一种光刻掩膜版基版表面检测聚光灯散热灯箱制造技术

本实用新型专利技术公开了一种光刻掩膜版基版表面检测聚光灯散热灯箱，涉及光刻掩膜版技术领域。本实用新型专利技术包括箱体、灯具、进风口和排风口，所述灯具位于箱体内，所述滤光片、进风口和排风口分别位于不同的侧壁上，在所述进风口与排风口位于相对的侧壁上时，所述进风口的轴线与排风口的轴线平行但不在同一直线上。本实用新型专利技术使得冷空气能够和箱体内的热空气进行热交换，通过提高冷空气与热空气混合效率的方式，进一步提高了箱体内的散热效率。进一步提高了箱体内的散热效率。进一步提高了箱体内的散热效率。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻掩膜版基版表面检测聚光灯散热灯箱


[0001]本技术属于光刻掩模版
，特别是涉及一种光刻掩膜版基版表面检测聚光灯散热灯箱。

技术介绍

[0002]光刻掩膜版检测加工程序中，需要采用光来对光刻掩膜版进行检测。而检测光源需要采用强光来实现对光刻掩膜版检测，例如采用聚光灯作为光源。采用聚光灯作为光源，并且聚光灯需要使灯光聚集，就必然设置有灯箱，通过灯箱使光束聚集于一处，达到聚光的效果。
[0003]能产生强光的聚光灯功率必然很大，聚光灯在产生强光的时候也会产生大量的热量。若灯箱内热量不能及时散发出去，会对灯具、线路和其它连接结构造成损坏，或者会由于热量过高对操作人员造成烫伤，严重时甚至可能因为高温而引起安全事故。因此，现有技术存在灯箱散热能力差的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种光刻掩膜版基版表面检测聚光灯散热灯箱，通过进风口向灯箱箱体内输入冷空气，排风口排出灯箱箱体内的热空气，并且通过进风口和排风口的错位设置，使得冷空气进入箱体后能够与热空气进行混合，确保在排风口排气时能带走大量的热空气。
[0005]为解决上述技术问题，本技术通过以下技术方案实现的：
[0006]一种光刻掩膜版基版表面检测聚光灯散热灯箱，包括箱体、灯具和排风扇，所述灯具位于箱体内，所述箱体的侧壁上设置有滤光片、进风口和排风口，所述滤光片、进风口和排风口均位于不同的侧壁上，所述进风口和排风口错位设置，在进风口和排风口分别位于相邻的两个侧壁上时，所述进风口和排风口不是正对关系，进风口进入的冷空气沿着进风口的轴线移动，不会直接从排风口排出，使得冷空气能够与箱体内的热空气进行混合，确保排风口排气时排出的是经过热交换的热空气，在所述进风口与排风口位于相对的侧壁上时，所述进风口的轴线与排风口的轴线不在同一直线上，使进风口和排风口形成了错位设置，此时进风口进入的冷空气会沿着直线前进，由于进风口和排风口进行了错位设置，因此冷空气不会直接从排风口排出，确保了冷空气能够在箱体内与热空气进行热交换。同时设置进风口和排风口可以提高空气交换的速度，也可以增加箱体的散热效率。设置的排风口大幅降低了箱体内气体排出的阻力，在箱体上形成负压区，引导箱体内热空气的流出。
[0007]本技术具有以下有益效果：
[0008]通过设置进风口和排风口，可以加快灯箱箱体内的空气流动的速度，增加了箱体的散热效率。同时进风口进入的冷空气不会直接从排风口排出，使得冷空气能够和箱体内的热空气进行热交换，通过提高冷空气与热空气混合效率的方式，进一步提高了箱体内的散热效率。
附图说明
[0009]为了更清楚地说明本技术技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0010]图1为本技术的结构示意图；
[0011]图2为本技术的俯视图；
[0012]图3为图2中A
‑
A处剖视图；
[0013]图4为本技术的内部结构示意图。
[0014]附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0015]1、箱体，2、进气扇，3、排气扇，4、镜筒，5、固定筒，6、活动筒，7、凸透镜，8、散热孔，9、支脚，10、滤光片，11、反射瓦，12、安装板，13、安装脚架，14、固定条。
具体实施方式
[0016]下面结合附图，通过本技术实施例的具体实现方式，对本技术技术方案进行清楚、完整地说明。
[0017]请参阅图1
‑
4所示，本技术为一种光刻掩膜版基版表面检测聚光灯散热灯箱，包括箱体1、灯具、进风口和排风口，所述灯具位于箱体1内，所述箱体1的侧壁上设置有滤光片10、进风口和排风口。以所述滤光片10所在的侧壁为主视视角的情况下，所述进风口位于箱体1的左侧壁上，所述出风口位于箱体1的上侧壁上，所述灯具位于箱体1内靠近后侧壁的一侧。
