一种镀膜频率散差改善结构制造技术

本实用新型专利技术提出一种镀膜频率散差改善结构，包括夹具主框架，夹具主框架一端的两侧内壁的导肋条配合导向滑接有移动支撑架，移动支撑架以及夹具主框架远离移动支撑架的一侧支杆内壁均设有一对拉杆耳座，拉杆耳座连接有拉杆，且拉杆的另一端连接有扣接头，扣接头连接于镀膜治具所开设的安装孔上。本实用新型专利技术对镀膜治具固定时，先将扣接头连接于镀膜治具所开设的安装孔上，调节移动支撑架沿导肋条进行滑行，从而使拉杆对扣接头进行牵引，使得镀膜治具上所连接的扣接头的两侧相外侧牵引，从而达到对镀膜治具的固定，该固定结构不影响镀膜治具的镀膜表面，进而溅射过程能够均匀覆盖从而减小频率散差提升后站刻蚀时间降低不良的产生。生。生。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜频率散差改善结构


[0001]本技术涉及镀膜治具
，尤其涉及一种镀膜频率散差改善结构。

技术介绍

[0002]产线排片站生产过程发现镀膜后散差较大，经后站微调调试后会出现一定比例散差及不良，跟踪现场作业及抽测数据显示载条挡臂边缘FL值偏高中心部分偏低，判断为固定镀膜治具的夹具载条遮挡溅镀面积不均匀导致频率散差大小不一。

