一种叉指换能器及制备方法技术

本发明专利技术涉及一种叉指换能器及制备方法,其特征在于:在压电基片为127.8

【技术实现步骤摘要】
一种叉指换能器及制备方法


[0001]本专利技术涉及到一种叉指换能器及制备方法。

技术介绍

[0002]叉指式换能器，是声表面波(SAW)器件重要零件之一。声表面波器件在电子通讯系统中得到了广泛应用,如滤波器、高频振荡器、卷积器、延迟线、相关器等，以及在多个领域广泛应用。叉指式换能器，其设计尺寸和制备技术，成为影响其性能参数的关键技术。
[0003]文献检索和专利检索结果，目前国内还没有关于在127.8
°
YX型铌酸锂（LiNbO3）表面，采用过度显影的剥离工艺、结合溅射纯度99.999%纯铝层制成叉指换能器的相关文献报导。

技术实现思路

[0004]本专利技术是一种应用于气体压力测试方面的叉指换能器及制备方法。本专利技术的任务是提供一种叉指换能器及制备方法, 本专利技术的任务是通过如下技术方案来实现的:在压电基片为127.8
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YX型铌酸锂（LiNbO3）的表面，采用旋涂厚度为16～18μm的光刻胶并前烘；采用掩膜进行UV曝光，曝光时间165s～175s；显影275s～285s去胶并后烘5min；利用磁控溅射工艺制备纯度为99.999%纯铝且厚度1μm
±
0.03μm的纯铝层；去胶液剥离并烘干，制成叉指换能器。
[0005]所述的一种叉指换能器及制备方法，其特征在于：在压电基片为127.8
°
YX型铌酸锂（LiNbO3）表面，采用旋涂厚度为17μm的光刻胶并前烘；采用掩膜进行UV曝光，曝光时间170s；显影280s去胶并后烘5min；利用磁控溅射工艺制备纯度为99.999%纯铝且厚度1μm
±
0.03μm的纯铝层；去胶液剥离并烘干，制成叉指换能器。
[0006]本专利技术者经过研究发现，在127.8
°
YX型铌酸锂（LiNbO3）表面，采用过度显影的剥离工艺、结合溅射上高纯铝（纯度99.999%），可以保证溅射过程中形成上窄下宽的倒梯形图形，从而形成台阶覆盖，使得溅射得到的铝膜在台阶处有断裂，剥离液容易渗透到光刻胶，完成顺利的剥离；具有极好的测量气体压力等性能，同时具有良好的工作可靠性，可极大提升气体压力检测器件的工作可靠性，因此，研发新型的叉指换能器及制备方法，具有重要的应用价值和实用意义。
[0007]与现有技术比较，本专利技术的一种叉指换能器及制备方法的相关技术有重大改进：
①
中国专利:一种声表面波固态电场传感器CN202010332523.1，提供了一种声表面波固态电场传感器,包括声表面波延迟线和敏感电极,声表面波延迟线包括衬底、压电元件、叉指换能器和感测区反射栅；压电元件布置于衬底上表面；敏感电极布置在压电元件上表面形成感测区,压电元件上表面还制备有叉指换能器和感测区反射栅,叉指换能器和感测区反射栅相对设置在感测区的两侧,叉指换能器的电端口通过阻抗网络连接到天线等，与本专利技术的内容明显不同。
②
中国专利:一种快速精确测量叉指换能器指条宽度、周期、金属化比的方法及系统CN202110562704.8，涉及一种快速精确测量叉指换能器指条宽度、周期、金属
化比的方法及系统,其方法包括步骤：S1、输入带比例尺的叉指换能器图像；S2、根据比例尺获取单个像素点实际距离；S3、进行叉指换能器图像预处理；S4、识别多个叉指换能器尺寸并取均值,获取叉指换能器尺寸值、周期与金属化比；有效地进行了叉指换能器图像比例尺的完整提取以及叉指换能器边缘的良好检测,实现了叉指换能器尺寸的快速准确测量等内容，与本专利技术的内容明显不同。
③
