本实用新型专利技术涉及的一种晶圆料盒存储柜用上料装置，包括上料小车和垂直上料组件，上料小车设置在垂直上料组件的一侧，垂直上料组件包括输送支架、驱动轴、输送电机、第一屏蔽门、第二屏蔽门和安装框架，驱动轴的数量为2个，2个驱动轴设置在输送支架的两侧，其中一驱动轴与输送电机传动连接，2个驱动轴之间连接有输送带。本实用新型专利技术的有益效果是：在晶圆料盒上料过程中，首先打开第一屏蔽门，将晶圆料盒输送到隔离区间中，然后关闭第一屏蔽门，之后打开第二屏蔽门，将晶圆料盒输送到对应的存储空间中，整个上料流程第一屏蔽门和第二屏蔽门不同时打开，能够显著减少氮气在晶圆料盒上料过程中的泄露，进而保持晶圆存储环境的稳定性。进而保持晶圆存储环境的稳定性。进而保持晶圆存储环境的稳定性。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆料盒存储柜用上料装置
[0001]本技术涉及了晶圆器件存储
，具体的是一种晶圆料盒存储柜用上料装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。在晶圆的存储过程中，需要处于高浓度的氮气环境下，这就要求在晶圆的上料过程中，避免氮气的泄露，为晶圆的保存提供良好的存储环境。
技术实现思路
[0003]为了克服现有技术中的至少部分缺陷，本技术实施例提供了一种晶圆料盒存储柜用上料装置，结构简单，能够减少上料过程中氮气的泄露。
[0004]本技术涉及的一种晶圆料盒存储柜用上料装置，包括上料小车和垂直上料组件，所述上料小车设置在所述垂直上料组件的一侧，所述垂直上料组件包括输送支架、驱动轴、输送电机、第一屏蔽门、第二屏蔽门和安装框架，所述驱动轴的数量为2个，2个所述驱动轴设置在所述输送支架的两侧，其中一所述驱动轴与所述输送电机传动连接，2个所述驱动轴之间连接有输送带；
[0005]所述第一屏蔽门和所述第二屏蔽门均连接在所述安装框架上，所述第一屏蔽门和所述第二屏蔽门之间形成有隔离区间，所述输送带至少部分伸入所述隔离区间，其中一所述驱动轴位于所述隔离区间中。
[0006]进一步地，所述安装框架上连接有第一提升电机，所述第一提升电机连接有第一提升齿轮，所述第一提升齿轮与连接在所述第一屏蔽门一侧的第一提升齿条连接。
[0007]进一步地，所述安装框架上连接有第二提升电机，所述第二提升电机连接有第二提升齿轮，所述第二提升齿轮与连接在所述第二屏蔽门一侧的第二提升齿条连接。
[0008]进一步地，所述上料小车包括小车本体，所述小车本体上连接有对称设置在隔板，在所述隔板的下侧可转动的连接有导向辊，所述导向辊的两端分别连接在不同的所述隔板上，所述导向辊的最高高度高于所述输送带的高度。
[0009]进一步地，所述输送电机连接在所述输送支架远离所述安装框架的一侧，所述输送电机的输出轴上连接有主动轮，所述主动轮与连接在所述驱动轴上的从动轮通过皮带传动连接。
[0010]进一步地，所述安装框架上连接有电机安装板，所述输送电机连接在所述电机安装板上，所述电机安装板上还连接有保护罩，所述输送电机和所述主动轮均位于所述保护罩中。
[0011]进一步地，所述第一屏蔽门两侧设置有对第一屏蔽门进行导向的第一导向导轨，所述第一导向导轨连接在安装框架上。
[0012]进一步地，所述第二屏蔽门两侧设置有对第二屏蔽门进行导向的第二导向导轨，所述第二导向导轨连接在所述安装框架上。
[0013]本技术的有益之处在于：第一屏蔽门和第二屏蔽门均连接在安装框架上，第一屏蔽门和第二屏蔽门之间形成有隔离区间，输送带至少部分伸入隔离区间，其中一驱动轴位于所述隔离区间中，在晶圆料盒上料过程中，首先打开第一屏蔽门，将晶圆料盒输送到隔离区间中，然后关闭第一屏蔽门，之后打开第二屏蔽门，将晶圆料盒输送到对应的存储空间中，整个上料流程第一屏蔽门和第二屏蔽门不同时打开，能够显著减少氮气在晶圆料盒上料过程中的泄露，进而保持晶圆存储环境的稳定性。
[0014]为让本技术的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1是晶圆料盒存储柜用上料装置的整体结构示意图。
[0017]图2是主动轮的安装结构示意图。
