本申请提供了一种切换装置，供于配装于工作台，该工作台适用于X射线晶圆量测的探测器的标定与对位，切换装置包括旋转电机、转盘结构、探测器和至少一个定位镜头；转盘结构包括转盘本体和至少两个支撑悬臂，转盘本体连接于旋转电机的旋转轴，供于在旋转轴的驱动下相对工作台转动；支撑悬臂的一端连接于转盘本体、与一端相对的另一端沿转盘本体的径向向外辐射延伸，探测器和定位镜头分别设于不同的支撑悬臂的另一端，探测器和定位镜头供于在转盘本体的带动下切换至工作台的设定工作位上。本申请提供的切换装置用于X射线晶圆量测的探测器标定与对位的工作台，具有标定精度高、可满足于工作台在线量测和图案晶圆量测的优势。于工作台在线量测和图案晶圆量测的优势。于工作台在线量测和图案晶圆量测的优势。
【技术实现步骤摘要】
一种切换装置
[0001]本申请属于半导体芯片制造设备
，更具体地说，是涉及一种切换装置。
技术介绍
[0002]现有技术中，用于X射线晶圆量测的探测器标定与对位的工作台，其所涉及的X射线荧光探测器和用于定位的相机镜头通过结构件分别固定，亦即探测器和相机镜头采用分离方式配装。
[0003]使用上述现有工作台进行晶圆量测标定时，通过X射线直接扫描样片而激发出非可见荧光，通过非可见荧光校准探测器，具体为采用扫描光强度最大值法实现校准。然而，由于探测器和相机镜头采用分离方式配装，即使采用扫描光强度最大值法，亦无法保证X射线的光斑中心与样片待测结构的ROI(Region of Interest，感兴趣区域)中心，以及探测器的靶面中心三心重合，进而造成标定精度低的问题。而对于小尺寸光斑、图案晶圆和光学关键尺寸的量测，现有工作台更是难以保证标定精度，且其仅能满足离线量测和无图案晶圆量测，难以满足半导体制程工艺的在线量测需求。
技术实现思路
[0004]本申请实施例的目的在于提供一种切换装置，该切换装置供于配装于用于X射线晶圆量测的探测器标定与对位的工作台，以解决现有用于X射线晶圆量测的探测器标定与对位的工作台的标定精度低、无法满足在线和图案晶圆量测的技术问题。
[0005]为实现上述目的，本申请采用的技术方案是：
[0006]提供一种切换装置，所述切换装置供于配装于工作台，所述工作台适用于X射线晶圆量测的探测器的标定与对位；
[0007]所述切换装置包括旋转电机、转盘结构、探测器和至少一个定位镜头；
[0008]所述转盘结构包括转盘本体和至少两个支撑悬臂，所述转盘本体连接于所述旋转电机的旋转轴，供于在所述旋转轴的驱动下相对工作台转动；所述支撑悬臂的一端连接于所述转盘本体、与所述一端相对的另一端沿所述转盘本体的径向向外辐射延伸，所述探测器和所述定位镜头分别设于不同的所述支撑悬臂的另一端，所述探测器和所述定位镜头供于在所述转盘本体的带动下切换至所述工作台的设定工作位上。
[0009]一实施例中，所述切换装置包括两个所述定位镜头，分别为第一定位镜头和第二定位镜头；所述转盘结构包括三个所述支撑悬臂，分别为第一支撑悬臂、第二支撑悬臂和第三支撑悬臂；
[0010]所述第一定位镜头、所述探测器和所述第二定位镜头分别设于所述第一支撑悬臂、第二支撑悬臂和第三支撑悬臂的另一端上；其中，所述第一定位镜头的倍率和所述第二定位镜头的倍率不同。
[0011]一实施例中，所述第一支撑悬臂、第二支撑悬臂和第三支撑悬臂依次等角度设置。
[0012]一实施例中，所述切换装置还包括支撑横梁，所述支撑横梁具有相对设置的连接
端和悬挑端，所述连接端供于连接所述工作台，所述旋转电机和所述转盘结构配装于所述悬挑端上。
[0013]一实施例中，所述悬挑端上开设有沿竖直方向贯穿所述支撑横梁的通孔结构，所述旋转电机和所述转盘结构沿所述通孔结构的轴线同轴且分设于所述通孔结构的两侧；
[0014]所述转盘本体转动连接于所述支撑横梁，所述旋转轴穿过所述通孔结构并连接于所述转盘本体。
[0015]一实施例中，所述转盘本体具有盘轴，所述盘轴和所述旋转轴同轴连接，所述盘轴的轴面上开设有至少两个半球槽，所述半球槽内均活动置有调档滚珠；所述支撑横梁具有套接于所述通孔结构的盘轴套管，所述盘轴套管的管壁上开设有至少两个半球槽，所述盘轴和所述盘轴套管套接；当所述调档滚珠适配于所述盘轴套管的半球槽时，所述探测器或所述定位镜头切换至所述工作台的设定工作位上。
[0016]一实施例中，所述切换装置包括两个所述定位镜头，分别为第一定位镜头和第二定位镜头；所述转盘结构包括三个所述支撑悬臂，分别为第一支撑悬臂、第二支撑悬臂和第三支撑悬臂；所述第一定位镜头、所述探测器和所述第二定位镜头分别设于所述第一支撑悬臂、第二支撑悬臂和第三支撑悬臂的另一端上；其中，所述第一定位镜头的倍率和所述第二定位镜头的倍率不同；
[0017]所述盘轴的轴面上开设有三个半球槽，所述盘轴套管的管壁上开设有三个半球槽，所述盘轴套管的三个半球槽与所述第一支撑悬臂、第二支撑悬臂和第三支撑悬臂分别正对设置。
[0018]一实施例中，所述切换装置还包括至少两个卡环夹具，所述探测器套接于一所述卡环夹具中，所述定位镜头套接于另一所述卡环夹具中，至少两个所述卡环夹具分别配装于至少两个所述支撑悬臂的另一端上。
