一种新型电镀装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了新型电镀装置，其中，电镀装置包括主槽、副槽及溶铜槽；主槽内设置有不析氧阳极及阴极挂架；主槽与副槽之间设置有第一独立循环管路；主槽与溶铜槽之间设置有第二独立循环管路；主槽内设置有第一隔膜及第二隔膜，第一隔膜与第二隔膜两侧均可进行离子交换；阴极挂架下挂载的电镀板放置于第一隔膜与第二隔膜之间，不析氧阳极设置于第一隔膜与主槽内壁之间或第二隔膜与主槽内壁之间。上述的电镀装置，使用不析氧阳极进行电镀同时设置溶铜槽进行溶铜，并通过第二独立循环管路进行电镀液循环，避免阳极溶解产生阳极泥，提高电镀板的电镀品质；同时减缓电镀液对电镀板所镀铜层的溶解，提高电镀板的电镀效率。提高电镀板的电镀效率。提高电镀板的电镀效率。

【技术实现步骤摘要】
一种新型电镀装置


[0001]本专利技术涉及电镀
，尤其涉及一种新型电镀装置。

技术介绍

[0002]集成电路设计中需要对线路板进行电镀处理，从而在线路板表层形成镀铜层，通过镀铜层。然而现有设计中的电镀装置，由于采用可溶性阳极设置，在电镀生产过程中阳极一侧会有阳极泥(铜球残留物质)残留，积累一段时间后会影响阳极蓝底部铜球电势线，进而导致阳极底部处对应电镀板的位置上镀铜层偏薄，影响了电镀品质，并且生产一段时间后，需要将整个阳极装置提出清洗，增加了生产过程的工作量。因而，现有技术方法中的电镀装置存在电镀品质不高的问题。

