一种用于卧式扩散炉的进气石英枪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于卧式扩散炉的进气石英枪，包括前端管和后端管，所述前端管和后端管之间连接有混合球，且混合球内设有气体混合结构，所述后端管远离混合球的一端为弯头，且后端管的弯头连接有连接套。本实用新型专利技术中，设置有前端管、混合球、后端管和出气管，前端管侧壁上设有多个进气管，混合球位于前端管和后端管之间，且混合球内部设有可转动的扇叶，后端管与出气管通过连接头和连接套密封转动连接，而出气管两端设有不同方向的多个出气嘴，当不同的反应气体从进气管进入后，会在混合球内先混合，然后通过出气嘴喷出时，在气流推动作用下，出气管会发生旋转，使得气体能均匀吹到硅片上，从而提高良品率。从而提高良品率。从而提高良品率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于卧式扩散炉的进气石英枪


[0001]本技术涉及扩散炉进气
，尤其涉及一种用于卧式扩散炉的进气石英枪。

技术介绍

[0002]卧式扩散炉是集成电路制造的重要工艺设备，作为一种要求能长时间连续工作，且具有优异的控温精度及良好的可靠性、稳定性的自动化控制设备，应用于集成电路制造过程中的各种氧化、退火和薄膜生长等工艺。卧式扩散炉的一种工艺结果，即半导体硅片表面扩散层的均匀性，是扩散设备的核心指标。
[0003]卧式扩散炉在使用过程中，需要采用石英枪向卧式扩散炉内部输入不同的反应气体，使得硅片表面，使得硅片完成扩散工艺，但是从石英枪进入卧式扩散炉的多种高纯气体间密度差异较大，在进入卧式扩散炉后便形成层流，即密度小的气体在最上面，并且从上到下气体的密度依次增大。这些混合不均的气体在遇到硅片后，导致反应气体在硅片表面扩散浓度不均，最终导致硅片表面的氧化膜厚度不均匀，因此本技术提出一种用于卧式扩散炉的进气石英枪。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于卧式扩散炉的进气石英枪。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种用于卧式扩散炉的进气石英枪，包括前端管和后端管，所述前端管和后端管之间连接有混合球，且混合球内设有气体混合结构，所述后端管远离混合球的一端为弯头，且后端管的弯头连接有连接套，且连接套底端设有出气管，所述前端管侧壁连接有多个进气管，所述出气管两端侧壁均连接有多个出气嘴。
[0006]进一步的，所述进气管远离前端管的一端设有法兰，所述法兰远离进气管的一侧开设有第一环形槽，且第一环形槽内部设有第一密封圈，通过法兰可以将进气管与气源连接，且第一密封圈可以保证气源与进气管连接的密封性。
[0007]进一步的，所述气体混合结构包括固定于混合球内部的支架，所述支架中部转动连接有扇叶，当气体进入混合球后，在气流的带动下，扇叶会发生转动，从而对进入混合球内的多种气体进行搅动，使得各种气体混合均匀。
[0008]进一步的，所述混合球与前端管、后端管连接的两端均采用弧面过渡设计，使得多种气体从前端管进入混合球时能迅速分散开，然后经过扇叶搅动混合后，能沿着弧面内壁再集中进入后端管内，弧面设计可以降低气体流动阻力。
[0009]进一步的，所述出气管中部连接有连接头，所述连接头顶端位于连接套内部且与连接套转动连接，所述出气管两侧的多个出气嘴方向相反，当气体从出气管两端的出气嘴排出时，在气流的反推力作用下，出气管会在连接套底端转动，使得气体能均匀吹到硅片表
面。
[0010]进一步的，所述连接头顶端外侧壁开设有两个第二环形槽，两个所述第二环形槽内部均设有第二密封圈，且第二密封圈与连接套内侧壁贴合，第二密封圈可以增加连接头与连接套之前的密封性。
[0011]本技术的有益效果：
