轨道清洁小车制造技术

本实用新型专利技术提供了一种轨道清洁小车，包括小车本体、行走机构及清洁机构；其中，所述行走机构，安装在所述小车本体上并用于驱使所述小车本体沿一预定轨道移动；所述清洁机构，安装在所述小车本体内，所述清洁机构包括吸尘单元及过滤单元，所述吸尘单元包括动力源及吸尘管路，所述吸尘管路的吸尘口对准所述预定轨道，所述动力源与所述吸尘管路连通并提供吸力，以通过所述吸尘管路吸收所述预定轨道上的颗粒物，所述过滤单元与所述吸尘管路连通并用于对所述颗粒物进行过滤。通过行走机构带动小车本体沿预定轨道移动，以带动所述清洁结构沿所述预定轨道移动，利用所述清洁机构对所述预定轨道上的颗粒物统一收集，从而实现了对所述预定轨道的清洁。轨道的清洁。轨道的清洁。

【技术实现步骤摘要】
轨道清洁小车


[0001]本技术涉及物料搬运
，尤其涉及一种轨道清洁小车。

技术介绍

[0002]在半导体制造技术高速发达的今天，12寸(300mm)晶圆已经成为全球半导体行业的主流。相比于8寸(200mm)晶圆，12寸晶圆拥有更大的尺寸及重量，人工搬送晶圆载体的效率已经远远无法满足工厂的生产需求，AMHS(自动化物料搬送系统)在半导体制造领域得到广泛应用。
[0003]现有的AMHS设备中，OHT(Overhead Hoist Transfer，空中走行式无人搬送车)为主要搬运设备。由于OHT在预定轨道上方长时间运行会产生灰尘等颗粒物，所以需要定期进行清洁。进行轨道清洁作业时，需要把对应的轨道断电，之后登高才能进行清洁。这样不但会影响全厂生产的整体搬送效率，而且高空作业会带来一定的安全风险。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种轨道清洁小车，一方面解决了人工清洁空中搬运车轨道时需要断电导致的影响物料搬送效率的问题，另一方面避免了高空作业带来的安全风险。
[0005]为了达到上述目的，本技术提供了一种轨道清洁小车，包括小车本体、行走机构及清洁机构；其中，
[0006]所述行走机构，安装在所述小车本体上并用于驱使所述小车本体沿一预定轨道移动；
[0007]所述清洁机构，安装在所述小车本体内，所述清洁机构包括吸尘单元及过滤单元，所述吸尘单元包括动力源及吸尘管路，所述吸尘管路的吸尘口对准所述预定轨道，所述动力源与所述吸尘管路连通并提供吸力，以通过所述吸尘管路吸收所述预定轨道上的颗粒物，所述过滤单元与所述吸尘管路连通并用于对所述颗粒物进行过滤。
[0008]可选的，所述吸尘管路不少于两条。
[0009]可选的，所述清洁机构还包括一吸气腔，所述吸尘管路及所述过滤单元通过所述吸气腔相连通。
[0010]可选的，所述吸气腔的口径朝靠近所述吸尘管路的一端逐渐增大。
[0011]可选的，所述吸尘口处还设置有一毛刷，所述小车本体沿所述预定轨道移动时所述毛刷与所述预定轨道相接触并清扫所述预定轨道。
[0012]可选的，所述过滤单元包括至少一个过滤腔，所述过滤腔的一端与所述吸气腔连通，另一端连通大气，所述过滤腔内设置有过滤网。
[0013]可选的，所述过滤腔为多个，且多个所述过滤腔顺次连通。
[0014]可选的，越靠近所述吸气腔的过滤腔的尺寸越大。
[0015]可选的，越靠近所述吸气腔的过滤腔内的过滤网的网孔孔径越大。
[0016]可选的，所述轨道清洁小车用于对空中走行式无人搬送车行走的预定轨道进行清洁，所述行走机构与所述空中走行式无人搬送车的行走机构相同。
[0017]在本技术提供的一种轨道清洁小车中，至少具有以下有益效果：
[0018]1)通过所述行走机构带动所述小车本体沿所述预定轨道移动，以带动所述清洁结构沿所述预定轨道移动，进而通过所述单元吸收所述预定轨道上的颗粒物，再利用所述过滤单元将所述颗粒物过滤并统一收集，实现对所述预定轨道的清洁；
[0019]2)通过设置过滤网对所述吸尘管路输送的颗粒物进行过滤，以便于将所述颗粒物统一收集并处理，同时过滤后的空气可直接排放出去，简单便捷；
[0020]3)通过设置多个过滤腔，以便于对所述颗粒物进行多重过滤，过滤效果更佳；
[0021]3)通过采用与空中走行式无人搬送车的行走机构相同的行走机构，使得不需要对所述预定轨道进行断电即可实现对所述预定轨道的清洁，进而极大地降低了对物料运输的影响；
