设备对接结构及划片机制造技术

本实用新型专利技术揭示了设备对接结构及划片机，其中设备对接结构使两侧板之间的间距大于凸块的宽度，凸块和两个所述侧板之间在第一方向X上具有一定的调整空间，因此即使两个设备上的用来连接对接件的螺孔在第一方向上存在错位，也可以通过所述第一连接块、第一对接块和第二对接块进行顺利的连接。同时，由于所述第一对接块可以相对所述第二对接块沿纵向Z移动来调节位置，从而，当两个需要对接的第一设备、第二设备上的螺孔在Z轴方向上存在高度差时，本实用新型专利技术的结构仍然可以通过调整所述第一对接块的高度从而实现第一对接块与第一连接块的有效连接，适应性更好，可调性更佳。可调性更佳。可调性更佳。

【技术实现步骤摘要】
设备对接结构及划片机


[0001]本技术涉及半导体加工设备领域，尤其是设备对接结构及划片机。

技术介绍

[0002]划片机是切割晶圆、硅片、玻璃、陶瓷等材料的装置，随着半导体设备向高精度化与高集成化方向发展。划片机设备经常会遇到需要与上下游加工机拼接以扩展功能和提供设备集成化和自动化。在现有的对接结构中，通常会在两个需要对接的设备上开螺孔，然后通过L形的角码及螺栓来使实现两个设备的对接。采用角码连接时，两个设备上用于连接角码的螺孔的位置需要保持足够的位置精度才能实现稳定的连接，但是设备上的螺孔的加工往往是分开进行的，常常会存在一定的误差，导致无法通过常规的角码实现连接。

