一种适用于晶圆外观检查的翻转装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种适用于晶圆外观检查的翻转装置，包括机架，所述机架内设置有用于检查产品上侧面的第一翻转机构，所述机架内设置有用于检查产品下侧面的第二翻转机构，所述第二翻转机构邻近于第一翻转机构的一侧，同时所述第二翻转机构的翻转组件与第一翻转机构的翻转组件在同一轴线设置，所述机架的顶端上设置有用于对产品检查用的照明光源，所述机架的侧面上开设有用于检查产品的可视窗口。本实用新型专利技术能实现对产品全方位的检查，从而确保产品的质量。品的质量。品的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于晶圆外观检查的翻转装置


[0001]本技术涉及一种适用于晶圆外观检查的翻转装置。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在晶圆上电镀一层导电金属，并对导电金属层进行加工以制成导电线路。在半导体行业自动化制程中，经常需要让晶圆绕着其中心进行上下翻转，来对晶圆进行检测。
[0003]经检索，专利：一种晶圆类产品电镀上下料设备(202121488353.2)，包括工作台、晶圆盒装载装置、晶圆机器人、晶圆校准器、翻转机械手、安装拆卸机构、电镀挂具以及晶圆治具；晶圆机器人、晶圆校准器、翻转机械手以及安装拆卸机构均设于工作台上，电镀挂具则设在安装拆卸机构上；晶圆盒装载装置、晶圆校准器和翻转机械手处于晶圆机器人的晶圆取料手臂的操作范围内；安装拆卸机构处于翻转机械手的操作范围内，在上料操作时，将晶圆类产品连同晶圆治具锁附在电镀挂具上，并在下料操作时，将晶圆类产品连同圆治具从电镀挂具上解锁并取下。上述的专利，翻转机械手只是针对产品(晶圆)翻转，不能对做到对产品全方位的检查，可能会导致产品质量的问题。
[0004]有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的适用于晶圆外观检查的翻转装置，使其更具有产业上的利用价值。

