一种蒸镀源设备制造技术

本公开实施例提供了一种蒸镀源设备，包括：蒸镀坩埚和隔热板；隔热板设置在蒸镀坩埚外部，包覆蒸镀坩埚；蒸镀坩埚包括：坩埚主体、坩埚盖、多个固定构件、多个喷嘴；坩埚盖设置在坩埚主体上，喷嘴设置在坩埚盖上，喷嘴与坩埚盖为分体结构，固定构件与喷嘴连接，用于固定喷嘴的蒸镀位置；坩埚盖上设置有多个用于容纳喷嘴的喷嘴通孔，喷嘴的第一端设置在喷嘴通孔中，喷嘴的第一端与喷嘴通孔处的坩埚盖之间设置有允许坩埚盖在第一平面所在方向上发生形变的第一空隙，喷嘴的第二端延伸至隔热板之外，第一平面为坩埚盖所在的平面。本公开实施例可以保持喷嘴的蒸镀位置不变，不随坩埚盖的热膨胀而改变蒸镀位置，使得蒸镀膜厚分布均匀，提升产品性能。提升产品性能。提升产品性能。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀源设备


[0001]本公开涉及显示制造领域，特别涉及一种蒸镀源设备。

技术介绍

[0002]OLED显示屏具有轻薄、亮度高、功耗低、响应快、清晰度高、柔性好、发光效率高等特点，能满足消费者对显示技术的新需求，在电子产品、商业、交通、工业控制等领域中获得广泛应用。
[0003]OLED产品的加工过程需要使用蒸镀工艺，蒸镀工艺使用的蒸镀源设备(简称蒸镀源)的结构如图1所示，蒸镀工艺一般需要将蒸镀源加热到高温使用，随着温度的升高，热膨胀效应会使蒸镀源的喷嘴位置发生偏移，这种偏移现象会严重影响蒸镀膜厚的分布。热膨胀造成的偏移量会随着蒸镀源尺寸的增大而增大，尤其是喷嘴位置的偏移，会使膜厚分布偏离原有设计值，膜厚均匀性降低，而高世代线的蒸镀源往往在2m以上，存在上述严重的热膨胀问题。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本公开实施例提出了一种蒸镀源设备，用以解决现有技术的如下问题：大尺寸基板蒸镀过程中，蒸镀源设备的热膨胀效应会使喷嘴位置发生偏移，影响蒸镀膜厚的分布，导致膜厚均匀性降低，产品性能降低。
[0005]一方面，本公开实施例提出了一种蒸镀源设备，包括：蒸镀坩埚和隔热板；所述隔热板设置在所述蒸镀坩埚外部，包覆所述蒸镀坩埚；所述蒸镀坩埚包括：坩埚主体、坩埚盖、多个固定构件、多个喷嘴；所述坩埚盖设置在所述坩埚主体上，所述喷嘴设置在所述坩埚盖上，所述喷嘴与所述坩埚盖为分体结构，所述固定构件与所述喷嘴连接，用于固定所述喷嘴的蒸镀位置；所述坩埚盖上设置有多个用于容纳喷嘴的喷嘴通孔，所述喷嘴的第一端设置在所述喷嘴通孔中，所述喷嘴的第一端与所述喷嘴通孔处的坩埚盖之间设置有允许所述坩埚盖在第一平面所在方向上发生形变的第一空隙，所述喷嘴的第二端延伸至所述隔热板之外，其中，所述第一平面为所述坩埚盖所在的平面。
[0006]在一些实施例中，所述喷嘴包括：喷管、第一凸台、第二凸台；所述第一凸台和所述第二凸台设置在所述喷管上，所述第一凸台和所述第二凸台之间的设置距离与所述坩埚盖的厚度匹配，以使所述喷嘴通过所述第一凸台和所述第二凸台配合卡接在所述坩埚盖上；其中，所述第一凸台和所述第二凸台在所述坩埚盖上的投影包围住所述喷嘴通孔。
[0007]在一些实施例中，所述喷嘴与所述坩埚盖为可拆卸式连接。
[0008]在一些实施例中，所述坩埚盖包括：第一盖体和第二盖体；所述第一盖体包括各个喷嘴通孔的第一部分，所述第二盖体包括各个喷嘴通孔的第二部分，所述第一盖体和所述第二盖体通过连接件连接，所述第一部分与所述第二部分在所述第一盖体和所述第二盖体处于连接状态下构成完整的喷嘴通孔。
[0009]在一些实施例中，所述喷管、所述第一凸台、所述第二凸台为可拆卸式连接。
[0010]在一些实施例中，所述第一空隙的空隙宽度在沿着所述坩埚盖的中心位置向边缘位置的方向上依次增加。
[0011]在一些实施例中，所示固定构件设置在所述隔热板之外。
[0012]在一些实施例中，多个所述固定构件为一体设计的连接桥结构。
[0013]在一些实施例中，还包括：箱体，设置在所述隔热板外部，包覆所述隔热板。