中国专利:一种叉指换能器、声表面波谐振器以及制备方法 CN202210643496.9，提供了一种叉指换能器、声表面波谐振器以及制备方法,该叉指换能器通过变迹或加权或变迹与加权结合的方式形成了结构,该结构可以使得该叉指换能器中声波传播的方向与能量流动的方向尽可能接近,即可以使该叉指换能器的能流角无限接近于零(声波的相速度和群速度方向一致),从而抑制横向模式杂散的产生,进而改善包含该叉指换能器的声表面波谐振器的性能等内容，与本
技术实现思路
明显不同。
④
中国专利:一种体声波滤波器的提升带外抑制的方法及滤波器结构CN113839645B,其主要内容与本
技术实现思路
明显不同。
⑤
中国专利:弹性表面波装置CN1016032B,其主要内容与本
技术实现思路
明显不同。
⑥
中国专利:一种具有减小杂散功能的SAW谐振器CN109787579B，一种分层式电极的声表面波滤波器结构及其制备方法CN111010126A，一种声表滤波器CN209201027U，一种声表面波谐振器CN108011611A，一种声表面波谐振器CN207720099U，一种立体结构增益补偿型SAW器件CN205945673U，一种高灵敏度的双端对谐振式声表面波检测器CN205647458U，上述授权专利的主要内容与本
技术实现思路
明显不同。
⑦
已发表论文:《多层SAW器件叉指换能器错层布局研究》，《基于谐振效应的介电特性测量与表征方法研究》，《一种新型的超声兰姆波换能器》，《基于SAW技术的压力传感器设计研究》，《叉指换能器形状对声表面波气体传感器谐振频率的影响》，《铌酸锂薄膜多层结构中声波性能研究》，《圆形IDT结构声表面波滤波器的设计与实现》，《声表面波叉指换能器的研究与设计》，等，涉及了叉指换能器或制备方法，但都没有涉及在127.8
°
YX型铌酸锂（LiNbO3）表面，采用过度显影的剥离工艺、结合溅射上纯度99.999%高纯铝制备叉指换能器方法。因此，本专利技术的相关技术具有明显重大改进。
[0008]本专利技术的有益效果是，采用本方法制造的叉指换能器，具有良好的测量气体压力等性能，同时具有良好的工作可靠性，可极大提升气体压力检测器件的工作可靠性，使用方便，结构简单，适用性强，且应用成本适宜，适合批量生产的特点。
附图说明
[0009]图1为本专利技术实施例1的叉指换能器的结构示意图。
[0010]附图中，1
‑
压电基片，2
‑
纯铝层。
具体实施方式
[0011]下面结合附图对本专利技术作进一步说明。
[0012]实施例1图1为本专利技术实施例1的叉指换能器的结构示意图。
[0013]附图中，1
‑
压电基片，2
‑
纯铝层。
[0014]在压电基片为127.8
°
YX型铌酸锂（LiNbO3）的表面，采用旋涂厚度为16～18μm的光刻胶并前烘；采用掩膜进行UV曝光，曝光时间165s～175s；显影275s～285s去胶并后烘5min；利用磁控溅射工艺制备纯度为99.999%纯铝且厚度1μm
±
0.03μm的纯铝层；去胶液剥
离并烘干，制成叉指换能器。
[0015]实施例2图1为本专利技术实施例2的叉指换能器的结构示意图。
[0016]附图中，1...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种叉指换能器及制备方法, 其特征在于:在压电基片为127.8
°
YX型铌酸锂（LiNbO3）的表面，采用旋涂厚度为16～18μm的光刻胶并前烘；采用掩膜进行UV曝光，曝光时间165s～175s；显影275s～285s去胶并后烘5min；利用磁控溅射工艺制备纯度为99.999%纯铝且厚度1μm
±
0.03μm的纯铝层；去胶液剥离并烘干，制成叉指...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘威，林逸彬，杨天浩，
申请(专利权)人：潘威，
类型：发明
国别省市：