承载装置、检测设备及承载装置的使用方法制造方法及图纸

本申请提供一种承载装置、检测设备及使用方法。承载装置包括承载部及吹气部。承载部包括承载组件，承载组件用于支撑工件边缘以使工件固定于承载组件的承载面。吹气部与固定于承载面的工件的顶面形成第一腔室，吹气部设有第一气孔，第一气孔用于向第一腔室吹气，第一腔室具有出气口，出气口用于排出第一腔室中的气体，使工件的中心区域形成涡旋气流。本申请的承载装置中，利用吹气部的第一气孔朝第一腔室吹气，并使第一腔室内的气体从出气口排出，使得工件顶面的中心区域形成涡旋气流，使该中心区域范围内的气压小于承载装置外部的气压，工件的顶面和底面两侧存在气压差，避免工件的中心区域因为自身重力而发生形变，保证工件具有良好的平整度。良好的平整度。良好的平整度。

【技术实现步骤摘要】
承载装置、检测设备及承载装置的使用方法


[0001]本申请涉及半导体检测
，更具体而言，涉及一种承载装置、检测设备及承载装置的使用方法。

技术介绍

[0002]半导体设备行业中，半导体工件的厚度在几十到几百微米之间不等，而有些工件背面不允许有硬接触，光学检测设备检测工件时，希望工件承载在承载装置上时，能够保持静止，并且工件不会发生变形和振动，以满足检测需求。因此，只能将工件的边缘承载于承载装置上，当工件厚度比较薄时，放置在承载装置上时，由于重力作用会产生较大下垂形变，这样的承载装置不能保证工件的平整度，从而影响检测设备对工件的检测精度。

