本发明专利技术公开了一种单晶硅片超精密磨削表面形貌的测量装置，包括测量仪存放箱，所述测量仪存放箱整体材质为透明可视材质，所述测量仪存放箱的内部放置有测量仪机体，所述测量仪存放箱的上表面左右对称均滑动连接有滑盖，当用户打开滑盖后，将待检测的单晶硅片放置在测量仪机体下方的检测部位，在关闭两组滑盖时滑动弹簧抵轴则会带动凸型连杆反向滑动，致使撑托板带动测量仪机体回至测量仪存放箱内部，此时测量仪机体处于较为封闭的空间，故当用户在户外或者其他环境较差的场所内使用测量仪机体时，能够有效地减少外部灰尘和杂质附着在测量仪机体以及待检测的单晶硅片的表面，从而避免了因外部因素干扰影响到测量仪机体检测单晶硅片的准确性。晶硅片的准确性。晶硅片的准确性。
【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片超精密磨削表面形貌的测量装置
[0001]本专利技术涉及单晶硅片磨削表面形貌的测量
，具体是涉及一种单晶硅片超精密磨削表面形貌的测量装置。
技术介绍
[0002]单晶硅片是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，其正处于新材料发展的前沿，单晶硅片可用于半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等，目前已成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一；
[0003]而单晶硅片在制备的处理工艺中，需要先对硅质棒材进行切削成片并进行打磨，而切削打磨后的单晶硅片需要由专业的检测设备对其磨削表面的样貌进行测量，即该专业设备为：表面样貌测量仪，其用于测量切削打磨后的硅片表面的形貌，从而通过导出成像后以便于进行后续的其他处理工艺，而在仪器进行测量时需要保证周围环境的纯净度，故一般会在无尘实验室或是无尘车间进行操作，而无尘车间按照清洁等级划分为：10级
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10000级，不同标准不同的清洁等级洁净度，而目前适用于精密、微型的电子科技行业的无尘车间的标准如下:10级:0.1um浓度s10,0.2um浓度≤2，该标准下均属于理论化的场景，即使此环境下空气中的灰尘含量极低，但仍然会存有一定量的灰尘，而外部的灰尘和杂质都会影响到设备的检测精度，而在目前已授权公布的专利号为：CN 209764061 U的技术专利中提出：“因晶片粘贴在陶瓷盘上，通常是将陶瓷盘放在光滑平整的大理石上，然后在上方固定一个伸缩式量表进行测量，这种方式受环境影响，大理石表面掉落颗粒或长时间磨损导致测量不准确”，由此可见在仪器检测晶片的过程中，仍然存在有颗粒等其他杂质，此外当仪器在运输的途中也易对设备造成损伤，鉴于此本专利技术提出一种新型的单晶硅片超精密磨削表面形貌的测量装置。
技术实现思路
[0004]为解决上述技术问题，提供一种单晶硅片超精密磨削表面形貌的测量装置，本技术方案解决了上述
技术介绍
中提出的现有设备使用时局限性大，使用不便捷、运输时安全性差等技术问题。
[0005]为达到以上目的，本专利技术采用的技术方案为：一种单晶硅片超精密磨削表面形貌的测量装置，包括测量仪存放箱，所述测量仪存放箱整体材质为透明可视材质，所述测量仪存放箱的内部放置有测量仪机体，所述测量仪存放箱的上表面左右对称均滑动连接有滑盖，所述测量仪存放箱的背侧设置有导线管，且导线管贯穿至测量仪存放箱的背侧，所述测量仪存放箱的内部设置有联动托举机构，所述测量仪机体的下方设置有随动纠偏夹持机构，且随动纠偏夹持机构的左右两侧对称设置有辅助擦拭清洁机构，所述测量仪存放箱内部的底面设置有机体稳固机构；