[0019]一实施例中，所述卡环夹具有贯穿其壁厚的顶丝，所述顶丝能够沿所述卡环夹具的径向相对所述卡环夹具运动，供于固定或微调所述探测器和所述定位镜头相对所述卡环夹具的位置。
[0020]一实施例中，所述第一定位镜头为低倍远心镜头，所述第二定位镜头为高倍远心镜头。
[0021]与现有技术相比，本申请提供的切换装置，将X射线晶圆量测所涉及的探测器和定位镜头通过一转盘结构实现联接，二者可通过转盘结构依次切换至工作台的设定工作台上，以替代现有技术中探测器和定位镜头分离配装的方式。具体地，转盘结构包括转盘本体和至少两个支撑悬臂，转盘本体由旋转电机驱动而相对工作台转动，支撑悬臂的一端连接于转盘本体、与一端相对的另一端沿转盘本体的径向向外辐射延伸，而X射线晶圆量测所涉及的探测器和定位镜头分别设于不同的支撑悬臂的另一端。旋转电机的旋转轴驱动转盘本体相对工作台转动时，转盘本体通过支撑悬臂带动探测器和定位镜头以先后不同的次序进入工作台的设定工作位上。
[0022]本申请提供的切换装置的有益效果在于：
[0023]其一，X射线晶圆量测所涉及的探测器和定位镜头通过一转盘结构实现联接，定位镜头对工作台上的样片完成精确对位后，即可通过转盘结构将定位镜头切换出工作位，与此同步地将探测器切换入工作位，探测器即可开始校准和标定工作，量测过程在线完成；
[0024]其二，由于X射线晶圆量测所涉及的探测器和定位镜头通过一转盘结构实现联接，量测过程中，定位镜头和探测器切换入工作位的切换角度是由转盘结构决定的，定位镜头和探测器相对工作位的位置精度一致，进而保证了量测过程中校准和标定的高精度性；
[0025]其三，由于X射线晶圆量测所涉及的探测器和定位镜头通过一转盘结构实现联接，在X射线源通过掠入射的X射线于样片上激发出可见光波段的荧光光斑后，定位相机对该荧光光斑进行精准对位，探测器基于该荧光光斑进行校准和标定工作，以此实现图案晶圆的量测。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0027]图1为本申请实施例提供的切换装置的立体示意图；
[0028]图2为图1所示立体示意图的同轴正视图；
[0029]图3为图1所示立体示意图的同轴左视图；
[0030本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种切换装置，供于配装于工作台，所述工作台适用于X射线晶圆量测的探测器(30)的标定与对位，其特征在于：所述切换装置包括旋转电机(10)、转盘结构(20)、探测器(30)和至少一个定位镜头(40)；所述转盘结构(20)包括转盘本体(201)和至少两个支撑悬臂(202)，所述转盘本体(201)连接于所述旋转电机(10)的旋转轴，供于在所述旋转轴的驱动下相对工作台转动；所述支撑悬臂(202)的一端连接于所述转盘本体(201)、与所述一端相对的另一端沿所述转盘本体(201)的径向向外辐射延伸，所述探测器(30)和所述定位镜头(40)分别设于不同的所述支撑悬臂(202)的另一端，所述探测器(30)和所述定位镜头(40)供于在所述转盘本体(201)的带动下切换至所述工作台的设定工作位上。2.如权利要求1所述的切换装置，其特征在于：所述切换装置包括两个所述定位镜头(40)，分别为第一定位镜头(401)和第二定位镜头(402)；所述转盘结构(20)包括三个所述支撑悬臂(202)，分别为第一支撑悬臂(202a)、第二支撑悬臂(202b)和第三支撑悬臂(202c)；所述第一定位镜头(401)、所述探测器(30)和所述第二定位镜头(402)分别设于所述第一支撑悬臂(202a)、第二支撑悬臂(202b)和第三支撑悬臂(202c)的另一端上；其中，所述第一定位镜头(401)的倍率和所述第二定位镜头(402)的倍率不同。3.如权利要求2所述的切换装置，其特征在于：所述第一支撑悬臂(202a)、第二支撑悬臂(202b)和第三支撑悬臂(202c)依次等角度设置。4.如权利要求1
‑
3中任一项所述的切换装置，其特征在于：所述切换装置还包括支撑横梁(50)，所述支撑横梁(50)具有相对设置的连接端(501)和悬挑端(502)，所述连接端(501)供于连接所述工作台，所述旋转电机(10)和所述转盘结构(20)配装于所述悬挑端(502)上。5.如权利要求4所述的切换装置，其特征在于：所述悬挑端(502)上开设有沿竖直方向贯穿所述支撑横梁(50)的通孔结构，所述旋转电机(10)和所述转盘结构(20)沿所述通孔结构的轴线同轴且分设于所述通孔结构的两侧；所述转盘本体(201)转动连接于所述支撑横梁(50...
【专利技术属性】
技术研发人员：李卓，贡志锋，张雪娜，洪峰，张贝，陈治均，
申请(专利权)人：深圳市埃芯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。