本发明专利技术公开了一种张网焊接设备及金属掩模姿态调整方法，张网焊接设备包括：张网装置和掩模姿态调整装置；张网装置将金属掩模版拉伸至设定位置，并将金属掩模版放置在金属框架上；掩模姿态调整装置用于调整金属掩模版在拉伸张紧过程中的位置偏差和姿态偏差；掩模姿态调整装置包括Y向运动机构、Z向运动机构、Rz调整机构和RxRy调整机构；RxRy调整机构来调节Rx向偏差；Z向调整机构和RxRy调整机构用于调节Ry向偏差；Rz调整机构用于调节Rz向偏差；张网装置和Rz调整机构用于调节φz姿态偏差；Rz调整机构和Y向调整机构用于调节Sx姿态偏差；Rz调整机构用于调节Sz姿态偏差。本发明专利技术提供的技术方案，可对金属掩模姿态进行精准调整，提高显示面板的蒸镀精度。显示面板的蒸镀精度。显示面板的蒸镀精度。
【技术实现步骤摘要】
一种张网焊接设备及金属掩模姿态调整方法
[0001]本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种张网焊接设备及金属掩模姿态调整方法。
技术介绍
[0002]OLED(Organic Light
‑
Emitting Diode)显示器在生产时主要通过蒸镀方式将有机发光材料按照预定程序蒸镀到显示背板上，一般利用掩模上的图形，使得各种颜色的材料蒸镀到相应的位置上。张网焊接设备是将金属掩模版进行拉伸后焊接在金属框架上的设备。
[0003]张网焊接设备具体用于在掩模制作的过程中，通过对金属掩模版两端施加拉力对掩模进行拉伸后焊接在金属框架上，以便用于蒸镀。
[0004]掩模版在被其载体固定过程中产生的变形误差直接影响了平板显示装置制作的好坏。对于精度要求较高的应用于平板显示装置制造领域的掩模版来讲，金属掩模上像素孔的位置越精确，越接近理论设计位置，则制作的掩模框架的质量越高，最终显示器面板质量就最好。
[0005]目前公知的张网焊接设备仅具有将金属掩模夹持拉伸并焊接在金属框架上，仅能通过调整拉力来对金属掩模的位置姿态进行粗略调整，缺少手段进行精确调整。
技术实现思路
[0006]本专利技术实施例提供了一种张网焊接设备及金属掩模姿态调整方法，以对金属掩模姿态进行精准调整，提高显示面板的蒸镀精度。
[0007]第一方面，本专利技术实施例提供了一种张网焊接设备，包括：张网装置和掩模姿态调整装置；
[0008]所述张网装置将金属掩模版拉伸至设定位置，并将所述金属掩模版放置在金属框架上；所述掩模姿态调整装置用于调整所述金属掩模版在拉伸张紧过程中的位置偏差和姿态偏差；所述掩模姿态调整装置包括Y向运动机构、Z向运动机构、Rz调整机构和RxRy调整机构；
[0009]所述张网装置的夹持装置的间距用于调节金属掩模版的φx姿态偏差；所述RxRy调整机构来调节所述金属掩模版的Rx向偏差；Z向调整机构和RxRy调整机构用于调节Ry向偏差；Rz调整机构用于调节所述金属掩模版的Rz向偏差；所述张网装置和Rz调整机构用于调节所述金属掩模版的φz姿态偏差；所述张网装置用于调节所述金属掩模版的φy向偏差；Rz调整机构和Y向调整机构用于调节所述金属掩模版的Sx姿态偏差；所述Rz调整机构用于调节所述金属掩模版的Sz姿态偏差。
[0010]第二方面，本专利技术实施例还提供了一种金属掩模姿态调整方法，适用于本专利技术任意实施例提供的张网焊接设备，金属掩模姿态调整方法，包括：
[0011]步骤101：对金属掩模版上的X方向、Y方向和Z方向进行初步位置调整；对所述金属
掩模版上的Rx向运动、Ry向运动和/或Rz向运动进行初步姿态调整；
[0012]步骤102：对所述金属掩模版进行精确测量。