[0006]所述联动托举机构包括燕尾槽、燕尾滑块、内槽滑板、滑动弹簧抵轴、凸型连杆、直角限定件、撑托板、联动条，所述测量仪存放箱的前侧内壁呈左右对称均固定连接有燕尾
槽，所述燕尾滑块的外侧固定连接有联动，且联动条的外端贯穿至测量仪存放箱的前侧，所述联动条的上端固定连接于滑盖的前侧底部，所述燕尾滑块的内侧固定连接有内槽滑板，且内槽滑板的内侧表面设置有滑动弹簧抵轴，所述滑动弹簧抵轴的上端固定连接有凸型连杆，该凸型连杆位呈前后对称设置的四组，且位于测量仪存放箱前侧的两组凸型连杆的前侧活动插接于直角限定件的内侧端头，而位于测量仪存放箱背侧的两组凸型连杆与测量仪存放箱的背侧内壁呈滑动连接，且凸型连杆的内侧下端固定连接有撑托板，所述内槽滑板的上表面固定连接有直角限定件。
[0007]优选的，所述内槽滑板的内部开设有四边形滑槽，且四边形滑槽与滑动弹簧抵轴的外端头呈滑动连接，所述滑动弹簧抵轴的内部通过弹簧套接有内抵轴，且内抵轴抵接于四边形滑槽的内部。
[0008]优选的，所述随动纠偏夹持机构包括球头曲杆、拨片、纠偏板、直角推杆、限定板、弹性夹片，所述内槽滑板相互靠近一面的内侧底部固定连接有球头曲杆，且球头曲杆的端头设置有拨片，且拨片的内端固定连接有纠偏板，并且纠偏板的上表面固定连接有直角推杆，所述直角推杆的内侧端头固定安装有弹性夹片，所述直角推杆的外侧端头下方设置有限定板，且直角推杆呈水平活动插接于限定板的内部。
[0009]优选的，所述球头曲杆的端头呈球面，所述拨片的外侧端头与球头曲杆处在同一水平线上。
[0010]优选的，所述限定板的底部固定连接有测量主台面，且测量主台面固定安装于测量仪机体的底部，所述纠偏板呈四周均匀对称设置，且相邻内槽滑板之间通过直角连接件转动连接于测量主台面的上表面。
[0011]优选的，所述测量仪机体前侧正下方的中心线上且位于测量主台面的中心位置固定连接有居中放置盘，且居中放置盘与弹性夹片均保持水平。
[0012]优选的，所述辅助擦拭清洁机构包括固定滑槽板、滑动块、拉簧、擦拭杆、弹簧伸缩竖杆、插孔、伸缩球头锁杆，所述居中放置盘的左右两侧均水平对称设置有擦拭杆，且擦拭杆相互靠近的一端均安装有擦拭棉，且擦拭杆的底部插接有滑动块，所述滑动块的外部设置有固定滑槽板，且滑动块滑动连接于固定滑槽板的内腔，所述滑动块相互对立的一面均固定连接有拉簧，且拉簧的一端固定连接于固定滑槽板的内部，所述滑动块的上表面均固定连接有弹簧伸缩竖杆，且弹簧伸缩竖杆的上端抵接于滑盖的底部，所述滑动块与擦拭杆的插接处开设有插孔，且插孔的内部两侧对称固定连接有伸缩球头锁杆。
[0013]优选的，所述滑盖的底部表面均开设有倾斜槽，且弹簧伸缩竖杆的上端头分别抵接于倾斜槽互相远离的一端。
[0014]优选的，所述机体稳固机构包括螺纹套筒、吸盘螺纹轴、折弯从动条、直角稳固板所述测量仪机体的底部中心位置抵接有吸盘螺纹轴，且吸盘螺纹轴的外部螺纹连接有螺纹套筒，所述螺纹套筒通过扭簧转动连接于测量仪存放箱的底部，所述螺纹套筒的上端外部均匀设置有折弯从动条，且折弯从动条的外端头均固定连接有直角稳固板，所述直角稳固板适配于测量仪机体底部的形状。
[0015]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0016](1)本专利技术通过设置有联动托举机构，当用户打开滑盖后，并将待检测的单晶硅片放置在测量仪机体下方的检测部位，随后关闭两组滑盖，在关闭过程中滑动弹簧抵轴则会
带动凸型连杆反向滑动，致使撑托板带动测量仪机体回至初始位置，此时相对来说处于无尘车间内的测量仪机体处于更为封闭的空间，从而能够进一步保证了测量仪机体的无尘性，进而当用户在无尘车间内使用测量仪机体时，能够进一步有效地减少空气中的灰尘和杂质附着在测量仪机体以及待检测的单晶硅片的表面，从而避免了因外部因素干扰影响到测量仪机体检测单晶硅片的准确性，进而相比于现有的设备本装置在使用时的适应性更强；
