一种硅片产线用一拖二机械手制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅片产线用一拖二机械手，包括驱动梁，所述驱动梁的内侧活动套装有滑座，所述滑座的顶部装配有对其进行驱动的驱动座，所述滑座的底部装配有驱动缸，所述驱动缸的输出轴为驱动杆，所述驱动杆的底端固定套装有主吸盘座，所述主吸盘座的顶部固定安装有第一真空座，且主吸盘座的底部装配有输入端与第一真空座相连通的主真空吸盘组；该硅片产线用一拖二机械手，通过主吸盘座底部主真空吸盘组的设置，能够通过第一真空座配合主真空吸盘组对该装置底部的硅片进行吸附，吸盘式吸附的方式能够保证该装置的限位效果，同时也能够对硅片进行防护，解决了现有夹持式机械手夹持式转运易对硅片造成损伤且转运效果不佳的问题。问题。问题。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片产线用一拖二机械手


[0001]本技术涉及硅片辅助转运
，具体为一种硅片产线用一拖二机械手。

技术介绍

[0002]经检索，专利申请号为201010618308.4的专利申请书中，公开了一种硅片机械手，所述硅片机械手包括：基座板、驱动机构、传动机构和用以承接硅片的承接板，所述驱动机构和传动机构固定于所述基座板上，所述驱动机构通过所述传动机构驱动所述承接板，所述传动机构穿过所述驱动机构的中心位置。通过本专利技术提供的硅片机械手，所述传动结构和驱动机构的出力方向一致，避免了驱动力的损耗，提高了传动效率。
[0003]但是这种机械手一般只能进行单一硅片组件的转运，不能根据需求同步对多组硅片进行转运，同时夹持式转运的方式对于硅片的限位效果不佳，易对其造成损坏的情况下也易导致硅片脱落的情况发生。
[0004]因此，我们提出了一种硅片产线用一拖二机械手。

