一种螺丝清洗载具制造技术

本实用新型专利技术提供一种螺丝清洗载具，包括花篮及冶具，花篮用于承载冶具，冶具包括承载部及盖合部，承载部朝向盖合部的一面内凹形成容纳槽，盖合部盖合容纳槽，承载部上开设若干均匀分布的第一通孔，第一通孔贯穿承载部，并连通容纳槽，承载部背向盖合部的一面开设若干均匀分布的第二通孔，第二通孔贯穿承载部，并连通容纳槽。通过设置冶具，可将铝盘上的螺丝装载于容纳槽内，将若干个冶具装载于花篮内，可实现对螺丝的批量清洗，相较于传统的酒精擦拭的清洗方式，其清洗效果更佳，清洗效率更高，铁屑去除率更佳。屑去除率更佳。屑去除率更佳。

【技术实现步骤摘要】
一种螺丝清洗载具


[0001]本技术涉及半导体
，特别涉及一种螺丝清洗载具。

技术介绍

[0002]在半导体制程中，晶圆等产品需通过多种机台的加工制程，而晶圆等产品对工艺环境的要求极高，铝具有优良的导电性、导热性和抗腐蚀性，因此，通常采用铝盘承载晶圆等产品于工作腔内进行加工反应。
[0003]铝盘通常通过螺丝固定于工作腔内，在铝盘长时间使用后，锁紧在铝盘上的螺丝会产生铁屑，进而影响工作腔的反应效果。
[0004]现通常通过酒精对铝盘上的螺丝进行擦拭清洗，从而清洗铁屑，但采用酒精擦拭的方式清除效果较差，常出现擦拭不干净的情况，导致铁屑进入工作腔内，进而导致产品漏气异常。