[0022]4)不需要人工高空作业，避免了高空作业带来的安全风险，同时还提高了清洁效率。
附图说明
[0023]本领域的普通技术人员将会理解，提供的附图用于更好地理解本技术，而不对本技术的范围构成任何限制。其中：
[0024]图1为本技术一实施例提供的轨道清洁小车的结构示意图。
[0025]附图中：
[0026]1‑
小车本体；2
‑
行走机构；3
‑
预定轨道；4
‑
吸尘管路；5
‑
吸尘口；6
‑
吸气腔；7
‑
过滤腔；8
‑
过滤网。
具体实施方式
[0027]为使本技术的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图和具体实施例对本技术作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且未按比例绘制，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。
[0028]如在本技术中所使用的，单数形式“一”、“一个”以及“该”包括复数对象，除非内容另外明确指出外。如在本技术中所使用的，术语“或”通常是以包括“和/或”的含义而进行使用的，除非内容另外明确指出外。如在本技术中所使用的，术语“若干”通常是以包括“至少一个”的含义而进行使用的，除非内容另外明确指出外。如在本技术中所使用的，术语“至少两个”通常是以包括“两个或两个以上”的含义而进行使用的，除非内容另外明确指出外。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者至少两个该特征。
[0029]请参照图1，图1为本技术一实施例提供的轨道清洁小车的结构示意图。本实施例提供了一种轨道清洁小车，包括小车本体1、行走机构2及清洁机构；其中，
[0030]所述行走机构2，安装在所述小车本体1上并用于驱使所述小车本体1沿一预定轨
道3移动；
[0031]所述清洁机构，安装在所述小车本体1内，所述清洁机构包括吸尘单元及过滤单元，所述吸尘单元包括动力源及吸尘管路4，所述吸尘管路4的吸尘口5对准所述预定轨道3，所述动力源与所述吸尘管路4连通并提供吸力，以通过所述吸尘管路4吸收所述预定轨道3上的颗粒物，所述过滤单元与所述吸尘管路4连通并用于对所述颗粒物进行过滤。
[0032]本实施例提供的轨道清洁小车适用于对预定轨道3上的灰尘等颗粒物的清洁，所述预定轨道3例如为OHT(Overhead Hoist Transfer，空中走行式无人搬送车)的行驶轨道，通过所述行走机构2带动所述小车本体1沿所述预定轨道3移动，以带动所述清洁结构沿所述预定轨道3移动，进而通过所述单元吸收所述预定轨道3上的颗粒物，再利用所述过滤单元将所述颗粒物过滤并统一收集，实现对所述预定轨道3的清洁。
[0033]需要理解的是，图1中的箭头表示气流的流向。
[0034]本实施例中，所述动力源包括驱动电机及离心式风机，用于向所述吸尘管路4提供吸力。
[0035]较佳的，所述吸尘管路4不少于两条。所述吸尘管路4的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种轨道清洁小车，其特征在于，包括小车本体、行走机构及清洁机构；其中，所述行走机构，安装在所述小车本体上并用于驱使所述小车本体沿一预定轨道移动；所述清洁机构，安装在所述小车本体内，所述清洁机构包括吸尘单元及过滤单元，所述吸尘单元包括动力源及吸尘管路，所述吸尘管路的吸尘口对准所述预定轨道，所述动力源与所述吸尘管路连通并提供吸力，以通过所述吸尘管路吸收所述预定轨道上的颗粒物，所述过滤单元与所述吸尘管路连通并用于对所述颗粒物进行过滤。2.如权利要求1所述的轨道清洁小车，其特征在于，所述吸尘管路不少于两条。3.如权利要求2所述的轨道清洁小车，其特征在于，所述清洁机构还包括一吸气腔，所述吸尘管路及所述过滤单元通过所述吸气腔相连通。4.如权利要求3所述的轨道清洁小车，其特征在于，所述吸气腔的口径朝靠近所述吸尘管路的一端逐渐增大。5.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：张晨光，李佰干，
申请(专利权)人：广州粤芯半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：