[0013]步骤103：当所述金属掩模版出现φx姿态偏差、φy姿态偏差和/或φz姿态偏差时，通过所述张网装置的夹持装置间距对φx姿态偏差进行调整；通过所述张网装置的拉力对φy姿态偏差进行调整；通过所述张网装置的拉力和所述Rz调整机构对φz姿态偏差进行调整；
[0014]步骤104：当所述金属掩模版出现Sx姿态偏差和/或Sz姿态偏差时，通过Rz调整机构和Y向调整机构对Sx姿态偏差进行调整；通过Rz调整机构对Sz姿态偏差进行调整；之后返回执行步骤102，直至所述金属掩模版无姿态偏差。
[0015]本专利技术中，通过在张网焊接设备中设置张网装置和掩模姿态调整装置，张网装置包括夹持装置，掩模姿态调整装置包括Y向运动机构、Z向运动机构、Rz调整机构和RxRy调整机构，能够同时在X向、Y向、Z向、Rx、Ry和Rz等各个位置和姿态上进行调整，有效避免金属掩模版在拉伸张紧过程中的位置偏差和姿态偏差，此外还通过各个调整结构之间的结合进行参数调整。例如，通过Rz调整机构和Y向调整机构调节Sx姿态偏差。本实施例提供了一种更为精细的偏差测量和校对的方法，实现对金属掩模姿态进行精准调整，提高张网拉伸的精准度，避免金属掩模版上的掩模开口位置偏移，提高显示面板的蒸镀精度，提高显示面板的制作良率。
附图说明
[0016]图1是本专利技术实施例提供的一种金属掩模版的制作过程示意图；
[0017]图2是本专利技术实施例提供的金属掩模水平向理想姿态示意图；
[0018]图3是本专利技术实施例提供的金属掩模Rz姿态偏差示意图；
[0019]图4是本专利技术实施例提供的金属掩模S z姿态偏差示意图；
[0020]图5是本专利技术实施例提供的金属掩模φz姿态偏差示意图；
[0021]图6是本专利技术实施例提供的金属掩模垂向理想姿态示意图；
[0022]图7是本专利技术实施例提供的金属掩模Rx姿态偏差示意图；
[0023]图8是本专利技术实施例提供的金属掩模Sx姿态偏差示意图；
[0024]图9是本专利技术实施例提供的金属掩模φx姿态偏差示意图；
[0025]图10是本专利技术实施例提供的金属掩模Ry姿态偏差示意图；
[0026]图11是本专利技术实施例提供的金属掩模φy姿态偏差示意图；
[0027]图12是本专利技术实施例提供的一种张网焊接设备的结构示意图；
[0028]图13是本专利技术实施例提供的一种姿态调整装置的结构示意图；
[0029]图14是本专利技术实施例提供的一种张网装置的结构示意图；
[0030]图15是本专利技术实施例提供的另一种姿态调整装置的结构示意图；
[0031]图16是本专利技术实施例提供的一种RxRy调整机构的结构示意图；
[0032]图17是本专利技术实施例提供的一种Rz调整机构的结构示意图；
[0033]图18是本专利技术实施例提供的一种Z向运动机构的结构示意图；
[0034]图19是本专利技术实施例提供的一种Y向运动机构的结构示意图；
[0035]图20是本专利技术实施例提供的另一种姿态调整装置的结构示意图；
[0036]图21是本专利技术实施例提供的另一种RxRy调整机构的结构示意图；
[0037]图22是本专利技术实施例提供的另一种Rz调整机构的结构示意图；
[0038]图23是本专利技术实施例提供的另一种Z向运动机构的结构示意图；
[0039]图24是本专利技术实施例提供的另一种Y向运动机构的结构示意图；
[0040]图25为本专利技术实施例提供的一种金属掩模姿态调整方法的流程示意图；
[0041]图26是本专利技术实施例提供的另一种金属掩模姿态调整方法的流程示意图。
具体实施方式
