声表面波谐振器、弹性波滤波器以及多工器制造技术

声表面波谐振器(1)具有一个IDT电极和反射器。将电极指Fe(k)和电极指Fe(k+1)的距离定义为第k个电极指间距P(k)，在电极指Fe(k

【技术实现步骤摘要】
声表面波谐振器、弹性波滤波器以及多工器


[0001]本专利技术涉及声表面波谐振器、弹性波滤波器以及多工器。

技术介绍

[0002]以往，已知有如下的声表面波谐振器，即，具有一个IDT(InterDigital Transducer，叉指换能器)电极和配置为与该IDT电极相邻的反射器。IDT电极以及反射器各自具有多个电极指。多个电极指各自在与弹性波传播方向交叉的方向上延伸且相互平行地配置。
[0003]在专利文献1公开了如下的声表面波谐振器，即，具有电极指间距在弹性波传播方向上连续地变化的IDT电极，其中，电极指间距是在弹性波传播方向上相邻的两个电极指的中心间距离。在专利文献2也公开了具有电极指间距在弹性波传播方向上连续地变化的IDT电极的声表面波谐振器。在专利文献3公开了由具有多个弹性波传播方向上的电极指间距固定的区域的IDT电极构成的声表面波谐振器。
[0004]在先技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2018
‑
182460号公报
[0007]专利文献2：日本特开2013
‑
85273号公报
[0008]专利文献3：国际公开第2017/131170号
[0009]专利文献4：国际公开第2021/010379号
[0010]在专利文献1、2以及3公开的声表面波谐振器中，存在如下情况：对于比声表面波谐振器的反谐振频率高的频率即给定值以上的频率的反射系数变小，在比反谐振频率靠高频侧产生纹波。<br/>[0011]在专利文献4公开了具备包含多个IDT电极的纵向耦合型的谐振器的弹性波滤波器。根据该文献公开的技术，能够提高弹性波滤波器的衰减特性。但是，在该文献中，并未公开对于谐振器包含的IDT电极由一个IDT电极构成的情况如何抑制上述的纹波。

