一种硅片切割张力控制机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅片切割张力控制机构，包括切割机组件外壳和金刚石切割线，所述切割机组件外壳的底部外壁固定连接有防护罩，防护罩的两侧之间转动插接有螺纹杆，切割机组件外壳的底部外壁固定连接有第一电机，第一电机的输出端与螺纹杆的一端固定连接，螺纹杆的外壁螺纹套设有螺纹套，螺纹套的底部固定连接有连接支架，连接支架的一侧转动连接有第一浮轮，金刚石切割线与第一浮轮绕接，所述切割机组件外壳的一侧外壁滑动连接有调节板。本实用新型专利技术能够调节金刚石切割线切割的张紧度，进而使得切割线的张力更均匀，还能够随着金刚石切割线的减少调节其的张紧度，从而更好的对硅片进行切割。硅片进行切割。硅片进行切割。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片切割张力控制机构


[0001]本技术涉及硅片切割
，尤其涉及一种硅片切割张力控制机构。

技术介绍

[0002]硅片乃是微电子领域不可缺少的材料，随着科技的发展，我们对于使用硅片作为原料的产品要求也越来越高，因此，在原料上也就要求硅片的厚度不断降低，而硅片的厚度则是由线切割技术决定的。而线切割过程中切割丝线的张力控制是一个重要因素，过紧容易绷断，过松则无法完成切割，即使完成切割，切面也不会满足切割要求。因此，张力控制较为重要。
[0003]目前，现有的张力控制机构，大多存在以下的不足：在使用过程中，结构复杂，难以保证切割线张力的均匀，切割线张力控制效果差，从而影响硅片的切割效率和生产质量。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种硅片切割张力控制机构。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种硅片切割张力控制机构，包括切割机组件外壳和金刚石切割线，所述切割机组件外壳的底部外壁固定连接有防护罩，防护罩的两侧之间转动插接有螺纹杆，切割机组件外壳的底部外壁固定连接有第一电机，第一电机的输出端与螺纹杆的一端固定连接，螺纹杆的外壁螺纹套设有螺纹套，螺纹套的底部固定连接有连接支架，连接支架的一侧转动连接有第一浮轮，金刚石切割线与第一浮轮绕接，所述切割机组件外壳的一侧外壁滑动连接有调节板，调节板一侧的底部固定连接有调节轮，调节板的底端固定连接有连接板，连接板的底部固定连接有两个复位弹簧，复位弹簧的另一端与切割机组件外壳固定连接，所述切割机组件外壳的一侧设有凹槽，凹槽的一侧内壁固定连接有第二电机，第二电机的输出端键连接有椭圆盘，椭圆盘与调节轮接触，调节板的顶部转动连接有第二浮轮，第二浮轮与金刚石切割线绕接，第一浮轮的一侧和第二浮轮的一侧均设有张力传感器。
[0007]进一步的，所述防护罩的两端均嵌接有轴承座，螺纹杆与轴承座插接。
[0008]进一步的，所述切割机组件外壳的一侧外壁固定连接有多个限位柱，调节板的一侧设有多个限位孔，限位柱与限位孔滑动连接。
[0009]进一步的，所述切割机组件外壳的一侧固定连接有线轴总成，金刚石切割线与线轴总成绕接。
[0010]进一步的，所述切割机组件外壳的两侧均固定连接有安装板，安装板的一侧设有安装孔。
[0011]本技术的有益效果为：
[0012]1、通过在第二电机的带动下椭圆盘进行转动，从而推动调节轮进行移动，进而带动第二浮轮进行移动，从而调节金刚石切割线切割的张紧度，进而使得切割线的张力更均
匀。
[0013]2、通过在第一电机的带动下螺纹杆进转动，从而带动螺纹套在螺纹杆上移动，进而带动第一浮轮进行移动，于是随着金刚石切割线的减少调节其的张紧度，从而更好的对硅片进行切割。
[0014]3、通过限位柱与限位孔滑动连接的设置，从而调节板的移动进行导向，进而提升调节板调节的稳定性，提升硅片切割的稳定性。
附图说明
[0015]图1为本技术提出的一种硅片切割张力控制机构的立体结构示意图；
[0016]图2为本技术提出的一种硅片切割张力控制机构的A处放大结构示意图；
[0017]图3为本技术提出的一种硅片切割张力控制机构的部分剖视结构示意图。
