金属掩模的张网装置及其方法、张网设备制造方法及图纸

本发明专利技术实施例公开了一种金属掩模的张网装置及其方法、张网设备，该金属掩模的张网装置包括多个夹持拉伸模块和多个第一运动机构；夹持拉伸模块分布于金属掩模张网区相对的两侧；夹持拉伸模块包括夹持单元、柔性单元、拉伸单元以及位移检测单元；夹持单元、柔性单元和拉伸单元沿第一方向依次排列；拉伸单元设置于第一运动机构上；第一运动机构带动拉伸单元沿第一方向和/或第二方向运动；夹持单元用于夹持并固定位于金属掩模张网区的金属掩模；位移检测单元用于检测对应的拉伸单元的位移信息；其中，各第一运动机构的运动状态相互独立，以及同一第一运动机构在第一方向上的运动状态与其在第二方向上的运动状态相互独立。与其在第二方向上的运动状态相互独立。与其在第二方向上的运动状态相互独立。

【技术实现步骤摘要】
金属掩模的张网装置及其方法、张网设备


[0001]本专利技术实施例涉及电子元器件制备
，尤其涉及一种金属掩模的张网装置及其方法、张网设备。

技术介绍

[0002]在电子元器件的制备工艺中，金属掩模作为图形信息的载体，通过真空蒸镀的方式，将图形转移到被蒸镀产品上，从而形成具有相应图形形状的电子元器件。
[0003]通常金属掩模和被蒸镀产品会由相应的载体进行固定，且载有金属掩模和被蒸镀产品的载体会发生相对运动，使得在将金属掩模的图形转移至被蒸镀产品时，能够满足一定的精度要求。现有技术中金属掩模会采用相应的装置进行夹持拉伸，以对金属掩模进行张网。
[0004]但是，随着集成度的提高，电子元器件制备工艺的精度要求越来越高，对金属掩模进行张网的精度要求越来越高，如何在确保金属掩模具有较高张网精度的前提下，实现金属掩模的自动化张网，成为当前亟待解决的技术问题。

