一种新型真空镀膜设备的真空室结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型真空镀膜设备的真空室结构，包括由前面板、后面板及侧板围成的真空腔室，在真空腔室中设有收放卷系统、设于收放卷系统之间的可错位安装的镀膜辊及用于镀膜的镀膜源，镀膜源沿镀膜辊的外周布置。本实用新型专利技术提供一种新型真空镀膜设备的真空室结构，镀膜辊可以错位安装在真空腔室内，占用空间不大，空间利用率高，能有效缩短真空抽气的时间，提升了生产效率。提升了生产效率。提升了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种新型真空镀膜设备的真空室结构


[0001]本技术涉及真空镀膜设备
，尤其是涉及一种新型真空镀膜设备的真空室结构。

技术介绍

[0002]目前，真空镀膜设备常用真空容器(真空室)，通常为圆形结构或长方形结构。容器安装各种零部件，圆形结构虽然占用空间小，在容器内安装零部件不方便，操作不方便；长方形真空容器结构虽然安装零部件方便，操作方便，但其占用空间大，空间利用不高，抽气时间加长。对生产和操作带来一定的影响。

技术实现思路

[0003]本技术的目的旨在提供一种新型真空镀膜设备的真空室结构，镀膜辊可以错位安装在真空腔室内，占用空间不大，空间利用率高，能有效缩短真空抽气的时间，提升了生产效率。
[0004]为实现上述目的，本技术提供的技术方案是：一种新型真空镀膜设备的真空室结构，包括由前面板、后面板及侧板围成的真空腔室，在真空腔室中设有收放卷系统、设于收放卷系统之间的可错位安装的镀膜辊及用于镀膜的镀膜源，镀膜源沿镀膜辊的外周布置。
[0005]本技术采用上述技术方案，前面板和后面板设在侧板的两面，内部形成真空腔室，在真空腔室中设置收、放卷系统用于镀膜卷材的输出和复卷。镀膜辊用于缠绕运动中的卷材、使卷材的表面露出，通过镀膜源进行喷射镀膜，完成对卷材的薄膜镀制。其中，前、后面板与侧板围成的真空腔室呈非圆形和长方形结构，减少占用空间，方便使用。
[0006]上述的新型真空镀膜设备的真空室结构，前面板和后面板可拆卸的安装在侧板的两侧面上。前面板和后面板可拆装，方便安装后的面板拆卸，便于对真空腔室内的镀膜辊及镀膜源等设备的维护与修理。以及，将其中一面板拆卸后，可从侧部放入和取出卷材，使用方便。
[0007]上述的新型真空镀膜设备的真空室结构，侧板的底侧设有支撑脚。
[0008]上述的新型真空镀膜设备的真空室结构，收放卷系统包括收卷辊和放卷辊，收卷辊和放卷辊之间设有卷绕系统，卷材从放卷辊输出，经卷绕系统后缠绕于镀膜辊外周，并进入收卷辊中复卷。
[0009]上述的新型真空镀膜设备的真空室结构，镀膜辊设置有两个，镀膜源呈弧形状分布在两镀膜辊的外周。
[0010]上述的新型真空镀膜设备的真空室结构，真空腔室的截面呈非对称菱形结构。与传统的截面四方形或圆形的结构相比，本真空腔室在边角处的角度大于90度，在安装布置收放卷辊、卷绕系统、镀膜源等设备时能够避开90度角的影响，对真空腔室内部空间实现充分利用。
[0011]上述的新型真空镀膜设备的真空室结构，真空腔室的截面呈椭圆形结构。与传统的截面圆形的结构相比，本真空腔室具有一较长的长轴，在安装布置收放卷辊、卷绕系统、镀膜源等设备，可更好的进行布置，对真空腔室内部空间实现充分利用。
[0012]本技术所取得的有益效果是：镀膜辊可错位安装在真空腔室中，收卷辊和放卷辊与镀膜辊同时集合安装在真空腔室中，再由前、后面板密封安装，实现真空环境，将真空腔室设计为截面是非对称菱形或椭圆形结构，空间利用率高，整体结构占用空间不大，能有效缩短真空抽气时间，提升了生产效率。
附图说明
[0013]图1是本技术实施例的内部结构布局图；
[0014]图2是本技术实施例的侧面结构示意图；