[0018]图3是隔离区间的位置示意图。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]在本技术一较佳实施例中的一种晶圆料盒存储柜用上料装置，包括上料小车1和垂直上料组件2，所述上料小车1设置在所述垂直上料组件2的一侧，所述垂直上料组件2包括输送支架21、驱动轴22、输送电机23、第一屏蔽门24、第二屏蔽门25和安装框架26，所述驱动轴22的数量为2个，2个所述驱动轴22设置在所述输送支架21的两侧，其中一所述驱动轴22与所述输送电机23传动连接，2个所述驱动轴22之间连接有输送带27；
[0021]所述第一屏蔽门24和所述第二屏蔽门25均连接在所述安装框架26上，所述第一屏蔽门24和所述第二屏蔽门25之间形成有隔离区间28，所述输送带27至少部分伸入所述隔离区间28，其中一所述驱动轴22位于所述隔离区间28中。第一屏蔽门24和第二屏蔽门25均连接在安装框架26上，第一屏蔽门24和第二屏蔽门25之间形成有隔离区间28，输送带27至少部分伸入隔离区间28，其中一驱动轴22位于所述隔离区间28中，在晶圆料盒上料过程中，首先打开第一屏蔽门24，将晶圆料盒输送到隔离区间28中，然后关闭第一屏蔽门24，之后打开第二屏蔽门25，将晶圆料盒输送到对应的存储空间中，整个上料流程第一屏蔽门24和第二屏蔽门25不同时打开，能够显著减少氮气在晶圆料盒上料过程中的泄露，进而保持晶圆存储环境的稳定性。
[0022]在上述实施例中，所述安装框架26上连接有第一提升电机241，所述第一提升电机241连接有第一提升齿轮242，所述第一提升齿轮242与连接在所述第一屏蔽门24一侧的第一提升齿条243连接。
[0023]在上述实施例中，所述安装框架26上连接有第二提升电机251，所述第二提升电机251连接有第二提升齿轮252，所述第二提升齿轮252与连接在所述第二屏蔽门25一侧的第二提升齿条253连接。
[0024]在上述实施例中，所述上料小车1包括小车本体11，所述小车本体11上连接有对称设置在隔板12，在所述隔板12的下侧可转动的连接有导向辊13，所述导向辊13的两端分别连接在不同的所述隔板12上，所述导向辊13的最高高度高于所述输送带27的高度。
[0025]在上述实施例中，所述输送电机23连接在所述输送支架21远离所述安装框架26的一侧，所述输送电机23的输出轴上连接有主动轮231，所述主动轮231与连接在所述驱动轴22上的从动轮232通过皮带233传动连接。
[0026]在上述实施例中，所述安装框架26上连接有电机安装板261，所述输送电机23连接在所述电机安装板261上，所述电机安装板261上还连接有保护罩262，所述输送电机23和所述主动轮2本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆料盒存储柜用上料装置，其特征在于：包括上料小车和垂直上料组件，所述上料小车设置在所述垂直上料组件的一侧，所述垂直上料组件包括输送支架、驱动轴、输送电机、第一屏蔽门、第二屏蔽门和安装框架，所述驱动轴的数量为2个，2个所述驱动轴设置在所述输送支架的两侧，其中一所述驱动轴与所述输送电机传动连接，2个所述驱动轴之间连接有输送带；所述第一屏蔽门和所述第二屏蔽门均连接在所述安装框架上，所述第一屏蔽门和所述第二屏蔽门之间形成有隔离区间，所述输送带至少部分伸入所述隔离区间，其中一所述驱动轴位于所述隔离区间中。2.根据权利要求1所述的晶圆料盒存储柜用上料装置，其特征在于：所述安装框架上连接有第一提升电机，所述第一提升电机连接有第一提升齿轮，所述第一提升齿轮与连接在所述第一屏蔽门一侧的第一提升齿条连接。3.根据权利要求1所述的晶圆料盒存储柜用上料装置，其特征在于：所述安装框架上连接有第二提升电机，所述第二提升电机连接有第二提升齿轮，所述第二提升齿轮与连接在所述第二屏蔽门一侧的第二提升齿条连接。4.根据权利要求1所述的晶圆料盒存储柜用上料装...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄益民，朱跃刚，
申请(专利权)人：唯实先端智能科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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