一种悬臂大尺寸大电流测量探针卡测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种悬臂大尺寸大电流测量探针卡测试装置，属于半导体测试装置领域，包括定位支架以及设置在定位支架上的机械臂，定位支架的下端开设有多个插槽，插槽的上壁设置有缓冲机构，插槽的内部插接有探针卡，插槽的一侧开设有安装槽，安装槽的上壁固定安装有信号输出插孔，探针卡的一端固定安装有与信号输出插孔相适配的转接插头，插槽开口远离安装槽的一边设置有锁紧机构，定位支架的一侧固定安装有方管，信号输出插孔的出线端延伸进方管内部，机械臂的外侧固定安装有总线管，它可以实现节约逐个装夹芯片的操作步骤，能够大批量检测芯片，方便提高测试装置的测试量，便于大批量芯片进行快速测试。于大批量芯片进行快速测试。于大批量芯片进行快速测试。

【技术实现步骤摘要】
一种悬臂大尺寸大电流测量探针卡测试装置


[0001]本技术涉及半导体测试装置领域，更具体地说，涉及一种悬臂大尺寸大电流测量探针卡测试装置。

技术介绍

[0002]探针卡是一种测试接口，往往设置在流水线上，用于芯片测试，特别是芯片批量生产与测试时，将多个探针卡集成在一个悬臂上，并接通大电流，方便同时对多个芯片进行测试；
[0003]经专利检索发现，公开号为CN212845774U的中国专利公开了一种探针卡测试装置，包括检测仓、探针卡单元、芯片单元、检测单元、调节定位机构、探针卡夹具、承载台、芯片容置槽、伸缩支撑件、限位结构、复位弹簧、夹持块和凸块，其虽然通过探针卡夹具夹持探针卡单元，探针卡夹具和待测芯片的相对位置可调，使用方便，同时，通过限位结构限制待测芯片的位置，防止待测芯片在容置槽内的移位，保证测试的可靠性；
[0004]但是并未解决现有探针卡测试装置在测试大批量芯片的过程中，通过探针卡夹具夹持单个探针卡单元，来逐个检测芯片，测试量小，而芯片单元需要逐个装夹，不便于大批量芯片进行快速测试，为此我们提出一种悬臂大尺寸大电流测量探针卡测试装置。

