本发明专利技术公开了一种具有浸泡清洁功能的硅片加工同步直线输送装置，该硅片加工同步直线输送装置旨在解决现在的硅片抛光加工后表面残留的抛光液与废渣混合物会影响硅片的外观和使用性能的技术问题。该硅片加工同步直线输送装置包括水箱、沿水箱长度方向设置于水箱上方的输送机构。该硅片加工同步直线输送装置采用具有多级进出水箱的输送机构，令抛光加工后的硅片可以实现在水中的二次浸泡清洁，输送机构两端可对接硅片的加工处理机构，完美适配于当下的流水线生产作业，配合可切换的硅片锁定机构，不会出现清洁死角，利用水箱中的低频共振仪令进入水体的硅片持续受到水体的撞击作用，硅片表面的杂质和废渣更容易剥离。硅片表面的杂质和废渣更容易剥离。硅片表面的杂质和废渣更容易剥离。
【技术实现步骤摘要】
一种具有浸泡清洁功能的硅片加工同步直线输送装置
[0001]本专利技术属于硅片加工设备领域，具体涉及一种具有浸泡清洁功能的硅片加工同步直线输送装置。
技术介绍
[0002]硅片抛光工艺是用于去除发生在成形工艺过程中的硅片的表面损伤以并得到镜面硅片的工艺，在抛光过程中，由于硅片与研磨浆料的化学反应以及抛光垫与晶圆硅片的摩擦，会生成研磨残余物和抛光垫渣滓残余物附着其上，不及时清洁的话，这些表面的颗粒及杂质会形成氧化物，非常牢固地附着在硅片表面的自然氧化层上，影响硅片的外观和使用性能。
[0003]现有公告号为CN112509968A的中国专利技术专利，其公开了一种用于硅片清洗的硅片保持装置、液体清洗设备及清洗系统，硅片保持装置包括：可旋转的卡盘，用于支承硅片；沿着卡盘的周向方向排列的多个第一卡盘销和多个第二卡盘销，多个第一卡盘销和多个第二卡盘销构造成相对于硅片的周缘在第一位置与第二位置之间移动，在第一位置中，多个第一卡盘销和多个第二卡盘销与硅片的周缘接触以分别将硅片固定至卡盘，在第二位置中，多个第一卡盘销和多个第二卡盘销远离硅片的周缘以分别将硅片从卡盘松开，其中，在多个第一卡盘销处于第一位置的情况下，多个第二卡盘销能够从第一位置移动至第二位置，并且在多个第二卡盘销处于第一位置的情况下，多个第一卡盘销能够从第一位置移动至第二位置。该专利技术专利主要提供了一种硅片的清洁定位装置，借助可交替切换使用的卡销结构锁定硅片的同时，避免硅片周缘存在清洁死角，但是该专利技术专利只提供了硅片的卡锁定位机构，对于硅片的清洁和如何适用于当下硅片流水线生产的方式并没有涉及。
[0004]因此，针对上述硅片抛光加工后表面残留的抛光液与废渣混合物会影响硅片的外观和使用性能的情况，开发一种新型硅片清洁用同步输送装置，利用可交替切换的硅片定位装置配合穿过浸泡区的直线输送机构，令硅片在流水线形式的生产模式下高效的完成表面清洁工作。
技术实现思路
[0005](1)要解决的技术问题
[0006]针对现有技术的不足，本专利技术的目的在于提供一种具有浸泡清洁功能的硅片加工同步直线输送装置，该硅片加工同步直线输送装置旨在解决现在的硅片抛光加工后表面残留的抛光液与废渣混合物会影响硅片的外观和使用性能的技术问题。
[0007](2)技术方案
[0008]为了解决上述技术问题，本专利技术提供了这样一种具有浸泡清洁功能的硅片加工同步直线输送装置，该硅片加工同步直线输送装置包括水箱、沿水箱长度方向设置于所述水箱上方的输送机构，所述水箱前后两端对称安装有低频共振仪，所述低频共振仪的输出元件设置于所述水箱内侧，所述输送机构由传动皮带形式的水平进料部、水平出料部、一级水
平处理部、二级水平处理部、切换定位水平部、一级下沉进水部、一级上升出水部、二级下沉进水部和二级上升出水部组成，所述水平进料部设置于所述水箱左端上侧，所述水平出料部设置于所述水箱右端上侧，所述一级水平处理部和所述二级水平处理部均设置于所述水箱内侧，所述一级水平处理部和所述二级水平处理部设置于所述低频共振仪的输出元件上方，所述水箱中间上方设置有切换定位水平部，所述水平进料部与所述一级水平处理部之间设置有一级下沉进水部，所述一级水平处理部与所述切换定位水平部之间设置有一级上升出水部，所述切换定位水平部与所述二级水平处理部之间设置有二级下沉进水部，所述二级水平处理部与所述水平出料部之间设置有二级上升出水部，所述输送机构上侧设置有定位盘，所述定位盘上端十字对称分布有四组一号定位销和四组二号定位销，所述一号定位销和所述二号定位销呈间隔交错设置。
[0009]使用本技术方案的一种具有浸泡清洁功能的硅片加工同步直线输送装置时，使用人启动低频共振仪，令其输出元件作用于水体，令水体发生强烈振荡，然后在水平进料部一端，将由一号定位销锁定硅片的定位盘放在输送机构上，令其底端的胶头插杆插入插孔内侧，随着输送机构从左向右的传动，定位盘从水平进料部经过一级下沉进水部抵达一级水平处理部并浸泡在水箱的水体中，振荡的清洁用水持续撞击硅片表面对残留的杂质和废渣进行清洁，同时，上部的清洁刷通过驱动机构对硅片表面进行刷洗，然后定位盘再随传动经过一级上升出水部进入切换定位水平部，热风机构对其两侧发送热风，令被浸湿的硅片表面残渣干燥后更容易剥离，同时温度传感器检测到温度的升高，将信号发送给定位销切换机构，控制一号定位销从硅片外缘离开，同时令二号定位销挤压锁定在硅片的外缘，起到更换锁定部位的作用，然后定位盘携带硅片经过二级下沉进水部进入二级水平处理部，再次通过水体的振荡作用和上部清洁刷的刷洗进行二次清洁，清洁完毕后，定位盘经过二级上升出水部进入水平出料部，站在该侧的作业人员将定位盘拿起并取出硅片回收，然后将空载的定位盘放入生产车间的运载小车内，通过运载小车将定位盘运载至水平进料部一侧等待重复使用。