[0012]本技术在使用时，通过设置前端管、混合球、后端管和出气管，前端管侧壁上设有多个进气管，混合球位于前端管和后端管之间，且混合球内部设有可转动的扇叶，后端管与出气管通过连接头和连接套密封转动连接，而出气管两端设有不同方向的多个出气嘴，当不同的反应气体从进气管进入后，会在混合球内先混合，然后通过出气嘴喷出时，在气流推动作用下，出气管会发生旋转，使得气体能均匀吹到硅片上，从而提高良品率。
附图说明
[0013]图1为本技术的整体示意图；
[0014]图2为本技术的进气管立体图；
[0015]图3为本技术的局部立体图；
[0016]图4为本技术的A处放大图；
[0017]图5为本技术的出气管俯视图。
[0018]图例说明：
[0019]1、前端管；2、混合球；3、后端管；4、出气管；5、进气管；6、法兰；7、第一环形槽；8、第一密封圈；9、支架；10、扇叶；11、出气嘴；12、连接头；13、连接套；14、第二环形槽；15、第二密封圈。
具体实施方式
[0020]如图1、图4和图5所示，涉及一种用于卧式扩散炉的进气石英枪，包括前端管1和后端管3，前端管1和后端管3之间连接有混合球2，且混合球2内设有气体混合结构，后端管3远离混合球2的一端为弯头，且后端管3的弯头连接有连接套13，且连接套13底端设有出气管4，前端管1侧壁连接有多个进气管5，出气管4两端侧壁均连接有多个出气嘴11。出气管4中部连接有连接头12，连接头12顶端位于连接套13内部且与连接套13转动连接，出气管4两侧的多个出气嘴11方向相反。连接头12顶端外侧壁开设有两个第二环形槽14，两个第二环形槽14内部均设有第二密封圈15，且第二密封圈15与连接套13内侧壁贴合。
[0021]如图1和图2所示，进气管5远离前端管1的一端设有法兰6，法兰6远离进气管5的一侧开设有第一环形槽7，且第一环形槽7内部设有第一密封圈8。
[0022]如图1和图3所示，气体混合结构包括固定于混合球2内部的支架9，支架9中部转动连接有扇叶10。混合球2与前端管1、后端管3连接的两端均采用弧面过渡设计。
[0023]工作原理：将前端管1上的多个进气管5通过法兰6与气源的连接管连接。使用时，多种气体会从多个进气管5进入前端管1中，然后进入混合球2中，在气体流动作用下，扇叶10会被气流带动旋转，使得多种气体在混合球2内被搅动混合，混合后的气体进入后端管3中，并从后端管3进入出气管4中，最后由从出气管4两侧的出气嘴11排出吹到硅片表面，而由于出气管4两端的出气嘴11方向相反，所以出气管4会通过连接头12在连接套13内转动，
使得混合气体能均匀吹到硅片表面，使得硅片表面能形成均匀的氧化膜，提高良品率。
[0024]以上所述仅为本技术的较佳实施例，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于卧式扩散炉的进气石英枪，其特征在于：包括前端管（1）和后端管（3），所述前端管（1）和后端管（3）之间连接有混合球（2），且混合球（2）内设有气体混合结构，所述后端管（3）远离混合球（2）的一端为弯头，且后端管（3）的弯头连接有连接套（13），且连接套（13）底端设有出气管（4），所述前端管（1）侧壁连接有多个进气管（5），所述出气管（4）两端侧壁均连接有多个出气嘴（11）。2.根据权利要求1所述的一种用于卧式扩散炉的进气石英枪，其特征在于：所述进气管（5）远离前端管（1）的一端设有法兰（6），所述法兰（6）远离进气管（5）的一侧开设有第一环形槽（7），且第一环形槽（7）内部设有第一密封圈（8）。3.根据权利要求1所述的一种用于卧式扩散炉的进气石英枪，其特征在于：所述气体混合结构...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘明利，王佩佩，周文智，
申请(专利权)人：青岛赛尔科技有限公司，
类型：新型
国别省市：