技术实现思路

[0003]本专利技术实施例提供了一种新型电镀装置，旨在解决现有技术方法中的电镀装置存在电镀品质不高的问题。
[0004]第一方面，本专利技术实施例提供了一种新型电镀装置，其中，所述电镀装置包括主槽、副槽及溶铜槽；
[0005]所述主槽内设置有不析氧阳极及阴极挂架；
[0006]所述主槽与所述副槽之间设置有第一独立循环管路；所述第一独立循环管路包括由所述主槽流通至所述副槽的第一循环管路及由所述副槽流通至所述主槽的第二循环管路；
[0007]所述主槽与所述溶铜槽之间设置有第二独立循环管路；所述第二独立循环管路包括由所述主槽流通至所述溶铜槽的第一溶铜管路及由所述溶铜槽流通至所述主槽的第二溶铜管路；
[0008]所述第一循环管路、所述第二循环管路、所述第一溶铜管路及所述第二溶铜管路上均设有泵浦；
[0009]所述主槽内设置有第一隔膜及第二隔膜，所述第一隔膜与所述第二隔膜两侧均可进行离子交换；所述阴极挂架下挂载的电镀板放置于所述第一隔膜与所述第二隔膜之间，所述不析氧阳极设置于所述第一隔膜与所述主槽内壁之间或所述第二隔膜与所述主槽内壁之间。
[0010]所述的新型电镀装置，其中，所述不析氧阳极为不溶性钛网。
[0011]所述的新型电镀装置，其中，所述不析氧阳极为不溶性钛板，所述不溶性钛板的两侧面上设置有网状结构，所述网格状结构由相交叉的凹槽形成。
[0012]所述的新型电镀装置，其中，所述第一隔膜与所述主槽内壁之间及所述第二隔膜与所述主槽内壁之间均设置有所述不析氧阳极，且两组所述不析氧阳极平行排列并通过连接件相连接，所述连接件固定于导电杆上。
[0013]所述的新型电镀装置，其中，所述不析氧阳极的一侧还设置有喷淋管，所述喷淋管
与所述第二溶铜管路相连通，由所述溶铜槽输出至所述主槽的电镀液由所述喷淋管喷淋至对应的所述不析氧阳极上。
[0014]所述的新型电镀装置，其中，所述泵浦为变频泵。
[0015]所述的新型电镀装置，其中，电镀装置还包括过滤器，所述过滤器设置于第二循环管路及所述第二溶铜管路上。
[0016]所述的新型电镀装置，其中，所述电镀装置还包括整流机，所述整流机的正极连接所述不析氧阳极、其负极连接所述阴极挂架，所述整流机的正极与负极之间的电压差为0～12V。
[0017]所述的新型电镀装置，其中，所述电镀装置还包括冷却器，所述冷却器的输水管与固定设置于所述整流机上的冷却板相连接，所述冷却器通过输水管输出冷却水至所述冷却板以对所述整流机进行冷却降温。
[0018]所述的新型电镀装置，其中，所述第二循环管路上还设置有加热槽，所述加热槽用于对由所述副槽输出至所述主槽的电镀液进行加热后输出至所述主槽。
[0019]本专利技术实施例提供了一种新型电镀装置，其中，电镀装置包括主槽、副槽及溶铜槽；主槽内设置有不析氧阳极及阴极挂架；主槽与副槽之间设置有第一独立循环管路；主槽与溶铜槽之间设置有第二独立循环管路；主槽内设置有第一隔膜及第二隔膜，第一隔膜与第二隔膜两侧均可进行离子交换；阴极挂架下挂载的电镀板放置于第一隔膜与第二隔膜之间，不析氧阳极设置于第一隔膜与主槽内壁之间或第二隔膜与主槽内壁之间。上述的电镀装置，使用不析氧阳极进行电镀同时设置溶铜槽进行溶铜，并通过第二独立循环管路进行电镀液循环，避免阳极溶解产生阳极泥，提高电镀板的电镀品质；同时减缓电镀液对电镀板所镀铜层的溶解，提高电镀板的电镀效率。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本专利技术实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为本专利技术实施例提供的新型电镀装置的整体结构；
[0022]图2为本专利技术实施例提供的溶铜槽的结构图；
[0023]图3为本专利技术实施例提供的冷却器的结构图；
[0024]图4为本专利技术实施例提供的加热槽的结构图；
[0025]图5为本专利技术实施例提供的不析氧阳极的局部结构图；
[0026]图6为本专利技术实施例提供的新型电镀装置的截面结构图；
[0027]图7为本专利技术实施例提供的第二循环管路的循环流路示意图；
[0028]图8为本专利技术实施例提供的新型电镀装置的整体连接结构图。
具体实施方式
[0029]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施
例，都属于本专利技术保护的范围。
[0030]应当理解，当在本说明书和所附权利要求书中使用时，术语“包括”和“包含”指示所描述特征、整体、步骤、操作、元素和/或组件的存在，但并不排除一个或多个其它特征、整体、步骤、操作、元素、组件和/或其集合的存在或添加。
[0031]还应当理解，在本专利技术说明书中所使用的术语仅仅是出于描述特定实施例的目的而并不意在限制本专利技术。如在本专利技术说明书和所附权利要求书中所使用的那样，除非上下文清楚地指明其它情况，否则单数形式的“一”、“一个”及“该”意在包括复数形式。
[0032]还应当进一步理解，在本专利技术说明书和所附权利要求书中使用的术语“和/或”是指相关联列出的项中的一个或多个的任何组合以及所有可能组合，并且包括这些组合。
[0033]在本实施例中，请参阅图1及图8，如图所示，本专利技术实施例提供了一种新型电镀装置，其中，所述电镀装置包括主槽1、副槽2及溶铜槽3；所述主槽1内设置有不析氧阳极11及阴极挂架12；所述主槽1与所述副槽2之间设置有第一独立循环管路4；所述第一独立循环管路4包括由所述主槽1流通至所述副槽2的第一循环管路41及由所述副槽2流通至所述主槽1的第二循环管路42；所述主槽1与所述溶铜槽3之间设置有第二独立循环管路5；所述第二独立循环管路5包括由所述主槽1流通至所述溶铜槽3的第一溶铜管路51及由所述溶铜槽3流通至所述主槽1的第二溶铜管路52；所述第一循环管路41、所述第二循环管路42、所述第一溶铜管路51及所述第二溶铜管路52上均设有泵浦10；所述主槽1内设置有第一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型电镀装置，其特征在于，所述电镀装置包括主槽、副槽及溶铜槽；所述主槽内设置有不析氧阳极及阴极挂架；所述主槽与所述副槽之间设置有第一独立循环管路；所述第一独立循环管路包括由所述主槽流通至所述副槽的第一循环管路及由所述副槽流通至所述主槽的第二循环管路；所述主槽与所述溶铜槽之间设置有第二独立循环管路；所述第二独立循环管路包括由所述主槽流通至所述溶铜槽的第一溶铜管路及由所述溶铜槽流通至所述主槽的第二溶铜管路；所述第一循环管路、所述第二循环管路、所述第一溶铜管路及所述第二溶铜管路上均设有泵浦；所述主槽内设置有第一隔膜及第二隔膜，所述第一隔膜与所述第二隔膜两侧均可进行离子交换；所述阴极挂架下挂载的电镀板放置于所述第一隔膜与所述第二隔膜之间，所述不析氧阳极设置于所述第一隔膜与所述主槽内壁之间或所述第二隔膜与所述主槽内壁之间。2.根据权利要求1所述的新型电镀装置，其特征在于，所述不析氧阳极为不溶性钛网。3.根据权利要求1所述的新型电镀装置，其特征在于，所述不析氧阳极为不溶性钛板，所述不溶性钛板的两侧面上设置有网状结构，所述网格状结构由相交叉的凹槽形成。4.根据权利要求2或3所述的新型电镀装置，其特征在于，所述第一隔膜与所述主槽内壁之间及所述第二隔膜与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩焱林，李凯鸿，徐正，万章欢，
申请(专利权)人：深圳崇达多层线路板有限公司，
类型：发明
国别省市：