[0017](2)本专利技术通过设置有联动托举机构，当用户在需要使用测量仪机体时，无需用户用手伸入测量仪存放箱内部再将测量仪机体取出，只需通过打开滑盖即可将测量仪机体自动托举送出，以此大大提升用户使用时的便捷性和自动性，同时也能够更快的服务于后续测量仪机体的检测过程，间接地提升检测工作的效率性；
[0018](3)本专利技术通过设置有随动纠偏夹持机构，在各组纠偏板运动后，驱使其上表面的各组本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片超精密磨削表面形貌的测量装置，包括测量仪存放箱(1)，其特征在于：所述测量仪存放箱(1)的内部放置有测量仪机体(11)，所述测量仪存放箱(1)的上表面左右对称均滑动连接有滑盖(12)，所述测量仪存放箱(1)的背侧设置有导线管(13)，且导线管(13)贯穿至测量仪存放箱(1)的背侧，所述测量仪存放箱(1)的内部设置有联动托举机构(2)，所述测量仪机体(11)的下方设置有随动纠偏夹持机构(3)，且随动纠偏夹持机构(3)的左右两侧对称设置有辅助擦拭清洁机构(4)，所述测量仪存放箱(1)内部的底面设置有机体稳固机构(5)；所述联动托举机构(2)包括燕尾槽(21)、燕尾滑块(22)、内槽滑板(23)、滑动弹簧抵轴(24)、凸型连杆(25)、直角限定件(26)、撑托板(27)、联动条(28)，所述测量仪存放箱(1)的前侧内壁呈左右对称均固定连接有燕尾槽(21)，且燕尾槽(21)的内部均滑动连接有燕尾滑块(22)，所述燕尾滑块(22)的外侧固定连接有联动条(28)，且联动条(28)的外端贯穿至测量仪存放箱(1)的前侧，所述联动条(28)的上端固定连接于滑盖(12)的前侧底部，所述燕尾滑块(22)的内侧固定连接有内槽滑板(23)，且内槽滑板(23)的内侧表面设置有滑动弹簧抵轴(24)，所述滑动弹簧抵轴(24)的上端固定连接有凸型连杆(25)，且凸型连杆(25)的内侧下端固定连接有撑托板(27)，所述内槽滑板(23)的上表面固定连接有直角限定件(26)。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片超精密磨削表面形貌的测量装置，其特征在于：所述内槽滑板(23)的内部开设有四边形滑槽，且四边形滑槽与滑动弹簧抵轴(24)的外端头呈滑动连接，所述滑动弹簧抵轴(24)的内部通过弹簧套接有内抵轴，且内抵轴抵接于四边形滑槽的内部。3.根据权利要求2所述的一种单晶硅片超精密磨削表面形貌的测量装置，其特征在于：所述随动纠偏夹持机构(3)包括球头曲杆(31)、拨片(32)、纠偏板(33)、直角推杆(34)、限定板(35)、弹性夹片(36)，所述内槽滑板(23)相互靠近一面的内侧底部固定连接有球头曲杆(31)，且球头曲杆(31)的端头设置有拨片(32)，且拨片(32)的内端固定连接有纠偏板(33)，并且纠偏板(33)的上表面固定连接有直角推杆(34)，所述直角推杆(34)的内侧端头固定安装有弹性夹片(36)，所述直角推杆(34)的外侧端头下方设置有限定板(35)，且直角推杆(34)呈水平活动插接于限定板(35)的内部。4.根据权利要求3所述的一种单晶硅片...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈创，张金旭，余旭，
申请(专利权)人：徐州市创泽优电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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