技术实现思路

[0003]本申请实施方式提供一种承载装置、检测设备及承载装置的使用方法。
[0004]本申请实施方式的承载装置包括承载部及吹气部。所述承载部包括承载组件，所述承载组件用于支撑工件的边缘以使所述工件固定于所述承载组件的承载面。所述吹气部与固定于所述承载面的所述工件的顶面形成第一腔室，所述吹气部设有第一气孔，所述第一气孔用于向所述第一腔室吹气，所述第一腔室具有出气口，所述出气口用于排出所述第一腔室中的气体，使所述工件的中心区域形成涡旋气流。
[0005]在某些实施方式中，所述出气口包括所述第一腔室的与所述工件相对的开口，和/或，所述出气口包括位于所述吹气部的侧壁的第二气孔。
[0006]在某些实施方式中，所述第一气孔的吹气方向与所述第一气孔处的切线方向形成的夹角包括锐角。
[0007]在某些实施方式中，所述第一气孔包括多个，多个所述第一气孔均匀分布于所述吹气部的侧壁。
[0008]在某些实施方式中，所述承载组件包括夹持件。所述夹持件用于夹持承载于所述承载面的所述工件的边缘侧面或边缘顶面。所述夹持件被配置为在夹持位置和松弛位置移动，当所述夹持件位于所述夹持位置时，所述夹持件与所述工件的边缘侧面或边缘顶面抵触。当所述夹持件位于所述松弛位置时，所述夹持件与所述工件的边缘侧面及边缘顶面间隔。至少当所述夹持件用于夹持承载于所述承载面的所述工件的边缘顶面时，所述承载组件还包括支撑件，所述支撑件用于支撑所述工件边缘的底面。
[0009]在某些实施方式中，所述承载组件包括支撑件。所述支撑件用于支撑所述工件边缘的底面。
[0010]在某些实施方式中，所述承载部还包括气浮组件。所述气浮组件与所述工件的底面形成第二腔室，所述气浮组件包括第三气孔和泄气口，所述第三气孔用于向所述第二腔室吹气，所述泄气口用于使所述第二腔室的气体排出，所述第二腔室气压小于所述第一腔室的气压。
[0011]在某些实施方式中，所述气浮组件还包括与所述承载组件连接的连接件。所述连接件与所述工件的底面形成所述第二腔室。所述第一腔室和第二腔室分别位于所述工件的两侧。所述支撑件自所述连接件的侧壁向所述第二腔室的中心延伸且凸出于所述吹气部的侧壁。所述第三气孔位于所述连接件的侧壁，所述第三气孔用于向所述第二腔室吹气，所述第二腔室内气压小于所述承载装置外部气压，且所述第一腔室内气压大于所述第二腔室内气压。
[0012]在某些实施方式中，所述承载装置还包括与所述泄气口连通的抽气设备，所述抽气设备用于对所述第二腔室进行抽气。
[0013]在某些实施方式中，所述泄气口包括位于所述连接件的侧壁的第四气孔，所述第四气孔用于将所述第二腔室内的气体排出至所述第二腔室外。
[0014]在某些实施方式中，所述泄气口包括位于所述第二腔室背离所述工件一侧的开孔。
[0015]在某些实施方式中，所述第四气孔包括多个，在垂直所述承载面的方向上，每个所述第四气孔的中心相对所述第三气孔的中心朝与所述第三气孔的吹气方向相反的一侧偏置。
[0016]在某些实施方式中，在垂直所述承载面的方向上，每个所述第四气孔的中心与所述第三气孔的中心在同一直线上。
[0017]在某些实施方式中，所述第三气孔的容积小于所述第四气孔的容积。
[0018]在某些实施方式中，所述第三气孔的吹气方向与所述第三气孔处的切线方向形成的夹角包括锐角。
[0019]在某些实施方式中，所述第三气孔包括多个，多个所述第三气孔分布于所述连接件的侧壁，在垂直所述承载面的方向上，每个所述第三气孔的中心与所述第一气孔的中心在同一直线上。
[0020]在某些实施方式中，所述承载部还包括底盘，所述承载组件与所述底盘连接，所述工件的底面及所述底盘之间的空间形成所述第二腔室。
[0021]在某些实施方式中，所述第三气孔位于所述底盘中，所述第三气孔的吹气方向与所述底盘的中心轴相交。
[0022]在某些实施方式中，所述泄气口还包括位于所述底盘中的第四气孔，所述泄气口用于将所述第二腔室内的气体排出至所述第二腔室外。
[0023]在某些实施方式中，所述承载组件还包括夹持件。所述连接件还包括容纳槽，所述夹持件位于所述容纳槽中，且所述夹持件与所述底盘或所述连接件可移动连接。
[0024]在某些实施方式中，所述承载部还包括底盘，所述底盘与所述承载组件连接，所述承载装置还包括驱动组件，所述驱动组件包括驱动件及升降杆，所述驱动件用于驱动所述升降杆相对所述底盘升降，以使所述工件穿过所述第一腔室后由所述承载组件固定于所述承载面。
[0025]在某些实施方式中，所述底盘设有通孔，所述升降杆的第一端与所述驱动件连接，所述升降杆的第二端至少部分收容于所述通孔，所述第一端与所述第二端相对，所述驱动件用于驱动所述升降杆伸出所述通孔并高于所述承载面，以使所述工件能够放置于所述第二端。所述驱动件还用于驱动所述升降杆下降，以使放置于所述第二端的所述工件承载于
所述承载面，所述驱动件还用于驱动所述升降杆继续下降，以使至少部分所述升降杆保持位于所述通孔内。
[0026]在某些实施方式中，所述支撑件包括多个，每个所述支撑件位于相邻两个所述第四气孔之间。