技术实现思路

[0012]专利技术要解决的问题
[0013]本专利技术的目的在于，提供在声表面波谐振器包含的IDT电极由一个IDT电极构成的情况下，能够抑制在比反谐振频率靠高频侧产生的纹波的声表面波谐振器等。
[0014]用于解决问题的技术方案
[0015]为了达到上述目的，本专利技术的一个方式涉及的声表面波谐振器具有：基板，具有压电性；IDT电极，设置在所述基板；以及反射器，配置为相对于所述IDT电极在弹性波传播方向上相邻，在所述声表面波谐振器中，所述声表面波谐振器包含的所述IDT电极由一个IDT电极构成，所述IDT电极以及所述反射器各自具有在与所述弹性波传播方向交叉的方向上延伸且相互平行地配置的多个电极指，(1)将所述弹性波传播方向上的第k(k为2以上的整
数)个电极指和第(k+1)个电极指的距离定义为第k个电极指间距，(2)在第(k
‑
1)个电极指、第k个电极指、以及第(k+1)个电极指这相邻的三根电极指中，将第k个电极指间距与区间平均电极指间距的差分除以整体平均电极指间距的值定义为第k个电极指的间距偏差率，其中，所述区间平均电极指间距是第(k
‑
1)个电极指间距以及第(k+1)个电极指间距的平均，所述整体平均电极指间距是包含所述相邻的三根电极指的所述IDT电极或所述反射器具有的电极指整体的平均间距，(3)将对包含所述相邻的三根电极指的所述IDT电极或所述反射器具有的全部的电极指计算所述第k个电极指的间距偏差率而得到的所述间距偏差率的分布定义为所述间距偏差率的直方图(histogram)，在该情况下，在所述IDT电极以及所述反射器中的至少一者中，所述直方图中的所述间距偏差率的标准偏差为0.2％以上。
[0016]为了达到上述目的，本专利技术的一个方式涉及的声表面波谐振器具有：基板，具有压电性；以及IDT电极，设置在所述基板，在所述声表面波谐振器中，所述声表面波谐振器包含的所述IDT电极由一个IDT电极构成，所述IDT电极具有在与弹性波传播方向交叉的方向上延伸且相互平行地配置的多个电极指，(1)将所述弹性波传播方向上的第k(k为2以上的整数)个电极指和第(k+1)个电极指的距离定义为第k个电极指间距，(2)在第(k
‑
1)个电极指、第k个电极指、以及第(k+1)个电极指这相邻的三根电极指中，将第k个电极指间距与区间平均电极指间距的差分除以整体平均电极指间距的值定义为第k个电极指的间距偏差率，其中，所述区间平均电极指间距是第(k
‑
1)个电极指间距以及第(k+1)个电极指间距的平均，所述整体平均电极指间距是包含所述相邻的三根电极指的所述IDT电极具有的电极指整体的平均间距，(3)将对包含所述相邻的三根电极指的所述IDT电极具有的全部的电极指计算所述第k个电极指的间距偏差率而得到的所述间距偏差率的分布定义为所述间距偏差率的直方图，在该情况下，在所述IDT电极中，所述直方图中的所述间距偏差率的标准偏差为0.2％以上。
[0017]为了达到上述目的，本专利技术的一个方式涉及的弹性波滤波器包含上述的声表面波谐振器。
[0018]为了达到上述目的，本专利技术的一个方式涉及的多工器具备发送用滤波器以及接收用滤波器，所述发送用滤波器包含上述的弹性波滤波器。
[0019]专利技术效果
[0020]根据本专利技术，能够抑制在比声表面波谐振器的反谐振频率靠高频侧产生的纹波。
附图说明
[0021]图1是示意性地示出比较例1的声表面波谐振器的IDT电极的图。
[0022]图2是示意性地示出比较例2的声表面波谐振器的IDT电极的图。
[0023]图3是示意性地示出实施方式涉及的声表面波谐振器的IDT电极的图。
[0024]图4是实施方式涉及的弹性波滤波器的电路结构图。
[0025]图5是示出实施方式涉及的声表面波谐振器的电极结构的概略俯视图。
[0026]图6是表示声表面波谐振器的电极指间距的分布的图表。
[0027]图7是用于说明声表面波谐振器的区间平均电极指间距、整体平均电极指间距、间距偏差率的定义的图。
[0028]图8是对声表面波谐振器的不规则的电极指间距分布中的间距偏差率及其标准偏
差进行说明的图。
[0029]图9是示出比较例3以及实施例1、2、3中的声表面波谐振器的插入损耗的图。
[0030]图10是示出电极指的间距偏差率的标准偏差和纹波的大小的关系的图。
[0031]图11是实施方式涉及的多工器及其周边电路的结构图。
[0032]附图标记说明
[0033]1：声表面波谐振器；
[0034]2：天线；
[0035]3：电感器；
[0036]11：IDT电极；
[0037]11a、11b：梳形电极；
[0038]19A、19B：反射器；
[0039]31s、32s、51s、52s、53s、54s：串联臂谐振器；
[0040]31p、32p、51p、52p、53p：并联臂谐振器；
[0041]40：弹本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种声表面波谐振器，具有：基板，具有压电性；IDT电极，设置在所述基板；以及反射器，配置为相对于所述IDT电极在弹性波传播方向上相邻，在所述声表面波谐振器中，所述声表面波谐振器包含的所述IDT电极由一个IDT电极构成，所述IDT电极以及所述反射器各自具有在与所述弹性波传播方向交叉的方向上延伸且相互平行地配置的多个电极指，(1)将所述弹性波传播方向上的第k个电极指和第(k+1)个电极指的距离定义为第k个电极指间距，其中，k为2以上的整数，(2)在第(k
‑
1)个电极指、第k个电极指以及第(k+1)个电极指这相邻的三根电极指中，将第k个电极指间距与区间平均电极指间距的差分除以整体平均电极指间距的值定义为第k个电极指的间距偏差率，其中，所述区间平均电极指间距是第(k
‑
1)个电极指间距以及第(k+1)个电极指间距的平均，所述整体平均电极指间距是包含所述相邻的三根电极指的所述IDT电极或所述反射器具有的电极指整体的平均间距，(3)将对包含所述相邻的三根电极指的所述IDT电极或所述反射器具有的全部的电极指计算所述第k个电极指的间距偏差率而得到的所述间距偏差率的分布定义为所述间距偏差率的直方图，在该情况下，在所述IDT电极以及所述反射器中的至少一者中，所述直方图中的所述间距偏差率的标准偏差为0.2％以上。2.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其中，将在所述弹性波传播方向上相邻的四根电极指的所述电极指间距按照在所述弹性波传播方向上排列的顺序设为P(k
‑
1)、P(k)、P(k+1)，在该情况下，在至少一部分具有成为P(k
‑
1)＜P(k+1)＜P(k)或P(k
‑
1)＞P(k+1)＞P(k)的关系。3.根据权利要求2所述的声表面波谐振器，其中，所述多个电极指中的一部分的电极指具有固定的所述电极指间距，除所述一部分以外的剩余的电极指具有成为P(k
‑
1)＜P(k+1)＜P(k)或P(k
‑
1)＞P(k+1)＞P(k)的关系。4.根据权利要求3所述的声表面波谐振器，其中，所述IDT电极包含的多个所述电极指具有固定的所述电极指间距，所述反射器包含的多个所述电极指具有成为P(k
‑
1)＜P(k+1)＜P(k)或P(k
‑
1)＞P(k+1)＞P(k)的关系。5.根据权利要求3所述的声表面波谐振器，其中，
所述反射器包含的多个所述电极指具有固定的所述电极指间距，所述IDT电极包含的多个所述电极指具有成为P(k
‑
...

【专利技术属性】
技术研发人员：野口明，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：