本发明专利技术涉及燃料电池金属极板涂层设备等离子体在线监控装置，包括：涂层设备，所述涂层设备上活动安装有用于对燃料电池的进行承托的承接板；所述涂层设备上还可拆卸的安装有安装架，所述安装架的下部设置有检测组件，所述检测组件同所述安装架上的动力机构连接，所述动力机构可驱使所述检测组件沿燃料电池金属极板的长度方向动作，所述动力机构包括动力组件以及升降组件，所述升降组件可在所述检测组件运动时，带动所述检测组件朝向燃料电池的金属极板运动；所述安装架上还安装有下压机构，所述下压机构在所述检测组件与所述燃料电池的金属极板贴合前与所述燃料电池的金属极板抵接，以实现对燃料电池金属极板多面域的检测，使检测结果更加准确。使检测结果更加准确。使检测结果更加准确。
【技术实现步骤摘要】
燃料电池金属极板涂层设备等离子体在线监控装置
[0001]本专利技术涉及燃料电池金属极板涂层等离子体监控领域，具体是燃料电池金属极板涂层设备等离子体在线监控装置。
技术介绍
[0002]在燃料电池的生产过程中，为了避免其金属极板与空气接触发生氧化，大多需要在燃料电池的金属极板上镀覆薄膜。
[0003]其中 ,形成薄膜的工序大部分使用化学气相沉积方法或等离子体
‑
增强化学气相沉积方法来进行。用于等离子体增强化学气相沉积的等离子体装置通常包括用于形成反应空间的腔室、用于向腔室供给反应气体的气体供给部、用于向气体供给部供电的电源装置以及用于放置基板的卡盘。
[0004]在这种等离子体
‑
增强化学气相沉积方法中,观察等离子体的状态对于形成厚度均匀的薄膜非常重要。但是,现有的等离子体工序监控装置大部分为对分布于腔室内部的等离子体的总浓度进行观察,因此存在即使等离子体分布偏向于腔室的特定部位,也无法检测等离子体的均匀度的问题。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于提供燃料电池金属极板涂层设备等离子体在线监控装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：燃料电池金属极板涂层设备等离子体在线监控装置，包括：涂层设备，所述涂层设备上活动安装有用于对燃料电池的进行承托的承接板；所述涂层设备上还可拆卸的安装有安装架，所述安装架的下部设置有检测组件，所述检测组件同所述安装架上的动力机构连接，所述动力机构可驱使所述检测组件沿燃料电池金属极板的长度方向动作，所述动力机构包括动力组件以及升降组件，所述升降组件可在所述检测组件运动时，带动所述检测组件朝向燃料电池的金属极板运动；所述安装架上还安装有下压机构，所述下压机构在所述检测组件与所述燃料电池的金属极板贴合前与所述燃料电池的金属极板抵接。
[0007]作为本专利技术进一步的方案：所述检测组件包括固定安装在所述升降组件远离所述安装架的一端的横置板，所述横置板上等距开设有多个通孔，每个所述通孔内均滑动安装有一个测量探针，所述测量探针的上端部连接有检测装置，所述检测装置通过连接架与所述横置板连接；所述测量探针上设置有上限位环以及下限位环，且所述测量探针上套设有一号弹簧，所述一号弹簧的一端与所述下限位环连接，另一端与所述升降组件连接。
[0008]作为本专利技术再进一步的方案：所述动力组件包括固定安装在所述安装架上的驱动装置，所述驱动装置的输出轴连接转动安装在所述安装架上的丝杆，所述丝杆上设置有与
之螺纹连接的螺纹套筒，所述螺纹套筒与滑动于所述安装架上的滑槽内的滑块固定连接。
[0009]作为本专利技术再进一步的方案：所述升降组件包括连接于所述滑块的移动套板，所述移动套板内滑动安装有升降套板，所述升降套板远离所述滑块的一端与所述横置板固定连接，且所述升降套板与所述移动套板之间通过传动结构连接。
[0010]作为本专利技术再进一步的方案：所述传动结构包括贯穿于所述移动套板转动设置的转轴，所述转轴的一端同轴连接有齿轮，所述齿轮与设置在所述安装架上的齿条板适配；所述传动结构还包括转动安装在所述移动套板侧壁上的两个槽轮，两个所述槽轮之间套设有牵引线缆，所述牵引线缆通过随动件连接所述升降套板；其中一个所述槽轮与所述转轴的另一端同轴连接。
[0011]作为本专利技术再进一步的方案：所述齿轮与所述安装架之间设置有用于对于所述齿轮进行限位的锁止结构；所述锁止结构包括与所述齿轮的转轴固定连接的导向套筒，所述导向套筒与安装在所述安装架上的导向杆适配。
[0012]作为本专利技术再进一步的方案：所述下压机构包括连接所述升降套板的两个滑动套筒，所述滑动套筒与设置在所述安装架内的升降架滑动连接，所述升降架滑动于所述安装架内壁上的导槽；所述升降架的两端还设置有弹性抵接结构。
[0013]作为本专利技术再进一步的方案：所述弹性抵接结构包括滑动设置在所述升降架两端的抵接杆，所述抵接杆的两端均设置有凸台，且所述抵接杆上套设有二号弹簧，所述二号弹簧的一端与所述升降架连接，另一端与所述抵接杆下端部的所述凸台连接。
