检测设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种检测设备，所述检测设备包括承载装置以及第一传感器组件，所述第一传感器组件包括至少三个第一传感器；所述第一传感器与所述承载装置连接，所述第一传感器与所述承载装置的中心位置之间的距离大于或等于所述承载装置的半径；当所述承载装置承载待测件，所述待测件遮挡所述任一所述第一传感器发出或接受的第一信息。当所述承载装置承载待测件时，通过多个所述第一传感器检测所述第一信号判断所述待测件与所述承载装置之间的相对位置，从而方便对所述承载装置上的所述待测件进行位置调节，从而提高所述待测件的位置精度，提高对待测件的检测准确率。提高对待测件的检测准确率。提高对待测件的检测准确率。

【技术实现步骤摘要】
检测设备


[0001]本技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种检测设备。

技术介绍

[0002]在对待测件的检测过程中，通常需要将待测件传送至承载装置上，在承载装置承载待测件时，为了保证检测方便，通常会使待测件的中心与承载装置的中心进行重合，从而方便后续对待测件上的各个缺陷位置进行定位，但是在实际检测过程中，经常会由于检测误差从而导致承载装置的位置发生偏移或承载装置上的待测件位置出现偏移，从而造成待测件的缺陷的检测信息错误，降低了对待测件的检测准确率。

技术实现思路

[0003]为克服现有技术中的至少部分缺陷和问题，本技术实施例提供了一种检测设备，旨在提高对待测件的检测准确率。
[0004]具体地，一方面，本技术一个实施例提供的一种所述检测设备，所述检测设备包括承载装置以及第一传感器组件，所述第一传感器组件包括至少三个第一传感器；
[0005]所述第一传感器与所述承载装置连接，所述第一传感器与所述承载装置的中心位置之间的距离大于或等于所述承载装置的半径；
[0006]当所述承载装置承载待测件，所述待测件遮挡每个所述第一传感器发出或接受的第一信号。
[0007]在一实施例中，所述承载装置的边缘周侧的设有多个缺口，所述第一传感器设于所述缺口形成的空间内，所述缺口的数量与所述第一传感器的数量相同。
[0008]在一实施例中，所述第一传感器组件包括三个所述第一传感器，三个所述第一传感器均与所述承载装置连接，且以均匀角度间隔分布于所述承载装置的周侧边缘。
[0009]在一实施例中，所述承载装置包括有安装孔，所述安装孔以所述承载装置的中心沿周向方向均匀设置，所述安装孔的数量与所述第一传感器的数量相同，所述第一传感器设于所述安装孔内，且所述第一传感器的高度低于所述承载面。
[0010]在一实施例中，所述安装孔为通孔结构。
[0011]在一实施例中，所述承载装置为真空吸附型承载装置，所述承载装置靠近所述承载面一侧设有真空吸附区域，所述安装孔避让所述真空吸附区域。
[0012]在一实施例中，所述第一传感器组件包括至少六个所述第一传感器，其中至少三个所述第一传感器以所述承载装置的中为圆心，沿第一半径周向设置，至少三个所述第一传感器以所述承载装置的中为圆心，沿第二半径周向设置，第一半径与第二半径不相等。
[0013]在一实施例中，所述检测设备还包括平台、移动组件以及第二传感器组件，所述承载装置通过所述移动组件与所述平台连接；
[0014]所述第二传感器组件包括至少三个第二传感器；每个所述第二传感器均设于所述承载装置的周侧且与所述平台连接，所述第二传感器用于获取所述承载装置的边缘信息。
[0015]在一实施例中，所述第二传感器为对射传感器，所述第二传感器包括发射器与接收器，所述发射器或所述接收器与所述平台连接，所述发射器与所述接收器的连线方向与所述承载装置的承载面垂直。
[0016]在一实施例中，所述第二传感器组件包括四个所述第二传感器，四个所述第二传感器以均匀角度间隔环绕所述承载装置分布。
[0017]由上可知，本技术上述实施例可以达成以下一个或多个有益效果：所述检测设备包括承载装置以及第一传感器组件，所述第一传感器组件包括至少三个第一传感器；所述第一传感器与所述承载装置连接，所述第一传感器与所述承载装置的中心位置之间的距离大于或等于所述承载装置的半径；当所述承载装置承载待测件，所述待测件遮挡所述任一所述第一传感器发出或接受的第一信息。当所述承载装置承载待测件时，通过多个所述第一传感器检测所述第一信号判断所述待测件与所述承载装置之间的相对位置，从而方便对所述承载装置上的所述待测件进行位置调节，从而提高所述待测件的位置精度，提高对待测件的检测准确率。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为本申请一实施例提供的一种检测设备的结构示意图；
[0020]图2为本申请一实施例提供的另一种检测设备承载待测件时的结构示意图；
[0021]图3为本申请一实施例提供的另一种检测设备未承载待测件时的结构示意图；
[0022]图4为图3中检测设备的俯视图；
[0023]图5为图3中检测设备的前视图。
[0024]附图标号说明：
[0025]标号名称标号名称10承载装置40第二传感器组件20第一传感器组件41第二传感器21第一传感器411发射器11缺口412接收器12安装孔50待测件30平台60移动组件
具体实施方式
[0026]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。
[0027]为了使本领域普通技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新
型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。
[0028]需要说明的是，本技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应当理解这样使用的术语在适当情况下可以互换，以便这里描述的本技术实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。
[0029]还需要说明的是，本技术中多个实施例的划分仅是为了描述的方便，不应构成特别的限定，各种实施例中的特征在不矛盾的情况下可以相结合，相互引用。
[0030]本技术第一实施例提供了一种检测设备，所述检测设备包括承载装置10以及第一传感器组件20；其中，所述承载装置10用于承载待测件50，在一具体实施方式中，所述待测件50为晶圆、玻璃基片或其他需要用于进行检测的产品。另外，所述承载装置10根据承载方式，可以为真空吸附型承载装置10或气浮型承载装置10。
[0031]其中，所述第一传感器组件20包括至少三个第一传感器21，所述第一传感器组件20用于用于检测所述待测件50的边缘，并确定所述待测件50的边缘信息，从而确定所述待测件50与所述承载装置10的相对位置。具体的，为了能够准确的确定所述待测件50的边缘信息，设置所述第一传感器21与所述承载装置10的中心位置之间的距离大于或本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检测设备，其特征在于，所述检测设备包括承载装置以及第一传感器组件，所述第一传感器组件包括至少三个第一传感器；所述第一传感器与所述承载装置连接，所述第一传感器与所述承载装置的中心位置之间的距离大于或等于所述承载装置的半径；当所述承载装置承载待测件，所述待测件遮挡每个所述第一传感器发出或接受的第一信号。2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述承载装置的边缘周侧的设有多个缺口，所述第一传感器设于所述缺口形成的空间内，所述缺口的数量与所述第一传感器的数量相同。3.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述第一传感器组件包括三个所述第一传感器，三个所述第一传感器均与所述承载装置连接，且以均匀角度间隔分布于所述承载装置的周侧边缘。4.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述承载装置包括有安装孔，所述安装孔以所述承载装置的中心沿周向方向均匀设置，所述安装孔的数量与所述第一传感器的数量相同，所述第一传感器设于所述安装孔内，且所述第一传感器的高度低于所述承载装置的承载面。5.根据权利要求4所述的检测设备，其特征在于，所述安装孔为通孔结构。6.根据权利要求4所述的检测设备，其特征在于，所述承载...

【专利技术属性】
技术研发人员：祖建成，马砚忠，陈鲁，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：