多功能镀膜设备制造技术

本申请提供一种多功能镀膜设备，包括：腔室，用于提供真空环境；阴极离子源组件，包括离子发生器、传输管道和磁性过滤件，离子发生器设置于腔室的外壁，并与腔室通过传输管道连接，离子发生器用于产生离子，离子通过传输管道进入腔室中，磁性过滤件设置于传输管道的外侧壁，磁性过滤件用于在传输管道所在区域形成磁场，通过调节磁性过滤件的磁力大小调整经过传输管道的离子的运动方向；及承载组件，用于承载工件；其中离子通过传输管道进入腔室，轰击工件，以清洗工件。该多功能镀膜设备，可以在镀膜前对产品进行清洗，在清洗工件后即可直接开始对工件进行PVD镀膜，减少清洗和镀膜过程中转移工件的工序，降低工件被污染的风险。降低工件被污染的风险。降低工件被污染的风险。

【技术实现步骤摘要】
多功能镀膜设备


[0001]本申请涉及材料表面处理
，具体涉及一种多功能镀膜设备。

技术介绍

[0002]为了保护电子设备壳体等产品，通常会在电子设备壳体等产品上设置涂层薄膜，目前市场上涂层薄膜的主要制造方法为物理气相沉积(PVD，Physical Vapor Deposition)。在对电子设备壳体等产品进行PVD镀膜前，需要对产品进行清洗，去除其表面的杂质，以提升镀膜效果。
[0003]目前，工业上常采用离子清洗方式除去产品表面的杂质，由于传统的PVD镀膜设备不具有清洗功能，作业时需要先将产品利用离子清洗设备清洗过后，再转移至PVD镀膜设备中进行镀膜。此方式工序较多，且在转移过程中，产品表面有被二次污染的风险。而且工业上常使用的离子清洗方式，清洗功能单一，清洗效果有待提高。