[0010]进一步的，所述输送机构左右两端安装有支撑于地面的外支架，所述输送机构中间安装有支撑于所述水箱内侧的内支架，所述外支架和内支架均连接于所述输送机构外部的壳体结构上，输送机构采用柔性的皮带传送机构，在内部的传送角度改变位置均设置有滚筒传动机构，且滚筒传动机构通过安装在输送机构外部的电机驱动，外支架和内支架对输送机构的整体结构起到支撑作用。
[0011]进一步的，所述水箱上端左右对称安装有门架，所述门架上端安装有驱动机构，所述驱动机构的动力执行元件底端安装有清洁刷，所述清洁刷设置于所述一级水平处理部上方，另一所述清洁刷设置于所述二级水平处理部上方，驱动机构包括垂直油缸和安装于垂直油缸的液压杆上的电机，用于控制清洁刷纵向移动靠近或远离定位盘和在被锁定的硅片表面进行刷洗，清洁刷采用柔性的橡胶刷毛，不会对硅片表面产生刮伤。
[0012]进一步的，所述水箱前后两端对称安装有立架，所述立架上端安装有热风机构，所述热风机构对称设置于所述切换定位水平部前后两侧，热风机构包括鼓风机和加热器，鼓风机抽取空气经过加热器的加热元件形成热风并持续向处于切换定位水平部上的定位盘和硅片进行输送，将硅片表面残留的潮湿废渣烘干，便于脱离。
[0013]进一步的，所述定位盘下端相对于中心对称安装有两组胶头插杆，所述输送机构
的传动皮带表面设置有若干插孔，所述胶头插杆设置于所述插孔内侧，胶头插杆外部设置具有抗滑纹理的胶套，插入插孔后与插孔内壁之间产生摩擦力形成锁定，插孔的深度小于传送皮带的厚度，胶头插杆不会伸入输送机构的内部，限制定位盘在输送机构上移动。
[0014]进一步的，所述定位盘上端辐射状开设有八组滑槽，所述一号定位销和所述二号定位销下端均设置于相对应的所述滑槽内侧，所述一号定位销和所述二号定位销朝向所述定位盘圆心一侧设置有橡胶垫，一号定位销和二号定位销切换使用，分别对硅片进行外缘夹持锁定，限制硅片在定位盘上水平移动。
[0015]进一步的，所述定位盘上侧设置有硅片，所述硅片设置于所述一号定位销之间，所述橡胶垫紧贴于所述硅片外缘表面，一号定位销和二号定位销利用橡胶垫与硅片之间起到隔离保护作用，柔性的橡胶垫包裹在硅片本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种具有浸泡清洁功能的硅片加工同步直线输送装置，该硅片加工同步直线输送装置包括水箱(1)、沿水箱(1)长度方向设置于所述水箱(1)上方的输送机构(3)；其特征在于，所述水箱(1)前后两端对称安装有低频共振仪(2)，所述低频共振仪(2)的输出元件设置于所述水箱(1)内侧，所述输送机构(3)由传动皮带形式的水平进料部(4)、水平出料部(5)、一级水平处理部(6)、二级水平处理部(7)、切换定位水平部(8)、一级下沉进水部(9)、一级上升出水部(10)、二级下沉进水部(11)和二级上升出水部(12)组成，所述水平进料部(4)设置于所述水箱(1)左端上侧，所述水平出料部(5)设置于所述水箱(1)右端上侧，所述一级水平处理部(6)和所述二级水平处理部(7)均设置于所述水箱(1)内侧，所述一级水平处理部(6)和所述二级水平处理部(7)设置于所述低频共振仪(2)的输出元件上方，所述水箱(1)中间上方设置有切换定位水平部(8)，所述水平进料部(4)与所述一级水平处理部(6)之间设置有一级下沉进水部(9)，所述一级水平处理部(6)与所述切换定位水平部(8)之间设置有一级上升出水部(10)，所述切换定位水平部(8)与所述二级水平处理部(7)之间设置有二级下沉进水部(11)，所述二级水平处理部(7)与所述水平出料部(5)之间设置有二级上升出水部(12)，所述输送机构(3)上侧设置有定位盘(13)，所述定位盘(13)上端十字对称分布有四组一号定位销(14)和四组二号定位销(15)，所述一号定位销(14)和所述二号定位销(15)呈间隔交错设置。2.根据权利要求1所述的一种具有浸泡清洁功能的硅片加工同步直线输送装置，其特征在于，所述输送机构(3)左右两端安装有支撑于地面的外支架(16)，所述输送机构(3)中间安装有支撑于所述水箱(1)内侧的内支架(17)，所述外支架(16)和内支架(17)均连接于所述输送机构(3)外部的壳体结构上。3.根据权利要求1所述的一种具...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘君，余江湖，郑松，
申请(专利权)人：安徽晶天新能源科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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