[0042]下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本专利技术，而非对本专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本专利技术相关的部分而非全部结构。
[0043]如图1所示，图1是本专利技术实施例提供的一种金属掩模版的制作过程示意图，在掩模制作的过程中，需在金属掩模版601两端施加拉力对掩模进行拉伸后焊接在金属框架600上，以便用于蒸镀。图本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种张网焊接设备，其特征在于，包括：张网装置和掩模姿态调整装置；所述张网装置将金属掩模版拉伸至设定位置，并将所述金属掩模版放置在金属框架上；所述掩模姿态调整装置用于调整所述金属掩模版在拉伸张紧过程中的位置偏差和姿态偏差；所述掩模姿态调整装置包括Y向运动机构、Z向运动机构、Rz调整机构和RxRy调整机构；所述张网装置的夹持装置的间距用于调节金属掩模版的φx姿态偏差；所述RxRy调整机构来调节所述金属掩模版的Rx向偏差；Z向调整机构和RxRy调整机构用于调节Ry向偏差；Rz调整机构用于调节所述金属掩模版的Rz向偏差；所述张网装置和Rz调整机构用于调节所述金属掩模版的φz姿态偏差；所述张网装置用于调节所述金属掩模版的φy向偏差；Rz调整机构和Y向调整机构用于调节所述金属掩模版的Sx姿态偏差；所述Rz调整机构用于调节所述金属掩模版的Sz姿态偏差。2.根据权利要求1所述的张网焊接设备，其特征在于，还包括：基座、工件台、测量与焊接一体化系统、运动系统和掩模预对准装置；所述基座用于支撑所述金属框架；所述工件台用于放置所述金属框架；所述测量与焊接系统用于测量所述金属掩模版的位置和姿态，并将所述掩模版焊接在金属框架上；所述运动系统用于安装所述测量与焊接系统，并带动所述测量与焊接系统运动；所述掩模预对准装置用于所述金属掩模版在进入张网流程前，补偿掩模版在Rz方向上的偏移量。3.根据权利要求1所述的张网焊接设备，其特征在于，还包括：掩模搬运机械手和版库单元；所述掩模搬运机械手用于将张网流程后的金属掩模版从工件台上搬运进入所述版库单元。4.根据权利要求1所述的张网焊接设备，其特征在于，所述张网装置包括：底板、导轨副、电机、丝杆副、连接板和掩模夹持拉伸装置；所述导轨副的导轨安装在所述底板上；滑块与所述连接板连接；所述电机安装在所述底板上，通过联轴器与所述丝杆副的丝杆连接；所述丝杆副的螺母安装在所述连接板上，所述电机推动所述连接板运动；所述掩模夹持拉伸装置安装在所述底板上，并由所述电机带动做水平Y运动；所述掩模夹持拉伸装置的功能是对掩模版进行夹持和拉伸，所述电机带动掩模夹持拉伸装置运动。5.根据权利要求1所述的张网焊接设备，其特征在于，所述Y向运动机构设置于底层；所述Z向运动机构和所述Rz调整机构设置于所述Y向运动机构的上层；所述RxRy调整机构设置于所述Z向运动机构和所述Rz调整机构的上层。6.根据权利要求1所述的张网焊接设备，其特征在于，所述RxRy调整机构包括：顶板、底板、钢球、直线电机和弹簧；所述底板上装有多个所述直线电机和至少一个所述钢球，所述顶板有多个球窝结构，分别与多个直线电机顶部和钢球接触；所述直线电用于进行垂向运动，以带动所述顶板绕所述钢球旋转，实现Rx向运动和Ry向运动；所述弹簧的一端固定在所述顶板，所述弹簧的另一端固定在所述底板上，用于消除所述球窝与所...
【专利技术属性】
技术研发人员：耿鹏飞，张洪博，王伟伟，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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