技术实现思路

[0005]1.要解决的技术问题
[0006]针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供一种悬臂大尺寸大电流测量探针卡测试装置，它可以实现节约逐个装夹芯片的操作步骤，能够大批量检测芯片，方便提高测试装置的测试量，便于大批量芯片进行快速测试。
[0007]2.技术方案
[0008]为解决上述问题，本技术采用如下的技术方案。
[0009]一种悬臂大尺寸大电流测量探针卡测试装置，包括定位支架以及设置在定位支架上的机械臂，所述定位支架的下端开设有多个插槽，所述插槽的顶部设置有缓冲机构，所述插槽的内部插接有探针卡，所述插槽的一侧开设有安装槽，所述安装槽的顶部固定安装有信号输出插孔，所述探针卡的一端固定安装有与信号输出插孔相适配的转接插头，所述插槽开口远离安装槽的一边设置有锁紧机构。
[0010]进一步的，所述定位支架的一侧固定安装有方管，所述信号输出插孔的出线端延伸进方管内部，所述机械臂的外侧固定安装有总线管。
[0011]进一步的，所述缓冲机构包括固定安装在插槽里壁的多个弹簧，所述弹簧的一端固定安装有绝缘板。
[0012]进一步的，所述锁紧机构包括铰接在插槽开口的盖板，所述盖板的两侧均固定安装有磁石，所述磁石错开插槽。
[0013]进一步的，所述盖板远离插槽的一端固定安装有多个压杆，多个所述压杆分别与
探针卡的探针端相互交错。
[0014]进一步的，所述插槽的宽度大于安装槽的宽度，所述信号输出插孔和绝缘板沿水平方向错开。
[0015]3.有益效果
[0016]相比于现有技术，本技术的优点在于：
[0017](1)本方案工作时，将转接插头插入信号输出插孔中，再将探针卡插入插槽中，通过锁紧机构固定，将大批量芯片整齐排列放置到传送带上，通过机械臂带动定位支架沿竖直方向运动，定位支架下降时，多个探针卡分别接触成列芯片，而定位支架上升时，探针卡离开芯片，传送带间歇性带动大批量芯片行进，从而未测试的芯片移动到探针卡的正下方，节约逐个装夹芯片的操作步骤，能够大批量检测芯片，方便提高测试装置的测试量，便于大批量芯片进行快速测试，而当单个探针卡损坏时，通过拔出信号输出插孔中的转接插头，即可更换探针卡，节约拆开整个测试装置并更换探针卡所在线路的操作步骤，以减少大批量芯片测试时探针卡维护所需的成本。
[0018](2)本方案当探针卡需要装上时，正转插槽开口的盖板，磁石离开定位支架，将探针卡插入插槽中，再反转盖板，直至磁石紧贴定位支架，在磁场作用下，磁石拉紧定位支架和盖板，使得盖板压紧插槽中的探针卡，能够锁紧探针卡，而当探针卡需要拆卸时，通过打开插槽开口的盖板，即可取出探针卡，方便探针卡快速拆装，减少大批量芯片测试时探针卡维护所消耗的工作时间。
附图说明
[0019]图1为本技术的主视的结构示意图；
[0020]图2为本技术的仰视的结构示意图；
[0021]图3为本技术的定位支架的剖视结构示意图；
[0022]图4为本技术的图2中A处的放大结构示意图。
[0023]图中标号说明：
[0024]1、定位支架；2、机械臂；3、插槽；4、探针卡；5、安装槽；6、信号输出插孔；7、转接插头；8、方管；9、总线管；10、弹簧；11、绝缘板；12、盖板；13、磁石；14、压杆。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]实施例：
[0027]请参阅图1
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4，一种悬臂大尺寸大电流测量探针卡测试装置，包括定位支架1以及设置在定位支架1上的机械臂2，机械臂2远离定位支架1的一端铰接有传送带，此技术方案为现有技术，图中未画出，定位支架1的下端开设有多个插槽3，插槽3的顶部设置有缓冲机构，插槽3的内部插接有探针卡4，探针卡4的探针端延伸出插槽3内部，插槽3的一侧开设有安装槽5，插槽3的宽度大于安装槽5的宽度，安装槽5的顶部固定安装有信号输出插孔6，信
号输出插孔6远离插槽3的一端通过电缆电性连接到主机，探针卡4的一端固定安装有与信号输出插孔6相适配的转接插头7，插槽3开口远离安装槽5的一边设置有锁紧机构，工作时，将转接插头7插入信号输出插孔6中，再将探针卡4插入插槽3中，通过锁紧机构固定，使得多个探针卡4整齐分布到定位支架1的下端，将大批量芯片整齐排列放置到传送带上，通过机械臂2带动定位支架1沿竖直方向运动，定位支架1下降时，多个探针卡4分别接触成列芯片，而定位支架1上升时，探针卡4离开芯片，传送带间歇性带动大批量芯片行进，从而未测试的芯片移动到探针卡4的正下方，节约逐个装夹芯片的操作步骤，能够大批量检测芯片，方便提高测试装置的测试量，便于大批量芯片进行快速测试，而当单个探针卡4损坏时，通过拔出信号输出插孔6中的转接插头7，即可更换探针卡4，节约拆开整个测试装置并更换探针卡4所在线路的操作步骤，以减少大批量芯片测试时探针卡4维护所需的成本。
[0028]参阅图1和图3，锁紧机构包括铰接在插槽3开口的盖板12，盖板12和探针卡4的探针端之间留有空隙，盖板12的两侧均固定安装有磁石13，定位支架1的材质为磁性金属，方便磁石13吸引定位支架1，磁石13错开插槽3，当探针卡4需要装上时，正转插槽3开口的盖板12，磁石13离开定位支架1，将探针卡4插入插槽3中，再反转盖板12，直至磁石13紧贴定位支架1，在磁场作用下，磁石13拉紧定位支架1和盖板12，使得盖板12压紧插槽3中的探针卡本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种悬臂大尺寸大电流测量探针卡测试装置，包括定位支架(1)以及设置在定位支架(1)上的机械臂(2)，其特征在于：所述定位支架(1)的下端开设有多个插槽(3)，所述插槽(3)的顶部设置有缓冲机构，所述插槽(3)的内部插接有探针卡(4)，所述插槽(3)的一侧开设有安装槽(5)，所述安装槽(5)的顶部固定安装有信号输出插孔(6)，所述探针卡(4)的一端固定安装有与信号输出插孔(6)相适配的转接插头(7)，所述插槽(3)开口远离安装槽(5)的一边设置有锁紧机构。2.根据权利要求1所述的一种悬臂大尺寸大电流测量探针卡测试装置，其特征在于：所述定位支架(1)的一侧固定安装有方管(8)，所述信号输出插孔(6)的出线端延伸进方管(8)内部，所述机械臂(2)的外侧固定安装有总线管(9)。3.根据权利要求1所述的一种悬臂大尺寸大电流测...

【专利技术属性】
技术研发人员：张磊，
申请(专利权)人：无锡普罗卡科技有限公司，
类型：新型
国别省市：