技术实现思路

[0004]鉴于上述状况，有必要提供一种多功能镀膜设备，可以在镀膜设备内对镀膜前的产品进行清洗，清洗完成后直接进行镀膜，减少清洗和镀膜过程中转移工件的工序，降低工件被污染的风险。
[0005]本申请提供一种多功能镀膜设备，包括：腔室，用于提供真空环境；阴极离子源组件，用于提供离子，包括离子发生器、传输管道和磁性过滤件，所述离子发生器与所述腔室通过所述传输管道连通，所述离子通过所述传输管道进入所述腔室中；所述磁性过滤件设置于所述传输管道上，用于在所述传输管道内形成磁场，通过调节所述磁性过滤件的磁力大小可调整经过所述传输管道的所述离子的运动方向；及承载组件，设置于所述腔室内，用于承载工件；其中，所述离子通过所述传输管道进入所述腔室，轰击所述工件，以清洗所述工件。
[0006]在一些实施例中，所述阴极离子源组件激发产生金属正离子和负离子，所述磁性过滤件通过在所述传输管道内形成磁场，以使得金属正离子从传输管道进入腔室内，轰击所述工件，以清洗工件。所述多功能镀膜设备还包括阳极组件，所述阳极组件设置于所述腔室内，所述阳极组件与一电源的正极电连接，并与所述阴极离子源组件构成电场区域，所述腔室还用于容纳惰性气体，所述阴极离子源组件提供的所述离子通过所述传输管道进入所述腔室的电场区域，并将所述腔室内的惰性气体从原子状态激发为离子状态，形成正离子，所述承载组件与另一电源的负极电连接，用于牵引所述正离子轰击所述工件的表面，以清洗所述工件。
[0007]在一些实施例中，所述阳极组件包括固定件和阳极件，所述固定件连接于所述腔室的顶部，所述阳极件悬挂设置在所述腔室内，且一端连接于所述固定件，所述阳极件与所述一电源的正极电连接，并与所述阴极离子源组件构成所述电场区域，所述阴极离子源组件提供的所述离子通过所述传输管道进入所述腔室的电场区域，并将所述腔室内的惰性气
体从原子状态激发为离子状态，形成所述正离子，所述承载组件与所述另一电源的负极电连接，用于牵引所述正离子轰击所述工件的表面，以清洗所述工件。
[0008]在一些实施例中，所述阳极组件包括动力件、连接板、阳极管和电磁件，所述动力件连接于所述腔室的顶部，所述连接板连接于所述动力件，所述阳极管的一端转动连接于所述连接板，悬挂设置在所述腔室内，所述动力件的输出端与所述阳极管连接，用于驱动所述阳极管转动，所述电磁件设置于所述阳极管内，所述电磁件可形成磁场以调整通过所述传输管道进入所述腔室的所述离子的运动路径，所述阳极管与所述一电源的正极电连接，并与所述阴极离子源组件构成所述电场区域，所述阴极离子源组件提供的所述离子通过所述传输管道进入所述腔室的电场区域，并将所述腔室内的惰性气体从原子状态激发为离子状态，形成所述正离子，所述承载组件与所述另一电源的负极电连接，用于牵引所述正离子轰击所述工件的表面，以清洗所述工件。
[0009]在一些实施例中，所述阳极组件包括容纳体、永磁体和阳极板，所述容纳体连接于所述腔室的侧壁，所述永磁体设置于所述容纳体内，所述永磁体可形成磁场以调整通过所述传输管道进入所述腔室的所述离子的运动路径，所述阳极板与所述一电源的正极电连接，并与所述阴极离子源组件构成所述电场区域；所述阴极离子源组件提供的所述离子通过所述传输管道进入所述腔室的电场区域，并将所述腔室内的惰性气体从原子状态激发为离子状态，形成所述正离子，所述承载组件与所述另一电源的负极电连接，用于牵引所述正离子轰击所述工件的表面，以清洗所述工件。
[0010]在一些实施例中，所述离子发生器包括磁力源、支撑件、电弧发生件、第一驱动件和引弧针，所述支撑件与所述传输管道连接，所述磁力源连接于所述支撑件的一侧，所述电弧发生件连接于所述支撑件背离所述磁力源的一侧，并位于所述传输管道内，所述第一驱动件的输出端贯穿所述支撑件伸入所述传输管道内，所述第一驱动件与所述引弧针连接，所述第一驱动件用于驱动所述引弧针靠近或远离所述电弧发生件，以击发所述电弧发生件产生弧光放电，进而产生离子。
[0011]在一些实施例中，所述腔室具有腔体，所述腔体用于容纳所述阳极组件和所述承载组件，所述承载组件设置于所述腔体的底部，所述阳极组件与所述承载组件相间隔设置。
[0012]在一些实施例中，所述多功能镀膜设备还包括抽气装置和供气装置，所述抽气装置连接于所述腔室，用于对所述腔体抽真空，所述供气装置连接于所述腔室，用于向所述腔体内供应惰性气体。
[0013]在一些实施例中，所述承载组件包括底盘和多个支撑架，所述底盘设置于所述腔体的底部，且与所述腔室绝缘连接，多个所述支撑架环绕所述底盘设置，所述支撑架用于承载所述工件；所述多功能镀膜设备还包括第二驱动件，所述第二驱动件位于所述腔室底部且设置在所述底盘的下方，所述第二驱动件与所述底盘连接，用于驱动所述底盘转动。
[0014]上述多功能镀膜设备，设置有腔室、阴极离子源组件和承载组件，腔室用于提供真空环境，阴极离子源组件用于产生大量离子，承载组件用于放置工件，大量高能量的离子进入腔室后，会轰击工件表面，达到清洗工件的目的。阴极离子源组件还包括传输管道和磁性过滤件，通过调节磁性过滤件的磁力大小，可以调整传输管道内的离子的运动方向，可以针对不同的待清洗工件进行清洗，且具有良好的清洗效果。上述多功能镀膜设备，在清洗工件后即可直接开始对工件进行PVD镀膜，减少清洗和镀膜过程中转移工件的工序，降低工件被
污染的风险。
附图说明
[0015]图1为本申请一些实施例提供的多功能镀膜设备的立体示意图。
[0016]图2为图1所示的多功能镀膜设备内设置阳极组件后的立体示意图。
[0017]图3为图1所示的多功能镀膜设备的另一角度立体示意图。
[0018]图4为图1所示的离子发生器的立体示意图。
[0019]图5为图2所示的阳极组件的立体示意图。
[0020]图6为本申请一些实施例提供的阳极组件的立体示意图。
[0021]图7为图6所示的阳极组件的分解示意图。
[0022]图8为本申请另一些实施例提供的阳极组件的立体示意图。
[0023]图9为图8所示的阳极组件的分解示意图。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多功能镀膜设备，其特征在于，包括：腔室，用于提供真空环境；阴极离子源组件，用于提供离子，包括离子发生器、传输管道和磁性过滤件，所述离子发生器与所述腔室通过所述传输管道连通，所述离子通过所述传输管道进入所述腔室中；所述磁性过滤件设置于所述传输管道上，用于在所述传输管道内形成磁场，通过调节所述磁性过滤件的磁力大小可调整经过所述传输管道的所述离子的运动方向；及承载组件，设置于所述腔室内，用于承载工件；其中，所述离子通过所述传输管道进入所述腔室，轰击所述工件，以清洗所述工件。2.如权利要求1所述的多功能镀膜设备，其特征在于，所述阴极离子源组件激发产生金属正离子和负离子，所述磁性过滤件通过在所述传输管道内形成磁场，以使得金属正离子从传输管道进入腔室内，轰击所述工件，以清洗工件。3.如权利要求1所述的多功能镀膜设备，其特征在于，所述多功能镀膜设备还包括阳极组件，所述阳极组件设置于所述腔室内，所述阳极组件与一电源的正极电连接，并与所述阴极离子源组件构成电场区域，所述腔室还用于容纳惰性气体，所述阴极离子源组件提供的所述离子通过所述传输管道进入所述腔室的电场区域，并将所述腔室内的惰性气体从原子状态激发为离子状态，形成正离子，所述承载组件与另一电源的负极电连接，用于牵引所述正离子轰击所述工件的表面，以清洗所述工件。4.如权利要求3所述的多功能镀膜设备，其特征在于，所述阳极组件包括固定件和阳极件，所述固定件连接于所述腔室的顶部，所述阳极件悬挂设置在所述腔室内，且一端连接于所述固定件，所述阳极件与所述一电源的正极电连接，并与所述阴极离子源组件构成所述电场区域，所述阴极离子源组件提供的所述离子通过所述传输管道进入所述腔室的电场区域，并将所述腔室内的惰性气体从原子状态激发为离子状态，形成所述正离子，所述承载组件与所述另一电源的负极电连接，用于牵引所述正离子轰击所述工件的表面，以清洗所述工件。5.如权利要求3所述的多功能镀膜设备，其特征在于，所述阳极组件包括动力件、连接板、阳极管和电磁件，所述动力件连接于所述腔室的顶部，所述连接板连接于所述动力件，所述阳极管的一端转动连接于所述连接板，悬挂设置在所述腔室内，所述动力件的输出端与所述阳极管连接，用于驱动所述阳极管转动，所述电磁件设置于所述阳极管内，所述电磁件可形成磁场以调整通过所述传输管道进入所述腔室的所述离子的运动路径，所述阳极管与所述一电源的正极电连...

【专利技术属性】
技术研发人员：张远华，罗云，曾维利，李杰，陈海军，胡建红，
申请(专利权)人：富联裕展科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：