[0014]在一些实施例中，所述箱体包括多个固定通孔，所述固定构件设置在所固定通孔中。
[0015]本公开实施例将坩埚盖与喷嘴设计为分体结构，且在分体结构的连接处设计了第一空隙，第一空隙形成了坩埚盖在水平移动发生形变时的容纳空间，当蒸镀源设备发生热膨胀时，坩埚盖的热膨胀会填充第一空隙，使得第一空隙的空隙宽度变小，当不处于热膨胀状态下，第一空隙的空隙宽度变回初始设置宽度，整个过程中喷嘴通过固定构件固定位置，可以保持蒸镀位置不变，不随坩埚盖的热膨胀而改变蒸镀位置，使得蒸镀膜厚分布均匀，提升产品性能。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为现有技术提供的蒸镀源设备的结构示意图；
[0018]图2为本公开第一实施例提供的蒸镀源设备的结构示意图一；
[0019]图3为本公开第一实施例提供的蒸镀源设备的结构示意图二；
[0020]图4为本公开第一实施例提供的固定构件与喷嘴设置位置示意图；
[0021]图5为本公开第一实施例提供的喷嘴处位置放大后的示意图；
[0022]图6为本公开第一实施例提供的喷嘴的结构示意图；
[0023]图7为本公开第二实施例提供的喷嘴的一种可拆卸结构示意图；
[0024]图8为本公开第二实施例提供的坩埚盖的一种可拆卸结构示意图。
[0025]附图标记：
[0026]1‑
隔热板，2
‑
坩埚主体，3
‑
坩埚盖，4
‑
多个喷嘴，5
‑
固定构件，6
‑
第一空隙，7
‑
箱体；
[0027]31
‑
第一盖体，32
‑
第二盖体；
[0028]41
‑
喷管，42
‑
第一凸台，43
‑
第二凸台。
具体实施方式
[0029]为了使得本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。
[0030]除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具
有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
[0031]为了保持本公开实施例的以下说明清楚且简明，本公开省略了已知功能和已知部件的详细说明。
[0032]本公开第一实施例提供了一种蒸镀源设备，其结构示意如图2所示，包括：
[0033]蒸镀坩埚和隔热板1；隔热板1设置在蒸镀坩埚外部，包覆蒸镀坩埚；
[0034]蒸镀坩埚包括：坩埚主体2、坩埚盖3、多个固定构件5、多个喷嘴4；
[0035]坩埚盖3设置在坩埚本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀源设备，其特征在于，包括：蒸镀坩埚和隔热板；所述隔热板设置在所述蒸镀坩埚外部，包覆所述蒸镀坩埚；所述蒸镀坩埚包括：坩埚主体、坩埚盖、多个固定构件、多个喷嘴；所述坩埚盖设置在所述坩埚主体上，所述喷嘴设置在所述坩埚盖上，所述喷嘴与所述坩埚盖为分体结构，所述固定构件与所述喷嘴连接，用于固定所述喷嘴的蒸镀位置；所述坩埚盖上设置有多个用于容纳喷嘴的喷嘴通孔，所述喷嘴的第一端设置在所述喷嘴通孔中，所述喷嘴的第一端与所述喷嘴通孔处的坩埚盖之间设置有允许所述坩埚盖在第一平面所在方向上发生形变的第一空隙，所述喷嘴的第二端延伸至所述隔热板之外，其中，所述第一平面为所述坩埚盖所在的平面。2.如权利要求1所述的蒸镀源设备，其特征在于，所述喷嘴包括：喷管、第一凸台、第二凸台；所述第一凸台和所述第二凸台设置在所述喷管上，所述第一凸台和所述第二凸台之间的设置距离与所述坩埚盖的厚度匹配，以使所述喷嘴通过所述第一凸台和所述第二凸台配合卡接在所述坩埚盖上；其中，所述第一凸台和所述第二凸台在所述坩埚盖上的投影包围住所述喷嘴通孔。3.如权利要求1所述的蒸镀源设备，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：王宇钊，李彦松，白珊珊，刘华猛，刘佳宁，沈阔，毕娜，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：