[0018]图中：1、切割机组件外壳；2、防护罩；3、螺纹杆；4、第一电机；5、螺纹套；6、连接支架；7、第一浮轮；8、轴承座；9、调节板；10、连接板；11、调节轮；12、复位弹簧；13、凹槽；14、第二电机；15、椭圆盘；16、第二浮轮；17、张力传感器；18、限位孔；19、限位柱；20、线轴总成；21、金刚石切割线；22、安装板；23、安装孔。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0020]参照图1
‑
图3，一种硅片切割张力控制机构，包括切割机组件外壳1和金刚石切割线21，切割机组件外壳1的底部外壁通过螺栓固定有防护罩2，防护罩2的两侧之间转动插接有螺纹杆3，切割机组件外壳1的底部外壁通过螺栓固定有第一电机4，第一电机4的输出端与螺纹杆3的一端固定连接，螺纹杆3的外壁螺纹套设有螺纹套5，螺纹套5的底部通过螺栓固定有连接支架6，连接支架6的一侧转动连接有第一浮轮7，在第一电机4的带动下螺纹杆3进转动，从而带动螺纹套5在螺纹杆3上移动，进而带动第一浮轮7进行移动，于是随着金刚石切割线21的减少调节其的张紧度，金刚石切割线21与第一浮轮7绕接，切割机组件外壳1的一侧外壁滑动连接有调节板9，调节板9一侧的底部通过螺栓固定有调节轮11，调节板9的底端通过螺栓固定有连接板10，连接板10的底部通过螺栓固定有两个复位弹簧12，复位弹簧12的另一端与切割机组件外壳1固定连接，切割机组件外壳1的一侧设有凹槽13，凹槽13的一侧内壁通过螺栓固定有第二电机14，第二电机14的输出端键连接有椭圆盘15，椭圆盘15与调节轮11接触，调节板9的顶部转动连接有第二浮轮16，第二浮轮16与金刚石切割线21绕接，在第二电机14的带动下椭圆盘15进行转动，从而推动调节轮11进行移动，进而带动调节板9进行移动，于是带动第二浮轮16进行移动，从而调节金刚石切割线21切割的张紧度，第一浮轮7的一侧和第二浮轮16的一侧均设有张力传感器17。
[0021]防护罩2的两端均嵌接有轴承座8，螺纹杆3与轴承座8插接，从而使得螺纹杆3转动更顺滑，切割机组件外壳1的一侧外壁通过螺栓固定有多个限位柱19，调节板9的一侧设有多个限位孔18，限位柱19与限位孔18滑动连接，从而调节板9的移动进行导向，进而提升调节板9调节的稳定性，切割机组件外壳1的一侧通过螺栓固定有线轴总成20，金刚石切割线
21与线轴总成20绕接，切割机组件外壳1的两侧均一体成型有安装板22，安装板22的一侧设有安装孔23，通过安装板22和安装孔23进行固定安装。
[0022]本实施例工作原理：使用时，首先，通过安装板22和安装孔23进行固定安装，然后，将金刚石切割线21与第一浮轮7和第二浮轮16绕接，然后，第二电机14启动，在第二电机14的带动下椭圆盘15进行转动，从而推动调节轮11进行移动，进而带动调节板9进行移动，于是带动第二浮轮16进行移动，从而调节金刚石切割线21切割的张紧度，随着线轴总成20上金刚石切割线21减少，第一电机4启动，在第一电机4的带动下螺纹杆3进转动，从而带动螺纹套5在螺纹杆3上移动，进而带动第一浮轮7进行移动，于是随着金刚石切割线21的减少调节其的张紧度。
[0023]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片切割张力控制机构，包括切割机组件外壳(1)和金刚石切割线(21)，其特征在于，所述切割机组件外壳(1)的底部外壁固定连接有防护罩(2)，防护罩(2)的两侧之间转动插接有螺纹杆(3)，切割机组件外壳(1)的底部外壁固定连接有第一电机(4)，第一电机(4)的输出端与螺纹杆(3)的一端固定连接，螺纹杆(3)的外壁螺纹套设有螺纹套(5)，螺纹套(5)的底部固定连接有连接支架(6)，连接支架(6)的一侧转动连接有第一浮轮(7)，金刚石切割线(21)与第一浮轮(7)绕接，所述切割机组件外壳(1)的一侧外壁滑动连接有调节板(9)，调节板(9)一侧的底部固定连接有调节轮(11)，调节板(9)的底端固定连接有连接板(10)，连接板(10)的底部固定连接有两个复位弹簧(12)，复位弹簧(12)的另一端与切割机组件外壳(1)固定连接，所述切割机组件外壳(1)的一侧设有凹槽(13)，凹槽(13)的一侧内壁固定连接有第二电机(14)，第二电机(14)的输出端键连接有椭圆盘(15)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：章祥静，王伟，
申请(专利权)人：无锡荣能半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：