一种纳米压印设备自动定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种纳米压印设备自动定位装置，包括压印台盘，在所述压印台盘上设有定位平台，在所述定位平台上设有滑动轨道，在所述滑动轨道内设有定位杆，所述定位杆上设有滑块，所述滑块能够带动所述定位杆在所述滑动轨道内滑动；所述定位杆一端伸向所述压印台盘中央，并且该端设有定位夹，另一端伸向所述压印台盘外沿，在所述压印台盘上、所述定位杆外沿端外侧，还设有伸缩杆。本实用新型专利技术的有益效果是：该装置通过三点确定位置的方式，对4

【技术实现步骤摘要】
一种纳米压印设备自动定位装置


[0001]本技术涉及纳米压印
，尤其涉及一种纳米压印设备自动定位装置。

技术介绍

[0002]随着光学领域的快速发展，纳米压印技术得到广泛应用并逐步产业化，要想实现精准的转印，需要对基片进行精确对位。以往的定位方式是靠人工手动定位，这种方式会存在误差，从而降低产能。为提高产品良率和生产效率，因此需要对基片定位方式提出进行改进。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于克服以上技术缺陷，提出一种纳米压印设备自动定位装置。
[0004]本技术为实现其技术目的所采取的技术方案是：一种纳米压印设备自动定位装置，包括压印台盘，在所述压印台盘上设有定位平台，在所述定位平台上设有滑动轨道，在所述滑动轨道内设有定位杆，所述定位杆上设有滑块，所述滑块能够带动所述定位杆在所述滑动轨道内滑动；
[0005]所述定位杆一端伸向所述压印台盘中央，并且该端设有定位夹，另一端伸向所述压印台盘外沿，在所述压印台盘上、所述定位杆外沿端外侧，还设有伸缩杆。
[0006]优选的，所述定位杆包括三套，
[0007]优选的，所述定位杆在所述压印台盘上呈圆周排列，并且相邻定位杆之间夹角为120度。
[0008]优选的，在所述定位杆向所述压印台盘中央的延伸端，设有喇叭口形状定位夹。
[0009]优选的，在所述定位杆向所述压印台盘外沿的延伸端外侧，均设有伸缩杆。
[0010]优选的，所述伸缩杆包括与所述所述定位杆相对应的三套。
[0011]本技术的有益效果是：该装置通过三点确定位置的方式，对4
‑
12寸的基片进行精准定位。实现自动精准定位，避免人工操作的误差，使得生产进行的加顺利。
附图说明
[0012]图1为本技术整体俯视图；
[0013]图2为本技术整体立体示意图；
[0014]图3为滑动轨道、滑块、定位杆组合状态示意图；
[0015]图4为滑动轨道与滑块结构示意图；
[0016]图5为定位杆结构示意图。
[0017]图中标记为：1、压印台盘；2、定位平台；3、滑动轨道；4、定位杆；41、喇叭口形状定位夹；5、滑块；6、定位夹；7、伸缩杆；8、基片；9、顶针。
具体实施方式
[0018]下面结合附图实施例对本技术做进一步说明。
[0019]实施例一
[0020]如图1
‑
5所示：
[0021]一种纳米压印设备自动定位装置，包括压印台盘1，在所述压印台盘1上设有定位平台2，在所述定位平台2上设有滑动轨道3，在所述滑动轨道3内设有定位杆4，所述定位杆4上设有滑块5，所述滑块5能够带动所述定位杆4在所述滑动轨道3内滑动；
[0022]所述定位杆4一端伸向所述压印台盘1中央，并且该端设有定位夹6，另一端伸向所述压印台盘1外沿，在所述压印台盘1上、所述定位杆4外沿端外侧，还设有伸缩杆7。
[0023]所述定位杆4包括三套，在所述压印台盘1上间隔排列，并且相邻定位杆之间夹角为120度。
[0024]在所述定位杆4向所述压印台盘1中央的延伸端，设有喇叭口形状定位夹41。
[0025]在所述定位杆4向所述压印台盘1外沿的延伸端外侧，均设有伸缩杆7，所述伸缩杆7也包括三套。
[0026]本技术的工作原理及工作过程如下：
[0027]本技术所述定位装置，在压印台盘1上装有三个定位杆，在压印设备整机系统参数页面上，设置基片尺寸，该定位装置会通过识别参数信号，移动到相应尺寸位置。以六寸基片为例，将基片8放置在压印台盘1升起的顶针9上，三个伸缩杆7上升至指定高度，滑块5带动定位杆4在滑动轨道3上移动到指定位置，三个喇叭口形状定位夹41将基片8对准到压印位置。对准后，滑块5带动定位杆4复位，伸缩杆7下降复位。顶针9降落，基片8被真空吸附在台盘上，定位结束。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种纳米压印设备自动定位装置，包括压印台盘，其特征在于：在所述压印台盘上设有定位平台，在所述定位平台上设有滑动轨道，在所述滑动轨道内设有定位杆，所述定位杆上设有滑块，所述滑块能够带动所述定位杆在所述滑动轨道内滑动；所述定位杆一端伸向所述压印台盘中央，并且该端设有定位夹，另一端伸向所述压印台盘外沿，在所述压印台盘上、所述定位杆外沿端外侧，还设有伸缩杆。2.根据权利要求1所述的纳米压印设备自动定位装置，其特征在于：所述定位杆包括三套。3.根据权利要求2所述的纳米...

【专利技术属性】
技术研发人员：冀然，
申请(专利权)人：青岛天仁微纳科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：