技术实现思路

[0005](一)解决的技术问题
[0006]针对现有技术的不足，本技术提供了一种硅片产线用一拖二机械手，解决了现有装置难以根据需求对多组硅片进行高效转运的问题。
[0007](二)技术方案
[0008]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种硅片产线用一拖二机械手，包括驱动梁，所述驱动梁的内侧活动套装有滑座，所述滑座的顶部装配有对其进行驱动的驱动座，所述滑座的底部装配有驱动缸，所述驱动缸的输出轴为驱动杆，所述驱动杆的底端固定套装有主吸盘座，所述主吸盘座的顶部固定安装有第一真空座，且主吸盘座的底部装配有输入端与第一真空座相连通的主真空吸盘组。
[0009]优选的，所述驱动杆的底端通过转座装配在主吸盘座顶部的正中心处。
[0010]优选的，所述主吸盘座的外侧壁上开设有两组位置相对的套槽，所述套槽的内侧活动套装有套杆，且套杆的外端固定连接有侧吸盘座。
[0011]优选的，所述主吸盘座的两侧装配有两组侧吸盘座，所述侧吸盘座的顶部固定安装有第二真空座，且侧吸盘座的底部装配有与第二真空座相连通的侧真空吸盘组。
[0012]优选的，所述驱动梁的内侧壁上开设有两组位置相对的限位槽，且滑座的外壁上装配有与驱动梁内壁限位槽规格相适配的滑卡。
[0013]优选的，所述驱动梁的内侧可根据需求装配相应数量的机械构件。
[0014](三)有益效果
[0015]本技术提供了一种硅片产线用一拖二机械手。具备以下有益效果：
[0016]1、该硅片产线用一拖二机械手，通过主吸盘座底部主真空吸盘组的设置，能够通过第一真空座配合主真空吸盘组对该装置底部的硅片进行吸附，吸盘式吸附的方式能够保
证该装置的限位效果，同时也能够对硅片进行防护，解决了现有夹持式机械手夹持式转运易对硅片造成损伤且转运效果不佳的问题。
[0017]2、该硅片产线用一拖二机械手，通过驱动梁内侧多组机械构件的设置，能够通过不同的滑座驱动不同数量的该装置进行相应转运，能够同步对多组硅片进行高效转运，解决了现有单一机械手对于硅片转运效率有限的问题。
[0018]3、该硅片产线用一拖二机械手，通过主吸盘座两侧侧吸盘座的设置，能够配合第二真空座搭配侧真空吸盘组对硅片进行高效吸附，而套槽与套杆的设置，能够向外拉动侧吸盘座，能够对大规格硅片进行高效吸附和转运，侧面保证其转运时硅片的稳定性。
附图说明
[0019]图1为本技术的结构示意图；
[0020]图2为本技术底部的结构示意图；
[0021]图3为本技术侧视的结构示意图；
[0022]图4为本技术主吸盘座的结构示意图。
[0023]图中：1、驱动梁；2、滑座；3、驱动座；4、驱动缸；5、驱动杆；6、主吸盘座；7、转座；8、第一真空座；9、侧吸盘座；10、第二真空座；11、主真空吸盘组；12、侧真空吸盘组；13、套槽；14、套杆。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]请参阅图1
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4，本技术实施例提供一种技术方案：一种硅片产线用一拖二机械手，包括驱动梁1，驱动梁1的内侧活动套装有滑座2，滑座2的顶部装配有对其进行驱动的驱动座3，滑座2的底部装配有驱动缸4，驱动缸4的输出轴为驱动杆5，驱动杆5的底端固定套装有主吸盘座6，主吸盘座6的顶部固定安装有第一真空座8，且主吸盘座6的底部装配有输入端与第一真空座8相连通的主真空吸盘组11；
[0026]其中，在本实施例中，需要补充说明的是，该硅片产线用一拖二机械手，通过主吸盘座6底部主真空吸盘组11的设置，能够通过第一真空座8配合主真空吸盘组11对该装置底部的硅片进行吸附，吸盘式吸附的方式能够保证该装置的限位效果，同时也能够对硅片进行防护，解决了现有夹持式机械手夹持式转运易对硅片造成损伤且转运效果不佳的问题。
[0027]在本实施例中，需要补充说明的是，驱动杆5的底端通过转座7装配在主吸盘座6顶部的正中心处；
[0028]其中，转座7的设置便于对主吸盘座6的旋动角度进行调节，以便于配合主真空吸盘组11对硅片进行高效转运。
[0029]在本实施例中，需要补充说明的是，主吸盘座6的外侧壁上开设有两组位置相对的套槽13，套槽13的内侧活动套装有套杆14，且套杆14的外端固定连接有侧吸盘座9；
[0030]在本实施例中，进一步需要补充说明的是，主吸盘座6的两侧装配有两组侧吸盘座
9，侧吸盘座9的顶部固定安装有第二真空座10，且侧吸盘座9的底部装配有与第二真空座10相连通的侧真空吸盘组12；
[0031]其中，该硅片产线用一拖二机械手，通过主吸盘座6两侧侧吸盘座9的设置，能够配合第二真空座10搭配侧真空吸盘组12对硅片进行高效吸附，而套槽13与套杆14的设置，能够向外拉动侧吸盘座9，能够对大规格硅片进行高效吸附和转运，侧面保证其转运时硅片的稳定性。
[0032]在本实施例中，需要补充说明的是，驱动梁1的内侧壁上开设有两组位置相对的限位槽，且滑座2的外壁上装配有与驱动梁1内壁限位槽规格相适配的滑卡；
[0033]在本实施例中，进一步需要补充说明的是，驱动梁1的内侧可根据需求装配相应数量的机械构件；
[0034]其中，该硅片产线用一拖二机械手，通过驱动梁1内侧多组机械构件的设置，能够通过不同的滑座2驱动不同数量的该装置进行相应转运，能够同步对多组硅片进行高效转运，解决了现有单一机械手对于硅片转运效率有限的问题。
[0035]本技术的工作原理及使用流程：当需要该装置对硅片进行转运时，将该装置装配在相应位置上，然后打开滑座2驱动机械组件至硅片的上方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片产线用一拖二机械手，其特征在于：包括驱动梁(1)，所述驱动梁(1)的内侧活动套装有滑座(2)，所述滑座(2)的顶部装配有对其进行驱动的驱动座(3)，所述滑座(2)的底部装配有驱动缸(4)，所述驱动缸(4)的输出轴为驱动杆(5)，所述驱动杆(5)的底端固定套装有主吸盘座(6)，所述主吸盘座(6)的顶部固定安装有第一真空座(8)，且主吸盘座(6)的底部装配有输入端与第一真空座(8)相连通的主真空吸盘组(11)。2.根据权利要求1所述的一种硅片产线用一拖二机械手，其特征在于：所述驱动杆(5)的底端通过转座(7)装配在主吸盘座(6)顶部的正中心处。3.根据权利要求1所述的一种硅片产线用一拖二机械手，其特征在于：所述主吸盘座(6)的外侧壁上开设有两组位置相对的...

【专利技术属性】
技术研发人员：高波，祝伟，
申请(专利权)人：新疆康特硅基新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：