技术实现思路

[0005]针对现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种螺丝清洗载具，旨在解决现有技术中通过通过酒精擦拭清洗铝盘上的螺丝，清洗不净，导致螺丝上的铁屑落于工作腔内，进而影响产品质量的技术问题。
[0006]为了实现上述目的，本技术是通过如下技术方案来实现的：
[0007]一种螺丝清洗载具，其特征在于，包括花篮及冶具，所述花篮用于承载所述冶具，所述冶具包括承载部及盖合部，所述承载部朝向所述盖合部的一面内凹形成容纳槽，所述盖合部盖合所述容纳槽，所述承载部上开设若干均匀分布的第一通孔，所述第一通孔贯穿所述承载部，并连通所述容纳槽，所述承载部背向所述盖合部的一面开设若干均匀分布的第二通孔，所述第二通孔贯穿所述承载部，并连通所述容纳槽。
[0008]与现有技术相比，本技术的有益效果在于：通过设置所述冶具，可将铝盘上的螺丝装载于所述容纳槽内，将若干个所述冶具装载于所述花篮内，可实现对螺丝的批量清洗，相较于传统的酒精擦拭的清洗方式，其清洗效果更佳，清洗效率更高，铁屑去除率更佳，通过所述第一通孔及所述第二通孔，可使清洗液全面浸泡螺丝，同时，洗落的铁屑可随清洗液通过所述第一通孔及所述第二通孔析出，避免铁屑黏附于螺丝上，掉落于工作腔内，影响产品质量。
[0009]进一步，所述容纳槽的底部凸起形成分隔板，所述分隔板将所述容纳槽分隔为若干个承载槽。
[0010]更进一步，所述承载部上设置锁紧机构，当所述盖合部盖合所述容纳槽时，所述锁紧机构用于锁紧所述盖合部。
[0011]更进一步，所述花篮包括第一连接座、第二连接座、第一固定杆组、第二固定杆组及承载机构，所述第一连接座与所述第二连接座相对设置，所述第一连接座的一端通过所述第一固定杆组连接所述第二连接座，所述第一连接座远离所述第一固定杆组的一端通过
所述第二固定杆组连接所述第二连接座远离所述第一固定杆组的一端，所述第一连接座、所述第二连接座、所述第一固定杆组及所述第二固定杆组围合形成容置腔，所述容置腔内设置所述承载机构，所述承载机构用于承载所述冶具。
[0012]更进一步，所述第一连接座及所述第二连接座呈镂空结构。
[0013]更进一步，所述第一固定杆组包括第一固定杆及第二固定杆，所述第一固定杆及所述第二固定杆自所述第一连接座的顶部向所述第一连接座的底部依次分布，所述第二固定杆组包括第三固定杆及第四固定杆，所述第三固定杆及所述第四固定杆自所述第一连接座的顶部向所述第一连接座的底部依次分布，所述第一固定杆与所述第三固定杆相对设置，所述第二固定杆与所述第四固定杆相对设置。
[0014]更进一步，所述承载机构包括承重杆组及限位杆组，所述限位杆组连接于所述第一固定杆与所述第三固定杆之间，所述承重杆组连接于所述第二固定杆与所述第四固定杆之间，所述承重杆组与所述限位杆组之间的距离小于所述冶具的直径。
[0015]更进一步，所述承重杆组包括相互平行的第一承重杆及第二承重杆，所述限位杆组包括相互平行的第一限位杆及第二限位杆，所述第一限位杆与所述第二限位杆之间的距离大于所述冶具的直径，所述第一承重杆与所述第二承重杆之间的距离小于所述冶具的直径。
[0016]更进一步，所述承重杆组与所述限位杆组之间设置分隔机构，以将所述承载机构内分隔为若干个承载空间。
[0017]再进一步，所述分隔机构包括第一分隔杆、第二分隔杆及第三分隔杆，所述第一限位杆与所述第二限位杆之间连接若干个所述第一分隔杆，若干个所述第一分隔杆间隔均匀分布，所述第一分隔杆与所述第一承重杆之间垂直连接所述第二分隔杆，所述第一分隔杆与所述第二承重杆之间垂直连接所述第三分隔杆。
附图说明
[0018]图1为本技术实施例中的螺丝清洗载具在第一视角下的结构示意图；
[0019]图2为本技术实施例中的螺丝清洗载具在第二视角下的结构示意图；
[0020]图3为图1中冶具的拆解结构示意图；
[0021]主要元件符号说明：
[0022][0023][0024]如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本技术。
具体实施方式
[0025]为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术的若干实施例。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容更加透彻全面。
[0026]需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0027]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0028]请参阅图1至图3，本技术实施例中的螺丝清洗载具，包括花篮10及冶具20，所述花篮10用于承载所述冶具20，所述冶具20用于装载需清洗的螺丝。所述花篮10包括第一
连接座110、第二连接座120、第一固定杆组230、第二固定杆组240及承载机构30，优选地，所述第一连接座110与所述第二连接座120呈镂空结构，可以理解地，所述第一连接座110及所述第二连接座120由若干连接杆组合而成，通过镂空的设置，可在所述花篮10承载所述冶具20后，将所述花篮10置于清洗装置内时，清洗液通过所述第一连接座110及所述第二连接座120，更顺畅、充分的接触所述冶具20，对所述冶具20内的螺丝进行清洗除屑。
[0029]所述第一连接座110的顶部设置第一挂接部及第二挂接部，所述第一挂接部与所述第二挂接部位于所述第一连接座110相对的两端，所述第二连接座120的顶部设置第三挂接部及第四挂接部，所述第三挂接部与所述第四挂接部位于所述第二连接座120相对的两端，通过设置所述第一挂接部、所述第二挂接部、所述第三挂接部及所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种螺丝清洗载具，其特征在于，包括花篮及冶具，所述花篮用于承载所述冶具，所述冶具包括承载部及盖合部，所述承载部朝向所述盖合部的一面内凹形成容纳槽，所述盖合部盖合所述容纳槽，所述承载部上开设若干均匀分布的第一通孔，所述第一通孔贯穿所述承载部，并连通所述容纳槽，所述承载部背向所述盖合部的一面开设若干均匀分布的第二通孔，所述第二通孔贯穿所述承载部，并连通所述容纳槽。2.根据权利要求1所述的螺丝清洗载具，其特征在于，所述容纳槽的底部凸起形成分隔板，所述分隔板将所述容纳槽分隔为若干个承载槽。3.根据权利要求1所述的螺丝清洗载具，其特征在于，所述承载部上设置锁紧机构，当所述盖合部盖合所述容纳槽时，所述锁紧机构用于锁紧所述盖合部。4.根据权利要求1所述的螺丝清洗载具，其特征在于，所述花篮包括第一连接座、第二连接座、第一固定杆组、第二固定杆组及承载机构，所述第一连接座与所述第二连接座相对设置，所述第一连接座的一端通过所述第一固定杆组连接所述第二连接座，所述第一连接座远离所述第一固定杆组的一端通过所述第二固定杆组连接所述第二连接座远离所述第一固定杆组的一端，所述第一连接座、所述第二连接座、所述第一固定杆组及所述第二固定杆组围合形成容置腔，所述容置腔内设置所述承载机构，所述承载机构用于承载所述冶具。5.根据权利要求4所述的螺丝清洗载具，其特征在于，所述第一连接座及所述第二连接座呈镂空结构。6.根据权利要求4所述的螺丝清洗载具，其特征在于，所述第一固定杆组包括第一固定杆及第二固...

【专利技术属性】
技术研发人员：付勇林，李孟轩，范绅钺，文国昇，
申请(专利权)人：江西兆驰半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：