
[0021]如此设置，摆动驱动组件的结构及布置简单，无需为驱动单元、主动件或者从动件的安装设置额外的结构便可以实现悬吊架机构与升降组件/升降导向机构之间的转动。
[0022]在其中一个实施方式中，主动件为转动安装于第一吊具的主动轮，从动件为形成于升降组件的从动轮，传动单元还包括套设主动轮与从动轮的闭环传动件。
[0023]如此设置，摆动驱动组件为带传动形式，具有结构简单便于维护的优点。
[0024]与现有技术相比，本专利技术的单晶炉用提升装置允许根据使用需要切换第二吊具的位置，从而改变第一吊具和第二吊具的整体形态，第二吊具在打开位置时能够与第一吊具协同适配炉体的对接吊装，而在收合位置时与第一吊具并行设置，减少了两个吊具在第一吊具宽度方向上的尺寸，因此可以缩小整个单晶炉用提升装置在水平方向上空间区域占用，其对操作人员干扰以及产生安全隐患的问题得以改善。
附图说明
[0025]图1为本专利技术一个实施例的单晶炉用提升装置在第一状态的示意图；
[0026]图2为本专利技术一个实施例的单晶炉用提升装置在第二状态的示意图；
[0027]图3为本专利技术一个实施例的单晶炉用提升装置在第二状态的示意图；
[0028]图4为图3所示单晶炉用提升装置在A处的局部放大示意图。
[0029]附图标记说明：
[0030]100、单晶炉用提升装置；10、升降导向机构；11、立柱；12、滑轨；20、悬吊架机构；21、第一吊具；211、第一吊臂；212、第一吊炉单元；2121、吊炉气缸；2122、吊炉勾爪；213、转动安装部；214、升降安装部；22、第二吊具；221、第二吊臂；222、第二吊炉单元；23、升降组件；231、立轴；232、从动轮；24、摆动驱动组件；241、驱动单元；242、主动轮；243、传动带；25、收纳腔；30、开合调节机构；31、伸缩推杆单元；40、升降驱动机构。
具体实施方式
[0031]下面将结合本专利技术实施方式中的附图，对本专利技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本专利技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本专利技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本专利技术保护的范围。
[0032]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用提升装置，包括升降导向机构(10)，其特征在于，还包括：第一吊具(21)，与所述升降导向机构(10)可滑动连接；第二吊具(22)，与所述第一吊具(21)可活动连接；以及开合调节机构(30)，连接所述第二吊具(22)，能够驱动所述第二吊具(22)相对所述第一吊具(21)活动，并到达收合位置或者打开位置；所述第二吊具(22)在所述收合位置时沿所述第一吊具(21)的长度方向设置；及在所述打开位置时与所述第一吊具(21)形成预设夹角。2.根据权利要求1所述的单晶炉用提升装置，其特征在于，所述第二吊具(22)转动连接于所述第一吊具(21)，所述第二吊具(22)相对所述第一吊具(21)转动的轴线平行于所述升降导向机构(10)所限定出的单晶炉升降活动轨迹。3.根据权利要求2所述的单晶炉用提升装置，其特征在于，所述第一吊具(21)设有第一吊炉单元(212)，所述第二吊具(22)设有第二吊炉单元(222)，在所述第二吊具(22)位于所述打开位置时，所述第一吊炉单元(212)与所述第二吊炉单元(222)分别位于所述第一吊具(21)朝向地面的一侧与所述第二吊具(22)朝向地面的一侧。4.根据权利要求3所述的单晶炉用提升装置，其特征在于，所述第一吊具(21)包括供所述第二吊具(22)转动连接的转动安装部(213)、用于连接所述升降导向机构(10)的升降安装部(214)；所述第一吊炉单元(212)设于所述转动安装部(213)与所述升降安装部(214)之间；或者，所述转动安装部(213)设于所述第一吊炉单元(212)与所述升降安装部(214)之间。5.根据权利要求2所述的单晶炉用提升装置，其特征在于，所述第二吊具(22)的数量为两个，当两个所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹建伟，朱亮，傅林坚，叶钢飞，阮文星，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：