技术实现思路

[0003]本技术的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题，提供一种设备对接结构及划片机。
[0004]本技术的目的通过以下技术方案来实现：
[0005]设备对接结构，包括第一连接块、第一对接块及第二对接块，所述第一连接块包括第一主板以及所述第一主板上设置的、向所述第一对接块凸起的凸块，所述第一主板上形成有位于所述凸块两侧的第一连接孔，所述第一对接块包括第二主板以及设置在所述第二主板上的两个侧板，两个所述侧板之间的间距大于所述凸块在第一方向X上的延伸长度且两侧板上分别设置与所述凸块相对的固定螺孔，所述第一对接块与所述第二对接块可拆卸地连接，所述侧板上设置有与所述第二主板垂直的第三连接孔，所述第二对接块上设置有与所述第三连接孔对应的第一腰形孔，所述第一腰形孔沿纵向Z延伸。
[0006]优选的，所述设备对接结构中，所述第一主板背向所述第一对接块的一侧连接转接板，所述转接板上设置有与所述第一连接孔一一对应的第二连接孔。
[0007]优选的，所述设备对接结构中，所述第二主板上设置有位于两个所述侧板之间的第二腰形孔，所述第二腰形孔及第一腰形孔的延伸方向垂直，所述第二对接块上设置有与所述第二腰形孔对应的方孔；所述凸块上设置有与所述第二腰形孔对应的紧固螺孔。
[0008]优选的，所述设备对接结构中，所述第二主板上还设置有与所述方孔对应的第四连接孔。
[0009]优选的，所述设备对接结构中，每个所述侧板上设置至少两个沿纵向Z分布的所述固定螺孔。
[0010]优选的，所述设备对接结构中，所述侧板上间隙设置至少两个所述第三连接孔，所述第三连接孔沿纵向Z分布。
[0011]优选的，所述设备对接结构中，所述第二对接块为L形，所述第一腰形孔及方孔设置在所述第二对接块的第一部分，所述第二对接块的第二部分设置有第五连接孔。
[0012]优选的，所述设备对接结构中，所述第五连接孔沿第二方向延伸一定长度，所述第
二方向垂直于第一方向和纵向。
[0013]划片机，包括如上所述的设备对接结构。
[0014]本技术技术方案的优点主要体现在：
[0015]本技术使两侧板之间的间距大于凸块的宽度，凸块和两个所述侧板之间在第一方向X上具有一定的调整空间，因此即使两个设备上的用来连接对接件的螺孔在第一方向上存在错位，也可以通过所述第一连接块、第一对接块和第二对接块进行顺利的连接。同时，由于所述第一对接块可以相对所述第二对接块沿纵向Z移动来调节位置，当两个需要对接的第一设备、第二设备上的螺孔在Z轴方向上存在高度差时，本技术的结构仍然可以通过调整所述第一对接块的高度从而实现第一对接块与第一连接块的有效连接，适应性更好，可调性更佳。
[0016]本技术的第一连接块通过转接板连接设备，能够在一定程度上弥补两个设备之间的用于对接的螺孔在第二方向Y上的位置差，从而保证稳定地连接。
[0017]本技术的第二对接块上设置方孔，第一对接块上设置第二腰形孔，凸块上设置紧固螺孔，可以通过螺栓将所述第一对接块和第一连接块充分连接，方孔与第二腰形孔配合能够有效适应所述第一对接块的位置调整后的连接需要，同时，第二对接块采用L形结构，这样便于第一对接块与第一连接孔的连接操作。
[0018]固定螺孔为多个且它们的间距小于凸块的高度，这样可以保证无论凸块调整到什么高度，只要其在两个侧板围合的区域内，都能够有效地通过螺栓顶死。
附图说明
[0019]图1是本技术的设备对接结构的分解图；
[0020]图2是本技术的设备对接结构的组装立体图；
[0021]图3是本技术的设备对接结构连接两个设备的局部示意图。
具体实施方式
[0022]本技术的目的、优点和特点，将通过下面优选实施例的非限制性说明进行图示和解释。这些实施例仅是应用本技术技术方案的典型范例，凡采取等同替换或者等效变换而形成的技术方案，均落在本技术要求保护的范围之内。
[0023]在方案的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。并且，在方案的描述中，以操作人员为参照，靠近操作者的方向为近端，远离操作者的方向为远端。
[0024]下面结合附图对本技术揭示的设备对接结构进行阐述，如附图1、附图2所示，其包括第一连接块100、第一对接块200及第二对接块300，所述第一连接块100包括第一主板101以及所述第一主板101上设置的、向所述第一对接块200凸起的凸块102，所述第一主板101上形成有位于所述凸块102两侧的第一连接孔103，所述第一对接块200包括第二主板201以及设置在所述第二主板201上的两个侧板202，两个所述侧板202之间的间距大于所述
凸块102在第一方向X上的延伸长度且两侧板202上分别设置与所述凸块102相对的固定螺孔203，所述第一对接块200与所述第二对接块300可拆卸地连接，所述侧板202上设置有与所述第二主板201垂直的第三连接孔204，所述第二对接块300上设置有与所述第三连接孔204对应的第一腰形孔301，所述第一腰形孔301沿纵向Z延伸。
[0025]如附图1，这种结构使两侧板202之间的间距大于凸块102的宽度W，所述凸块102和两个所述侧板202之间在第一方向X上具有一定的调整空间，因此即使两个设备上的用来连接对接件的螺孔在第一方向上存在错位，也可以通过所述第一连接块100、第一对接块和第二对接块进行顺利的连接。具体操作时，如附图3所示，先将所述第一连接块100通过第一连接孔103固定到第一设备500上的螺孔处，接着，将所述第一对接块200和第二对接块300固定在第二设备600上的螺孔处，并使所述凸块102位于两个侧板202之间，此时，可以通过螺接在所述固定螺孔203中的螺栓将所述凸块102顶死，从而实现第一连接块100和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.设备对接结构，其特征在于：包括第一连接块、第一对接块及第二对接块，所述第一连接块包括第一主板以及所述第一主板上设置的、向所述第一对接块凸起的凸块，所述第一主板上形成有位于所述凸块两侧的第一连接孔，所述第一对接块包括第二主板以及设置在所述第二主板上的两个侧板，两个所述侧板之间的间距大于所述凸块在第一方向X上的延伸长度且两侧板上分别设置与所述凸块相对的固定螺孔，所述第一对接块与所述第二对接块可拆卸地连接，所述侧板上设置有与所述第二主板垂直的第三连接孔，所述第二对接块上设置有与所述第三连接孔对应的第一腰形孔，所述第一腰形孔沿纵向Z延伸。2.根据权利要求1所述的设备对接结构，其特征在于：所述第一主板背向所述第一对接块的一侧连接转接板，所述转接板上设置有与所述第一连接孔一一对应的第二连接孔。3.根据权利要求1所述的设备对接结构，其特征在于：所述第二主板上设置有位于两个所述侧板之间的第二腰形孔，所述第二腰形孔及第一腰形孔的延伸方向垂直，所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘亚杰，于光明，孙志超，胡小波，
申请(专利权)人：江苏京创先进电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：