技术实现思路

[0005]针对上述存在问题，本专利技术实施例提供一种金属掩模的张网装置及其方法、张网设备，以在确保金属掩模具有较高张网精度的前提下，能够实现金属掩模的自动化张网。
[0006]第一方面，本专利技术实施例提供了一种金属掩模的张网装置，包括：多个夹持拉伸模块和与多个所述夹持拉伸模块一一对应设置的多个第一运动机构；
[0007]至少部分所述夹持拉伸模块分布于金属掩模张网区相对的两侧；每个所述夹持拉伸模块包括夹持单元、柔性单元、拉伸单元以及位移检测单元；所述柔性单元设置于所述夹持单元与所述拉伸单元之间，且所述夹持单元、所述柔性单元和所述拉伸单元沿第一方向依次排列；所述拉伸单元设置于所述第一运动机构上；所述第一运动机构带动所述拉伸单元沿所述第一方向和/或第二方向运动，所述拉伸单元拉伸所述柔性单元，以使所述柔性单元发生形变，并带动所述夹持单元在所述第一方向和/或所述第二方向上发生位移；其中，所述第一方向与所述第二方向交叉；
[0008]所述夹持单元用于夹持并固定位于所述金属掩模张网区的金属掩模；
[0009]所述位移检测单元用于检测对应的所述拉伸单元的位移信息；
[0010]其中，各所述第一运动机构的运动状态相互独立，以及同一所述第一运动机构在所述第一方向上的运动状态与其在所述第二方向上的运动状态相互独立。
[0011]第二方面，本专利技术实施例还提供了一种金属掩模的张网方法，采用金属掩模的张网装置执行，所述金属掩模的张网装置包括多个拉伸单元，所述金属掩模包括预对准标记、多个TP标记和多个像素标记，所述多个像素标记中包括至少一个第一像素标记，该金属掩模的张网方法包括：
[0012]当所述金属掩模在Z轴的旋转方向的角度与预设角度的差异在第一预设角度偏差
范围内、所述TP标记的当前位置与其目标位置之间的偏差在第一预设偏差范围内、以及各所述像素标记的当前位置与其目标位置之间的偏差在第二预设偏差范围内时，基于所述拉伸单元的位移量与所述第一像素标记的像素标记位置偏差的对应关系，求解所述金属掩模的线性张网矩阵；
[0013]当所述金属掩模在Z轴的旋转方向的角度与预设角度的差异在第一预设角度偏差范围内、所述TP标记的当前位置与其目标位置之间的偏差在第一预设偏差范围内、以及各所述像素标记的当前位置与其目标位置之间的偏差在第二预设偏差范围内时，获取所述第一像素标记的当前位置坐标、各所述第一像素标记目标位置坐标、以及所述拉伸单元的当前位置坐标；
[0014]根据所述线性张网矩阵、以及各所述第一像素标记的当前位置坐标和目标位置坐标，一一对应地确定各所述拉伸单元的目标位移量；
[0015]根据各所述拉伸单元的目标位移量和各所述拉伸单元的当前位置坐标，一一对应地控制各所述拉伸单元由所述拉伸单元的当前位置移动至所述拉伸单元的目标位置。
[0016]第三方面，本专利技术实施例还提供一种张网设备，包括：控制器和上述金属掩模的张网装置；
[0017]所述控制器用于上述金属掩模的张网方法。
[0018]本专利技术实施例提供的金属掩模的张网装置及其方法、张网设备，通过一一对应地设置于各夹持拉伸模块对应的第一运动机构，采用位置检测单元检测各拉伸单元的位移信息，以根据各拉伸单元的位置信息，由各第一运动机构一一对应且相互独立地控制各夹持拉伸模块中拉伸单元的运动状态，使得各夹持单元夹持的金属掩模进行张网，从而能够准确地控制各夹持拉伸模块中拉伸单元的运动状态，使得各夹持单元夹持的金属掩模能够运动至准确的位置，并在相应的位置处进行准确地；同时，基于该金属掩模的张网装置，能够确能够实现金属掩模的自动化张网，确保金属掩模具有较高张网精度，从而有利于提高蒸镀位置准确度，满足具有高集成度的电子元器件的制备需求。
附图说明
[0019]图1是本专利技术实施例提供的一种金属掩模的张网装置的结构示意图；
[0020]图2是本专利技术实施例提供的另一种金属掩模的张网装置的结构示意图；
[0021]图3是本专利技术实施例提供的另一种金属掩模的俯视结构示意图；
[0022]图4是本专利技术实施例提供的一种金属掩模的张网方法的流程图；
[0023]图5是本专利技术实施例提供的一种求解金属掩模的线性张网矩阵的方法的流程图；
[0024]图6是本专利技术实施例提供的一种确定拉伸单元的目标位移量的方法的流程图；
[0025]图7是本专利技术实施例提供的另一种金属掩模的张网方法的流程图。
具体实施方式
[0026]下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本专利技术，而非对本专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本专利技术相关的部分而非全部结构。
[0027]本专利技术实施例提供了一种金属掩模的张网装置，该金属掩模的张网装置能够对金