[0018]所述滤光片10位于前侧，灯具位于箱体1内的后侧，使得所述灯具位于箱体1内与滤光片10相对的一侧，从而使灯具的光能够最大程度地直射到滤光片10上。灯具发出的光通过滤光片10过滤为单色光，然后从前侧照射出去。为了使灯具发出的光尽可能地得到利用，因此在灯具与后侧面之间设置有反射瓦11，用于将灯具发出的光反射向滤光片10的方向。所述反射瓦11的反射面为弧形面，弧形面能使反射光集中于滤光片10处。为了便于反射瓦11与灯具的安装，因此反射瓦11上设置有安装板12，安装板12用于固定灯座，而灯具则与灯座连接。在灯具固定于灯座上后，滤光片10、灯具和反射瓦11在同一直线上。灯具采用卤素灯灯管。
[0019]由于排风口和进风口都需要空气的流动，而滤光片10的作用是只允许一种光通过，防止其它光的干扰。因此所述排风口和进风口都位于没有滤光片10的若干箱体1侧壁上，如滤光片10位于前侧壁，进风口和排风口分别位于左侧壁和上侧壁。滤光片10过滤后的光会沿着垂直滤光片10的方向照射出，而从进风口和出风口透出的光由于分别位于左侧壁和上侧壁，即使有部分光从左侧壁和上侧壁泄漏出，光泄漏出的方向也与滤光片10过滤后的光的方向不同。同时，对位于左侧壁和位于上侧壁位置的光的隔离也非常方便，只需要沿着前侧壁的边缘固定一圈的挡光布，即可实现隔绝从左侧壁和上侧壁透出的光线。
[0020]所述进风口和排风口通过进气扇2和排气扇3实现进风和排风。所述进风口上安装有进气扇2，用于将外部冷空气输送至箱体1内，所述进风口的形状与进气扇2的形状相匹配，所述进气扇2通过螺钉固定于所述进风口上。所述排风口上安装有排气扇3，用于将箱体
1内的热空气排出，所述排风口的形状与排气扇3的形状相匹配，所述排气扇3通过螺钉固定于所述排风口上。在进气扇2不断向箱体1内输入冷空气、排气扇3不断排出热空气的情况下，所述箱体1内的温度就可以得到控制，使箱体1温度维持在一定的区域，避免对工作人员造成烫伤，也避免了灯具等连接部件因高温而发生损坏。
[0021]由于箱体1为长方体形状，因此在前侧壁上设置有滤光片10、左侧壁上设置有进气扇2、上侧壁上设置有排气扇3的情况下，还有右侧壁、下侧壁和后侧壁未安装其它设备，因此在箱体1的右侧壁和下侧壁上设置有若干散热孔8。若干散热孔8用于散发箱体1内的热空气，起到辅助散热降温的作用。在进气扇2和排气扇3工作的时候，由于排气扇3向外排气，因此箱体1内的顶部形成低压区，大部分的热空气会通过排气扇3排出，少部分的热空气会从散热孔8处排出。由于热空气向上升、冷空气向下降的原理，热空气也更容易从排气扇3处排出。并且由于热空气向上排出，位于下侧壁上的散热孔8还具有让外界冷空气进入的作用。而由于箱体1为长方体形状，为了使箱体1通过下侧壁与外界空气连通，因此在所述箱体1的下侧壁的底面固定有四个支脚9，四个支脚9将箱体1的下侧壁撑起一定的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻掩膜版基版表面检测聚光灯散热灯箱，其特征在于：包括箱体(1)、灯具、进风口和排风口，所述灯具位于箱体(1)内，所述箱体(1)的侧壁上设置有滤光片(10)，所述滤光片(10)、进风口和排风口分别位于不同的侧壁上，在所述进风口与排风口位于相对的侧壁上时，所述进风口的轴线与排风口的轴线平行但不在同一直线上。2.根据权利要求1所述的一种光刻掩膜版基版表面检测聚光灯散热灯箱，其特征在于：所述灯具位于箱体(1)内与滤光片(10)相对的一侧。3.根据权利要求1所述的一种光刻掩膜版基版表面检测聚光灯散热灯箱，其特征在于：所述箱体(1)的若干侧壁中，所述进风口和排风口均位于没有滤光片(10)的侧壁上。4.根据权利要求3所述的一种光刻掩膜版基版表面检测聚光灯散热灯箱，其特征在于：所述进风口上设置有进气扇(2)，所述排风口上设置有排气扇(3)。5.根据权利要求1所述的一种光刻掩膜版基版表面检测聚光灯散热灯箱，其特征在于：所述箱体(1)上没有滤光片(10)、进风口和排风口的侧壁上设置有若干散热孔(8)。6.根据权利要求1所述的一种光刻掩膜版基版表面检测聚光灯散热灯箱，...

【专利技术属性】
技术研发人员：伍玮，杨伟，吴晓聪，
申请(专利权)人：成都中科卓尔智能科技集团有限公司，
类型：新型
国别省市：