[0015]图3是本技术另一实施例的内部结构布局图；
[0016]图4是本技术另一实施例的侧面结构示意图。
[0017]附图标记说明：前面板1，后面板2，侧板3，真空腔室4，收放卷系统5，镀膜辊6，镀膜源7，支撑脚8，卷绕系统9，放卷辊51，收卷辊52。
具体实施方式
[0018]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步的说明。
[0019]如图1
‑
4所示，一种新型真空镀膜设备的真空室结构，包括由前面板1、后面板2及侧板3围成的真空腔室4，在真空腔室4中设有收放卷系统5、设于收放卷系统5之间的可错位安装的镀膜辊6及用于镀膜的镀膜源7，镀膜源7沿镀膜辊6的外周布置。打开前面板1或后面板2，将收放卷系统5、镀膜辊6及镀膜源7安装在前面板1、后面板2密封安装在侧板3的两侧面后形成的真空腔室4中，然后在封装前面板1和后面板2，对真空腔室4进行抽真空，形成真空环境可开始镀膜。其中镀膜源7包括但不限于磁控溅射镀膜源、电子束蒸发镀膜器和感应加热镀膜源。
[0020]前面板1和后面板2可拆卸的安装在侧板3的两侧面上。前面板1和后面板2安装在侧板3上时，使得所围成的内部空间形成真空密封环境，对其内部抽真空，形成真空腔室4。
[0021]侧板3的底侧设有支撑脚8。收放卷系统5包括收卷辊52和放卷辊51，收卷辊52和放卷辊51之间设有卷绕系统9，卷材从放卷辊51输出，经卷绕系统9后缠绕于镀膜辊6外周，并进入收卷辊52中复卷。
[0022]镀膜辊6设置有两个，镀膜源7呈弧形状分布在两镀膜辊6的外周。
[0023]参照图1和图2所示，真空腔室4的截面呈非对称菱形结构。
[0024]参照图1和图2所示，真空腔室4的截面呈椭圆形结构。
[0025]本实施方式公开了真空腔室4的两种不同截面结构的实施方式，实现充分利用空间，并且减少结构本身占用空间的目的，具有较高的实用性能。
[0026]本技术在具体实施时，卷材从放卷辊51输出，经卷绕系统9后缠绕在镀膜辊6上，最后经卷绕系统9再缠绕在收卷辊52上。镀膜源7分布在镀膜辊6的外周，对经过镀膜辊6的卷材进行镀制薄膜。镀膜辊6错位安装，卷材以不同的面缠绕在两镀膜辊6上，可实现双面镀膜的功能。
[0027]综上所述，本技术已如说明书及图示内容，制成实际样品且经多次使用测试，从使用测试的效果看，可证明本技术能达到其所预期之目的，实用性价值乃无庸置疑。以上所举实施例仅用来方便举例说明本技术，并非对本技术作任何形式上的限制，任何所属
中具有通常知识者，若在不脱离本技术所提技术特征的范围内，利用本技术所揭示
技术实现思路
所作出局部更动或修饰的等效实施例，并且未脱离本技术的技术特征内容，均仍属于本技术技术特征的范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型真空镀膜设备的真空室结构，其特征在于：包括由前面板(1)、后面板(2)及侧板(3)围成的真空腔室(4)，在真空腔室(4)中设有收放卷系统(5)、设于收放卷系统(5)之间的可错位安装的镀膜辊(6)及用于镀膜的镀膜源(7)，镀膜源(7)沿镀膜辊(6)的外周布置。2.根据权利要求1所述的新型真空镀膜设备的真空室结构，其特征在于：前面板(1)和后面板(2)可拆卸的安装在侧板(3)的两侧面上。3.根据权利要求2所述的新型真空镀膜设备的真空室结构，其特征在于：侧板(3)的底侧设有支撑脚(8)。4.根据权利要求2所述的新型真空镀膜设备的真空室结构，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱刚毅，朱刚劲，杨容军，顾垂风，阮汉飞，伽龙，戚孝群，纪永生，朱正录，
申请(专利权)人：广东腾胜科技创新有限公司，
类型：新型
国别省市：