【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种固态成象器件，其配备有多个单元象素，每个单元象素包括光电二极管和绝缘栅场效应晶体管， 所述光电二极管包括： 具有第一导电类型的衬底； 形成在所述衬底上并具有第二导电类型的半导体层； 形成在所述半导体层上并具有第一导电类型的阱区； 形成在所述阱区的表面上并具有第二导电类型的杂质区，和 所述绝缘栅场效应晶体管包括： 形成在所述阱区的表面上的漏区，延伸到所述杂质区，并具有第二导电类型； 形成在所述阱区的表面上的源区，与所述漏区隔开，并具有第二导电类型； 形成在栅绝缘层上的栅极，其中栅绝缘层形成在栅区上，栅区是所述漏区和所述源区之间的所述阱区；和 形成在所述栅极下面的所述源区附近的所述阱区中的重掺杂掩埋层，所述重掺杂掩埋层用高于所述阱区的浓度的第一导电类型的杂质掺杂。
【技术特征摘要】
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