技术实现思路

[0005]为解决上述技术问题，本技术的目的是提供一种适用于晶圆外观检查的翻转装置。
[0006]为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：
[0007]一种适用于晶圆外观检查的翻转装置，包括机架，所述机架内设置有用于检查产品上侧面的第一翻转机构，所述机架内设置有用于检查产品下侧面的第二翻转机构，所述第二翻转机构邻近于第一翻转机构的一侧，同时所述第二翻转机构的翻转组件与第一翻转机构的翻转组件在同一轴线设置，所述机架的顶端上设置有用于对产品检查用的照明光源，所述机架的侧面上开设有用于检查产品的可视窗口。
[0008]优选地，所述的一种适用于晶圆外观检查的翻转装置，所述第一翻转机构包括翻转固定板，所述翻转固定板竖直安装于机架内，所述翻转固定板上通过第一带座轴承连接有丝杆，所述丝杆的连接有滑动的滑块，所述滑块上连接有水平放置的第一支撑板，所述翻转固定板上连接有第一驱动电机，所述第一驱动电机的驱动轴与丝杆相驱动连接，所述第一支撑板上连接有竖直放置的第二支撑板，所述第二支撑板的下侧上连接有电第一电机支架，所述第一电机支架上连接有第二驱动电机，所述第二驱动电机的驱动轴穿过第二支撑板与主动轮相驱动连接，与所述第二支撑板同一面上连接有传动轴，所述传动轴的一端上连接有从动轮，所述从动轮和主动轮通过第一同步带相同步连接，所述传动轴的另一端穿过第二支撑板与旋转支撑板相同步旋转连接，所述旋转支撑板呈Y型结构，所述旋转支撑板
的一侧通过第二电机支架连接有第三驱动装置，所述第三驱动装置的驱动轴与通过旋转轴承穿接在旋转支撑板上的旋转传动轴相驱动连接，所述旋转传动轴上连接有随旋转传动轴同步旋转的旋转块，所述旋转块上穿接有旋转杆，所述旋转杆的下端与第四驱动电机相连，所述旋转杆的顶端上连接有随旋转杆同步旋转的第一吸盘。
[0009]优选地，所述的一种适用于晶圆外观检查的翻转装置，所述翻转固定板上连接有辅助导轨，它们分设在丝杆的左右两侧，所述辅助导轨上连接有辅助滑块，第一支撑板通过辅助滑块连接在辅助导轨上。
[0010]优选地，所述的一种适用于晶圆外观检查的翻转装置，所述旋转支撑板上连接有辅助导向板，所述辅助导向板上开设有导向滑槽，所述旋转块上连接有在导向滑槽内滑动的导向杆。
[0011]优选地，所述的一种适用于晶圆外观检查的翻转装置，所述导向滑槽呈弧形结构，其弧度在
‑
90
°
至90
°
。
[0012]优选地，所述的一种适用于晶圆外观检查的翻转装置，所第二翻转机构包括翻转固定支撑板，所述翻转固定支撑板上连接有相对的第二带座轴承，相对的所述底座轴承之间连接有升降丝杆，所述升降丝杆上套装有滑动的滑套块，所述翻转固定支撑板的一侧连接有第五驱动电机，所述第五驱动电机的驱动轴通过联轴器与升降丝杆相驱动连接，所述滑套块上连接有随滑套块同步移动的电机固定支撑板，所述电机固定支撑板的上端和下端分别连接有带座的第一转轴和第二转轴，所述第一转轴和第二转轴上分别连接有第一同步轮和第二同步轮，在第一同步乱和第二同步轮之间套装有第二同步带，所述电机固定支撑板上连接有第六驱动电机，所述第六驱动电机的驱动轴通过联轴器与第二转轴相驱动连接，所述第一转轴的一端穿过电机固定支撑板与用于吸附产品的连接吸杆组件相同步旋转连接。
[0013]优选地，所述的一种适用于晶圆外观检查的翻转装置，所述连接吸杆组件包括连接杆和吸盘连接块，所述连接杆通过连接件与第一转轴相同步连接，所述连接杆呈半圆结构，在半圆结构的所述连接杆上连接有若干吸盘连接块，若干所述吸盘连接块之间呈90度间隔分布，所述吸盘连接块上连接有第二吸盘。
[0014]优选地，所述的一种适用于晶圆外观检查的翻转装置，连接杆和吸盘连接块为一体结构。
[0015]优选地，所述的一种适用于晶圆外观检查的翻转装置，所述第五驱动电机和第六驱动电机均为伺服电机
[0016]优选地，所述的一种适用于晶圆外观检查的翻转装置，所述第一驱动电机、第二驱动电机、第三驱动电机和第四驱动电机均为伺服电机。
[0017]借由上述方案，本技术至少具有以下优点：
[0018]本技术能实现对产品(晶圆)全方位的检查，提高产品的质量，到达降低成本的目的。本技术的检查机构为自动机构，方便操作。
[0019]上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0021]图1是本技术的结构示意图；
[0022]图2是本技术的第一翻转机构的结构示意图；
[0023]图3是图2的另一视角的结构示意图；
[0024]图4是本技术的第二翻转机构的结构示意图。
具体实施方式
[0025]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0026]因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于晶圆外观检查的翻转装置，其特征在于：包括机架(1)，所述机架(1)内设置有用于检查产品上侧面的第一翻转机构(2)，所述机架(1)内设置有用于检查产品下侧面的第二翻转机构(3)，所述第二翻转机构(3)邻近于第一翻转机构(2)的一侧，同时所述第二翻转机构(3)的翻转组件与第一翻转机构(2)的翻转组件在同一轴线设置，所述机架(1)的顶端上设置有用于对产品检查用的照明光源(4)，所述机架(1)的侧面上开设有用于检查产品的可视窗口(5)。2.根据权利要求1所述的一种适用于晶圆外观检查的翻转装置，其特征在于：所述第一翻转机构(2)包括翻转固定板(21)，所述翻转固定板(21)竖直安装于机架(1)内，所述翻转固定板(21)上通过第一带座轴承连接有丝杆(22)，所述丝杆(22)的连接有滑动的滑块(23)，所述滑块(23)上连接有水平放置的第一支撑板(24)，所述翻转固定板(21)上连接有第一驱动电机(25)，所述第一驱动电机(25)的驱动轴与丝杆(22)相驱动连接，所述第一支撑板(24)上连接有竖直放置的第二支撑板(27)，所述第二支撑板(27)的下侧上连接有电第一电机支架，所述第一电机支架上连接有第二驱动电机(28)，所述第二驱动电机(28)的驱动轴穿过第二支撑板(27)与主动轮(29)相驱动连接，与所述第二支撑板(27)同一面上连接有传动轴，所述传动轴的一端上连接有从动轮(210)，所述从动轮和主动轮通过第一同步带(211)相同步连接，所述传动轴的另一端穿过第二支撑板与旋转支撑板(212)相同步旋转连接，所述旋转支撑板(212)呈Y型结构，所述旋转支撑板(212)的一侧通过第二电机支架连接有第三驱动装置(213)，所述第三驱动装置(213)的驱动轴与通过旋转轴承穿接在旋转支撑板(212)上的旋转传动轴(214)相驱动连接，所述旋转传动轴(214)上连接有随旋转传动轴同步旋转的旋转块(215)，所述旋转块(215)上穿接有旋转杆(216)，所述旋转杆(216)的下端与第四驱动电机(217)相连，所述旋转杆(216)的顶端上连接有随旋转杆同步旋转的第一吸盘(218)。3.根据权利要求2所述的一种适用于晶圆外观检查的翻转装置，其特征在于：所述翻转固定板(21)上连接有辅助导轨(26)，它们分设在丝杆(22)的左右两侧，所述辅助导轨(26)上连接有辅助滑块，第一支撑板(24)通过辅助滑块连接在辅助导轨(26)上。4.根据权利要求2所述的一种适用于晶...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾阳洋，林坚，卢伟，沈东民，章健，
申请(专利权)人：泓浒苏州半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：