固态摄像传感器制造技术

技术编号:3611713 阅读:229 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
构造一种固态摄像传感器以致于提供多个线性摄像传感器以使多个线性摄像传感器的每一个中具有至少一行光电二极管并通过把多个线性摄像传感器并排排列来形成光电二极管阵列。在多个线性摄像传感器之间提供用来还原电荷的控制门电极和充当电荷传送电极的多晶硅电极。在多晶硅电极上提供光屏蔽导电膜以把多个线性摄像传感器分隔为单独的线性摄像传感器。因此,能够防止入射在特定的线性摄像传感器上的光束进入与该特定的线性摄像传感器相邻的另一线性摄像传感器,从而减少从不同的线性摄像传感器输出的信号电荷量之间的不同并且抑止拖尾。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种固态摄像传感器,包括: 具有至少一行光电二极管的线性摄像传感器; 形成的光电二极管阵列,以致于所述的线性摄像传感器包括多个线性摄像传感器和把所述的多个线性摄像传感器并排排列; 覆盖所述的光电二极管阵列的绝缘膜;和 形成的光屏蔽导电膜,以在所述绝缘膜的厚度方向穿透所述的绝缘膜并且把所述的多个线性摄像传感器区分为单独的线性摄像传感器,所述的光屏蔽导电膜充当光屏蔽膜。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:二村文章
申请(专利权)人:恩益禧电子股份有限公司
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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