[0014]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：通过设置的多个测量探针，实现对燃料电池金属极板上的薄膜厚度进行多面域检测，并通过转换形成电流值，根据电流值的范围判定薄膜厚度是否符合标准，相较于采用对等离子体浓度检测结果判断薄膜的厚度，本专利技术检测出的结果更加准确，更具有代表性；通过联动设置的动力机构以及下压机构，可实现在检测时，对燃料电池进行一定程度的固定，以防止在检测过程中，由于燃料电池发生移动，导致检测结果不准确。
附图说明
[0015]图1为燃料电池金属极板涂层设备等离子体在线监控装置实施例的结构示意图。
[0016]图2为燃料电池金属极板涂层设备等离子体在线监控装置实施例中又一角度的结构示意图。
[0017]图3为燃料电池金属极板涂层设备等离子体在线监控装置实施例中部分安装架去除后的结构示意图。
[0018]图4为图3中A处的结构放大示意图。
[0019]图5为燃料电池金属极板涂层设备等离子体在线监控装置实施例中检测组件的结构示意图。
[0020]图6为燃料电池金属极板涂层设备等离子体在线监控装置实施例中传动结构结构示意图。
[0021]图7为燃料电池金属极板涂层设备等离子体在线监控装置实施例中传动结构又一
角度的结构示意图。
[0022]图8为燃料电池金属极板涂层设备等离子体在线监控装置实施例中下压机构的结构示意图。
[0023]图9为燃料电池金属极板涂层设备等离子体在线监控装置实施例中检测装置内部的接线图。
[0024]图中：1、涂层设备；2、直线输送模组；3、承接板；4、安装架；5、驱动装置；6、丝杆；7、滑槽；8、螺纹套筒；9、滑块；10、移动套板；11、升降套板；12、滑动套筒；13、测量探针；14、连接架；15、检测装置；16、一号弹簧；17、上限位环；18、下限位环；19、齿轮；20、齿条板；21、导向套筒；22、导向杆；23、槽轮；24、牵引线缆；25、随动件；26、升降架；27、导槽；28、抵接杆；29、二号弹簧；30、活动端；31、横置板。
具体实施方式
[0025]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0026]另外，本专利技术中的元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.燃料电池金属极板涂层设备等离子体在线监控装置，其特征在于，包括：涂层设备（1），所述涂层设备（1）上活动安装有用于对燃料电池的进行承托的承接板（3）；所述涂层设备（1）上还可拆卸的安装有安装架（4），所述安装架（4）的下部设置有检测组件，所述检测组件同所述安装架（4）上的动力机构连接，所述动力机构可驱使所述检测组件沿燃料电池金属极板的长度方向动作，所述动力机构包括动力组件以及升降组件，所述升降组件可在所述检测组件运动时，带动所述检测组件朝向燃料电池的金属极板运动；所述安装架（4）上还安装有下压机构，所述下压机构在所述检测组件与所述燃料电池的金属极板贴合前与所述燃料电池的金属极板抵接；所述检测组件包括固定安装在所述升降组件远离所述安装架（4）的一端的横置板（31），所述横置板（31）上等距开设有多个通孔，每个所述通孔内均滑动安装有一个测量探针（13），所述测量探针（13）的上端部连接有检测装置（15），所述检测装置（15）通过连接架（14）与所述升降组件连接；所述测量探针（13）上设置有上限位环（17）以及下限位环（18），且所述测量探针（13）上套设有一号弹簧（16），所述一号弹簧（16）的一端与所述下限位环（18）连接，另一端与横置板（31）连接；所述动力组件包括固定安装在所述安装架（4）上的驱动装置（5），所述驱动装置（5）的输出轴连接转动安装在所述安装架（4）上的丝杆（6），所述丝杆（6）上设置有与之螺纹连接的螺纹套筒（8），所述螺纹套筒（8）与滑动于所述安装架（4）上的滑槽（7）内的滑块（9）固定连接。2.根据权利要求1所述的燃料电池金属极板涂层设备等离子体在线监控装置，其特征在于，所述升降组件包括连接于所述滑块（9）的移动套板（10），所述移动套板（10）内滑动安装有升降套板（11），所述升降套板11远离所述滑块（9）的一端与所...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩治昀，魏科科，付宇，郑昭民，彭旭，
申请(专利权)人：常州翊迈新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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