一种主被动双自由度防微振基座制造技术

本实用新型专利技术提供一种主被动双自由度防微振基座，包括顶板、挡板、底座和空气弹簧，所述挡板为两个平行布置在顶板底部两侧，所述空气弹簧为两个分别布置在挡板的外侧，所述空气弹簧与顶板底部之间连接有顶部气囊，所述空气弹簧与挡板之间连接有侧部气囊，所述空气弹簧底部与底座顶部连接，所述底座顶部中间安装有支撑件，所述支撑件顶部与顶板底部之间连接有音圈电机A，所述支撑件两侧与挡板之间连接有音圈电机B，所述顶板底部安装有位置传感器和速度传感器，所述底座顶部安装有控制器。本实用新型专利技术稳定性高，定位精确，隔振带宽，对0.5Hz~150Hz的振动干扰具有较好的隔振效果，且可以实现水平向和垂直向两个自由度隔振，适用范围较广。较广。较广。

【技术实现步骤摘要】
一种主被动双自由度防微振基座


[0001]本技术涉及隔振装置
，具体是一种主被动双自由度防微振基座。

技术介绍

[0002]目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
[0003]由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度与超精密加工装备制造精度的关键因素之一，高性能精密隔微振技术成为精密工程、超精密制造等领域的一项核心关键技术，对该技术的研究具有重要的实际意义与应用价值。振动控制部分是隔振平台的核心，针对中高频振动，多采用被动隔振，被动隔振结构简单、工作可靠、不依赖电源，可以有效地隔绝中高频振动干扰。针对低频甚至或超低频振动，多采用主动隔振。但是精密仪器所处环境不是单一的高频振动或低频振动，是多种频率的复杂的振动环境，而目前隔振平台多是针对单一高频或低频振动，对于复杂振动环境的隔振能力较差。

技术实现思路

[0004]技术的目的在于提供一种主被动双自由度防微振基座，以解决上述
技术介绍
中存在的问题。
[0005]本技术的技术方案是这样实现的：
[0006]一种主被动双自由度防微振基座，包括顶板、挡板、底座和空气弹簧，所述挡板为两个平行布置在顶板底部两侧，所述空气弹簧为两个分别布置在挡板的外侧，所述空气弹簧与顶板底部之间连接有顶部气囊，所述空气弹簧与挡板之间连接有侧部气囊，所述空气弹簧底部与底座顶部连接，所述底座顶部中间安装有支撑件，所述支撑件顶部与顶板底部之间连接有音圈电机A，所述支撑件两侧与挡板之间连接有音圈电机B，所述顶板底部安装有位置传感器和速度传感器，所述底座顶部安装有控制器。
[0007]进一步地，所述顶板由不锈钢板制成无顶盖的矩形框体，所述顶板底部开设有矩形孔。
[0008]进一步地，所述挡板由不锈钢板制成无顶盖的矩形框体，所述挡板顶部与矩形孔对齐焊接固定。
[0009]进一步地，所述顶板与挡板连接后整体呈“π”形结构。
[0010]进一步地，所述顶板内部焊接有横向钢筋和纵向钢筋。
[0011]进一步地，所述挡板内部焊接有竖向钢筋，所述竖向钢筋穿过挡板插入顶板内并与横向钢筋、纵向钢筋垂直焊接固定。
[0012]进一步地，所述顶板、挡板内部均浇筑有混凝土。
[0013]进一步地，所述控制器通过电缆与位置传感器、速度传感器、音圈电机A、音圈电机
B连接。
[0014]本技术的有益效果为：
[0015]本技术垂向上通过顶板和空气弹簧实现载重，并通过顶部气囊实现垂向高频被动隔振，水平向通过侧部气囊实现高频被动隔振；垂向和水平向均设有音圈电机实现低频主动隔振。本技术结构简单，稳定性高，定位精确，隔振带宽，对0.5Hz~150Hz的振动干扰具有较好的隔振效果，且可以实现水平向和垂直向两个自由度隔振，适用范围较广。
附图说明
[0016]图1为本技术的结构示意图。
[0017]图2为本技术顶板的剖面图。
[0018]图中1
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顶板，101
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挡板，102
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横向钢筋，103
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纵向钢筋，104
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竖向钢筋，105
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混凝土，106
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矩形孔，2
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底座，3
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空气弹簧，301
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顶部气囊，302
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侧部气囊，4
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支撑件，5
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音圈电机A，6
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音圈电机B，7
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位置传感器，8
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速度传感器，9
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控制器。
具体实施方式
[0019]下面将结合实施例对本技术技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]如图1
‑
2所示，一种主被动双自由度防微振基座，包括顶板1、挡板101、底座2和空气弹簧3，所述挡板101为两个平行布置在顶板1底部两侧，所述空气弹簧3为两个分别布置在挡板101的外侧，所述空气弹簧3与顶板1底部之间连接有顶部气囊301，所述空气弹簧3与挡板101之间连接有侧部气囊302，所述空气弹簧3底部与底座2顶部连接，所述底座2顶部中间安装有支撑件4，所述支撑件4顶部与顶板1底部之间连接有音圈电机A5，所述支撑件4两侧与挡板101之间连接有音圈电机B6，所述顶板1底部安装有位置传感器7和速度传感器8，所述底座2顶部安装有控制器9。
[0021]所述顶板1由不锈钢板制成无顶盖的矩形框体，所述顶板1底部开设有矩形孔106。
[0022]所述挡板101由不锈钢板制成无顶盖的矩形框体，所述挡板101顶部与矩形孔106对齐焊接固定。
[0023]所述顶板1与挡板101连接后整体呈“π”形结构。
[0024]所述顶板1内部焊接有横向钢筋102和纵向钢筋103。
[0025]所述挡板101内部焊接有竖向钢筋104，所述竖向钢筋104穿过挡板101插入顶板1内并与横向钢筋102、纵向钢筋103垂直焊接固定。
[0026]所述顶板1、挡板101内部均浇筑有混凝土105。
[0027]所述控制器9通过电缆与位置传感器7、速度传感器8、音圈电机A5、音圈电机B6连接。
[0028]工作时， 精密仪器放在顶板1上，由空气弹簧3承载重量，并通过顶部气囊301、侧部气囊302实现垂向与水平向的高频隔振；低频振源时，通过位置传感器7、速度传感器8采集振动信号，然后将信号传递给控制器9，由控制器9控制音圈电机A5、音圈电机B6驱动，实
现垂向和水平向低频隔振。
[0029]以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种主被动双自由度防微振基座，包括顶板、挡板、底座和空气弹簧，其特征在于，所述挡板为两个平行布置在顶板底部两侧，所述空气弹簧为两个分别布置在挡板的外侧，所述空气弹簧与顶板底部之间连接有顶部气囊，所述空气弹簧与挡板之间连接有侧部气囊，所述空气弹簧底部与底座顶部连接，所述底座顶部中间安装有支撑件，所述支撑件顶部与顶板底部之间连接有音圈电机A，所述支撑件两侧与挡板之间连接有音圈电机B，所述顶板底部安装有位置传感器和速度传感器，所述底座顶部安装有控制器。2.根据权利要求1所述的一种主被动双自由度防微振基座，其特征在于，所述顶板由不锈钢板制成无顶盖的矩形框体，所述顶板底部开设有矩形孔。3.根据权利要求1所述的一种主被动双自由度防微振基座，其特征在于，所述挡板由不锈钢板制成...

【专利技术属性】
技术研发人员：李伟，尹波，张厚根，刘国东，
申请(专利权)人：大连地拓重工有限公司，
类型：新型
国别省市：