技术实现思路

[0003]为了解决上述问题，本技术提出一种镀膜频率散差改善结构，以更加确切地解决上述所述问题。
[0004]本技术通过以下技术方案实现的：
[0005]本技术提出一种镀膜频率散差改善结构，包括夹具主框架，所述夹具主框架为方框型支架，夹具主框架一端的两侧内壁均设有导肋条，且两道导肋条配合导向滑接有移动支撑架，所述移动支撑架以及夹具主框架远离移动支撑架的一侧支杆内壁均设有一对拉杆耳座，拉杆耳座连接有拉杆，且拉杆的另一端连接有扣接头，所述镀膜治具上开设有安装孔，且扣接头连接于镀膜治具所开设的安装孔上。
[0006]进一步的，所述夹具主框架靠近导肋条的一侧支杆上螺接有一根丝杆，丝杆的轴向与导肋条的导向一致，移动支撑架的中部一体成型有转接座，且丝杆的内端与转接座相转接，丝杆的外端设有手柄。
[0007]进一步的，所述扣接头包括扣接头基座，扣接头基座的侧端设有拉杆耳座，扣接头基座的拉杆耳座与夹具主框架支杆内侧的拉杆耳座通过呈“匚”型的拉杆连接。
[0008]进一步的，所述扣接头基座的端部设有孔销，且孔销沿镀膜治具所开设的安装孔穿插，所述孔销外部套设有销套，且销套与镀膜治具所开设安装孔的孔径相配适。
[0009]进一步的，所述扣接头基座靠近孔销的一侧设有滑块卡槽，滑块卡槽中配合滑接有顶块，所述顶块的顶头为圆弧形顶头。
[0010]进一步的，顶块的内端与滑块卡槽之间连接有压力弹簧，压力弹簧的外表面设有防滑摩擦纹路。
[0011]本技术的有益效果：
[0012]1、本技术对镀膜治具固定时，先将扣接头连接于镀膜治具所开设的安装孔上，再通过对手柄进行扳转，调节移动支撑架沿导肋条进行滑行，从而使拉杆对扣接头进行牵引，使得镀膜治具上所连接的扣接头的两侧相外侧牵引，从而达到对镀膜治具的固定，该固定结构不影响镀膜治具的镀膜表面，进而溅射过程能够均匀覆盖从而减小频率散差提升后站刻蚀时间降低不良的产生；
[0013]2、本技术在扣接头与镀膜治具的连接过程中，先通过孔销穿插于镀膜治具所开设的安装孔中，且顶块在压力弹簧的作用下，对镀膜治具的侧边进行抵触，达到扣接头与
镀膜治具连接时的初固定，对扣接头与镀膜治具之间的连接固定方式简单且便捷。
附图说明
[0014]图1为本技术的立体结构示意图；
[0015]图2为图其中A处的放大图；
[0016]图3为本技术结构的正视图；
[0017]图4为图3中B
‑
B处的剖视图。
[0018]图中：1、夹具主框架；101、导肋条；102、移动支撑架；1021、转接座；103、丝杆；1031、手柄；2、镀膜治具；201、安装孔；3、拉杆；4、拉杆耳座；5、扣接头；501、扣接头基座；502、孔销；503、销套；504、顶块；505、压力弹簧。
具体实施方式
[0019]为了更加清楚完整的说明本技术的技术方案，下面结合附图对本技术作进一步说明。
[0020]请参考图1
‑
图4，本技术提出一种镀膜频率散差改善结构，包括夹具主框架1，夹具主框架1为方框型支架，夹具主框架1一端的两侧内壁均设有导肋条101，且两道导肋条101配合导向滑接有移动支撑架102，移动支撑架102以及夹具主框架1远离移动支撑架102的一侧支杆内壁均设有一对拉杆耳座4，拉杆耳座4连接有拉杆3，且拉杆3的另一端连接有扣接头5，镀膜治具2上开设有安装孔201，夹具主框架1靠近导肋条101的一侧支杆上螺接有一根丝杆103，丝杆103的轴向与导肋条101的导向一致，移动支撑架102的中部一体成型有转接座1021，且丝杆103的内端与转接座1021相转接，丝杆103的外端设有手柄1031，对镀膜治具2固定时，先将扣接头5连接于镀膜治具2所开设的安装孔201上，再通过对手柄1031进行扳转，调节移动支撑架102沿导肋条101进行滑行，从而使拉杆3对扣接头5进行牵引，使得镀膜治具2上所连接的扣接头5的两侧相外侧牵引，从而达到对镀膜治具2的固定。
[0021]扣接头5包括扣接头基座501，扣接头基座501的侧端设有拉杆耳座4，扣接头基座501的拉杆耳座4与夹具主框架1支杆内侧的拉杆耳座4通过呈“匚”型的拉杆3连接，方便根据镀膜治具2的尺寸，对拉杆3进行更换长度。
[0022]结合图2和图4所示，扣接头基座501的端部设有孔销502，且孔销502沿镀膜治具2所开设的安装孔201穿插，扣接头5与镀膜治具2的连接方式简单快捷，孔销502外部套设有销套503，且销套503与镀膜治具2所开设安装孔201的孔径相配适，避免孔销502对镀膜治具2的牵引过程中，孔销502与安装孔201由于尺寸不对应而导致安装孔201损坏。
[0023]结合图2和图4所示，扣接头基座501靠近孔销502的一侧设有滑块卡槽，滑块卡槽中配合滑接有顶块504，顶块504的顶头为圆弧形顶头，顶块504的内端与滑块卡槽之间连接有压力弹簧505，在扣接头5与镀膜治具2的连接过程中，先通过孔销502穿插于镀膜治具2所开设的安装孔201中，且顶块504在压力弹簧505的作用下，对镀膜治具2的侧边进行抵触，达到扣接头5与镀膜治具2连接时的初固定，压力弹簧505的外表面设有防滑摩擦纹路，方便对压力弹簧505进行拨动，脱离对镀膜治具2侧边的抵触，进而可将孔销502从安装孔201脱离出。
[0024]工作原理：本技术对镀膜治具2固定时，先将扣接头5连接于镀膜治具2所开设
的安装孔201上，再通过对手柄1031进行扳转，调节移动支撑架102沿导肋条101进行滑行，从而使拉杆3对扣接头5进行牵引，使得镀膜治具2上所连接的扣接头5的两侧相外侧牵引，从而达到对镀膜治具2的固定，该固定结构不影响镀膜治具2的镀膜表面，进而溅射过程能够均匀覆盖从而减小频率散差提升后站刻蚀时间降低不良的产生；
[0025]本技术在扣接头5与镀膜治具2的连接过程中，先通过孔销502穿插于镀膜治具2所开设的安装孔201中，且顶块504在压力弹簧505的作用下，对镀膜治具2的侧边进行抵触，达到扣接头5与镀膜治具2连接时的初固定，对扣接头5与镀膜治具2之间的连接固定方式简单且便捷。
[0026]当然，本技术还可有其它多种实施方式，基于本实施方式，本领域的普通技术人员在没有做出任何创造性劳动的前提下所获得其他实施方式，都属于本技术所保护的范围。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜频率散差改善结构，包括夹具主框架（1）和镀膜治具（2），其特征在于，所述夹具主框架（1）为方框型支架，夹具主框架（1）一端的两侧内壁均设有导肋条（101），且两道导肋条（101）配合导向滑接有移动支撑架（102），所述移动支撑架（102）以及夹具主框架（1）远离移动支撑架（102）的一侧支杆内壁均设有一对拉杆耳座（4），拉杆耳座（4）连接有拉杆（3），且拉杆（3）的另一端连接有扣接头（5），镀膜治具（2）上开设有安装孔（201），且扣接头（5）连接于镀膜治具（2）所开设的安装孔（201）上。2.根据权利要求1所述的一种镀膜频率散差改善结构，其特征在于，所述夹具主框架（1）靠近导肋条（101）的一侧支杆上螺接有一根丝杆（103），丝杆（103）的轴向与导肋条（101）的导向一致，移动支撑架（102）的中部一体成型有转接座（1021），且丝杆（103）的内端与转接座（1021）相转接，丝杆（103）的外端设有手柄（1031）。3.根据权利要求1所述的一种镀膜频率散...

【专利技术属性】
技术研发人员：王旭亮，
申请(专利权)人：江苏浩都频率科技有限公司，
类型：新型
国别省市：