[0027]本申请实施方式的检测设备包括检测装置及上述任意一实施方式所述的承载装置，所述检测装置与所述承载装置对应，并用于对固定在所述承载面上的工件进行检测。
[0028]本申请实施方式的承载装置的使用方法包括：放置工件于承载部的承载组件，所述承载组件用于支撑工件的边缘以使所述工件固定于所述承载组件的承载面。利用吹气部的第一气孔朝第一腔室内吹气，使所述工件的中心区域形成涡旋气流，所述吹气部与承载于所述承载面的所述工件的顶面形成所述第一腔室。
[0029]在某些实施方式中，所述承载部还包括气浮组件。所述气浮组件与所述工件的底面形成第二腔室，所述气浮组件包括第三气孔和泄气口，所述第三气孔用于向所述第二腔室吹气，所述泄气口用于使所述第二腔室的气体排出。放置工件于承载部的支撑件之后，所述使用方法还包括：通过所述第三气孔向所述第二腔室吹气，并通过所述泄气口排出所述第二腔室中的气体，使所述第二腔室气压小于所述第一腔室的气压。
[0030]在某些实施方式中，所述放置工件于承载部的支撑件，包括：利用驱动件驱动升降杆伸出所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种承载装置，其特征在于，包括：承载部，所述承载部包括承载组件，所述承载组件用于支撑工件的边缘以使所述工件固定于所述承载组件的承载面；及吹气部，所述吹气部与固定于所述承载面的所述工件的顶面形成第一腔室，所述吹气部设有第一气孔，所述第一气孔用于向所述第一腔室吹气，所述第一腔室具有出气口，所述出气口用于排出第一腔室中的气体，使所述工件的中心区域形成涡旋气流。2.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述出气口包括所述第一腔室的与所述工件相对的开口，和/或，所述出气口包括位于所述吹气部的侧壁的第二气孔。3.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述第一气孔的吹气方向与所述第一气孔处的切线方向形成的夹角包括锐角，所述第一气孔包括多个，多个所述第一气孔均匀分布于所述吹气部的侧壁。4.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述承载组件包括：夹持件，所述夹持件用于夹持承载于所述承载面的所述工件的边缘侧面或边缘顶面；所述夹持件被配置为在夹持位置和松弛位置移动，当所述夹持件位于所述夹持位置时，所述夹持件与所述工件的边缘侧面或边缘顶面抵触；当所述夹持件位于所述松弛位置时，所述夹持件与所述工件的边缘侧面及边缘顶面间隔；至少当所述夹持件用于夹持承载于所述承载面的所述工件的边缘顶面时，所述承载组件还包括支撑件，所述支撑件用于支撑所述工件边缘的底面。5.根据权利要求1
‑
4任意一项所述的承载装置，其特征在于，所述承载组件包括支撑件，所述支撑件用于支撑所述工件边缘的底面。6.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述承载部还包括气浮组件，所述气浮组件与所述工件的底面形成第二腔室，所述气浮组件包括第三气孔和泄气口，所述第三气孔用于向所述第二腔室吹气，所述泄气口用于使所述第二腔室的气体排出，所述第二腔室气压小于所述第一腔室的气压。7.根据权利要求6所述的承载装置，其特征在于，所述气浮组件还包括与所述承载组件连接的连接件，所述连接件与所述工件的底面形成所述第二腔室；所述第一腔室和第二腔室分别位于所述工件的两侧；所述支撑件自所述连接件的侧壁向所述第二腔室的中心延伸且凸出于所述吹气部的侧壁；所述第三气孔位于所述连接件的侧壁，所述第三气孔用于向所述第二腔室吹气，所述第二腔室内气压小于所述承载装置外部气压，且所述第一腔室内气压大于所述第二腔室内气压。8.根据权利要求6或7所述的承载装置，其特征在于，所述承载装置还包括与所述泄气口连通的抽气设备，所述抽气设备用于对所述第二腔室进行抽气。9.根据权利要求7所述的承载装置，其特征在于，所述泄气口包括位于所述连接件的侧壁的第四气孔，所述第四气孔用于将所述第二腔室内的气体排出至所述第二腔室外；或，所述泄气口包括位于所述第二腔室背离所述工件一侧的开孔。10.根据权利要求9所述的承载装置，其特征在于，所述承载组件包括多个支撑件，所述第四气孔包括多个，每个所述支撑件位于相邻两个所述第四气孔之间，在垂直所述承载面的方向上，每个所述第四气孔的中心相对所述第三气孔的中心朝与所述第三气孔的吹气方向相反的一侧偏置；或，在垂直所述承载面的方向上，每个所述第四气孔的中心与所述第三
气孔的中心在同一直线上。11.根据权利要求7所述的承载装置，其特征在于，所述第三气孔的吹气方向与所述第三气孔处的切线方向形成的夹角包括锐角，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，卢继奎，马砚忠，张朝前，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：