属掩模进行拉伸，使得金属掩模处于张网状态。图1是本专利技术实施例提供的一种金属掩模的张网装置的结构示意图，如图1所示，该金属掩模的张网装置包括多个夹持拉伸模块10和与多个夹持拉伸模块10一一对应设置的多个第一运动机构20；其中，至少部分夹持拉伸模块10分布于金属掩模张网区相对的两侧；该金属掩模张网区即为放置金属掩模200的区域。每个夹持拉伸模块10包括夹持单元11、柔性单元12、拉伸单元13以及位移检测单元14；其中，夹持单元11用于夹持并固定位于金属掩模张网区的金属掩模200；位移检测单元14用于检测对应的拉伸单元13的位移信息；柔性单元12设置于夹持单元11与拉伸单元13之间，且夹持单元11、柔性单元12和拉伸单元13沿第一方向X依次排列；拉伸单元13设置于第一运动机构20上；第一运动机构20带动拉伸单元13沿第一方向X和/或第二方向Y运动，拉伸单元13拉伸柔性单元12，以使柔性单元12发生形变，并带动夹持单元11在第一方向X和/或第二方向Y上发生位移，而由夹持单元11进行夹持固定的金属掩模200会随之发生形变，实现对金属掩模200的张网；此处所述的第一方向X与第二方向Y交叉。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属掩模的张网装置，其特征在于，包括：多个夹持拉伸模块和与多个所述夹持拉伸模块一一对应设置的多个第一运动机构；至少部分所述夹持拉伸模块分布于金属掩模张网区相对的两侧；每个所述夹持拉伸模块包括夹持单元、柔性单元、拉伸单元以及位移检测单元；所述柔性单元设置于所述夹持单元与所述拉伸单元之间，且所述夹持单元、所述柔性单元和所述拉伸单元沿第一方向依次排列；所述拉伸单元设置于所述第一运动机构上；所述第一运动机构带动所述拉伸单元沿所述第一方向和/或第二方向运动，所述拉伸单元拉伸所述柔性单元，以使所述柔性单元发生形变，并带动所述夹持单元在所述第一方向和/或所述第二方向上发生位移；其中，所述第一方向与所述第二方向交叉；所述夹持单元用于夹持并固定位于所述金属掩模张网区的金属掩模；所述位移检测单元用于检测对应的所述拉伸单元的位移信息；其中，各所述第一运动机构的运动状态相互独立，以及同一所述第一运动机构在所述第一方向上的运动状态与其在所述第二方向上的运动状态相互独立。2.根据权利要求1所述的金属掩模的张网装置，其特征在于，所述位移检测单元包括位移传感器；所述位移传感器固定于所述拉伸单元上；和/或，所述位移检测单元包括位移检测标记；所述位移检测标记设置于所述拉伸单元上。3.根据权利要求1所述的金属掩模的张网装置，其特征在于，所述柔性单元包括可伸缩弹性件。4.根据权利要求1所述的金属掩模的张网装置，其特征在于，还包括：多个第二运动机构；位于同一侧的各所述夹持拉伸模块设置于同一所述第二运动机构上；所述第二运动机构带动所述夹持拉伸模块沿所述第二方向运动，以使各所述夹持拉伸模块在所述第二方向上发生位移。5.根据权利要求4所述的金属掩模的张网装置，其特征在于，还包括：与各所述第二运动机构一一对应设置的位置检测模块；所述位置检测模块用于检测对应的所述第二运动机构的位置信息。6.根据权利要求5所述的金属掩模的张网装置，其特征在于，所述位置检测模块包括光栅尺或干涉仪。7.一种金属掩模的张网方法，采用金属掩模的张网装置执行，所述金属掩模的张网装置包括多个拉伸单元，所述金属掩模包括预对准标记、多个TP标记和多个像素标记，所述多个像素标记中包括至少一个第一像素标记，其特征在于，包括：当所述金属掩模在Z轴的旋转方向的角度与预设角度的差异在第一预设角度偏差范围内、所述TP标记的当前位置与其目标位置之间的偏差在第一预设偏差范围内、以及各所述像素标记的当前位置与其目标位置之间的偏差在第二预设偏差范围内时，基于所述拉伸单元的位移量与所述第一像素标记的像素标记位置偏差的对应关系，求解所述金属掩模的线性张网矩阵；当所述金属掩模在Z轴的旋转方向的角度与预设角度的差异在第一预设角度偏差范围内、所述TP标记的当前位置与其目标位置之间的偏差在第一预设偏差范围内、以及各所述
像素标记的当前位置与其目标位置之间的偏差在第二预设偏差范围内时，获取所述第一像素标记的当前位置坐标、各所述第一像素标记目标位置坐标、以及所述拉伸单元的当前位置坐标；根据所述线性张网矩阵、以及各所述第一像素标记的当前位置坐标和目标位置坐标，一一对应地确定各所述拉伸单元的目标位移量；根据各所述拉伸单元的目标位移量和各所述拉伸单元的当前位置坐标，一一对应地控制各所述拉伸单元由所述拉伸单元的当前位置移动至所述拉伸单元的目标位置。8.根据权利要求7所述的金属掩模的张网方法，其特征在于，基于所述拉伸单元的位移量与所述第一像素标记的像素标记位置偏差的对应关系，求解所述金属掩模的线性张网矩阵，包括：记录各所述拉伸单元在预设方向上的初始位置坐标、以及各所述第一像素标记的初始位置坐标；其中，预设方向为所述第一方向或所述第二方向；控制一个所述拉伸单元在所述预设方向上产生预设位移量，并记录当前各所述第一像素标记的位移位置坐标；重复执行控制一个所述拉伸单元在所述预设方向上产生预设位移量，并记录当前各所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄元昊，魏柏林，周畅，徐兵，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：