一种双面光刻系统的装载系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种双面光刻系统的装载系统，用于装载PCB组件的龙门式平台，PCB组件包括：PCB板的上下两面分别对应设置有上玻璃板和下玻璃板，本实用新型专利技术的装载系统，通过在PCB板上增设上玻璃和下玻璃，可以将PCB板进行固定并调平，使得PCB板的两侧不会发生卷边，从而保证后期光刻的质量；以及有效防PCB塞孔，防止油墨污染。防止油墨污染。防止油墨污染。

【技术实现步骤摘要】
一种双面光刻系统的装载系统


[0001]本技术涉及双面光刻
，具体涉及一种双面光刻系统的装载系统。

技术介绍

[0002]中国专利CN108873621 B公开了一种悬臂式双台面的双面光刻机及双面光刻方法，双面光刻机包括安装架；分别设于安装架两侧的第一光刻组件和第二光刻组件；第一装载台和第二装载台；及驱动机构，驱动机构包括驱动组件，第一装载台和第二装载台分别在第一运动状态和第二运动状态通过光刻区。当光刻时，第一装载台以第一循环轨迹运动、并在第一运动状态时通过光刻区、以对第一待光刻件进行光刻，而第二装载台以第二循环轨迹运动、并在第二运动状态时通过光刻区、以对第二待光刻件进行光刻，第一装载台和第二装载台均循环运动，且第二待光刻件光刻时还能进行第一光刻成品的卸载或下一个第一待光刻件的装载；
[0003]但是上述的现有技术中，PCB板也是采用直接放置双面光刻，而这种也将会发生PCB板两侧发生卷边等问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的就在于解决PCB板也是采用直接放置双面光刻，而这种也将会发生PCB板两侧发生卷边等问题，而提出一种双面光刻系统的装载系统。
[0005]本技术的目的可以通过以下技术方案实现：
[0006]一种双面光刻系统的装载系统，用于装载PCB组件的龙门式平台，PCB组件包括：
[0007]PCB板的上下两面分别对应设置有上玻璃板和下玻璃板。
[0008]作为本技术进一步的方案：龙门式平台：为PCB组件的载体，并沿着底座往返移动，包括具有高度差的龙门式上平台和龙门式下平台，或同一高度的龙门式左平台和龙门式右平台。
[0009]作为本技术进一步的方案：CCD组件，包括对位相机，并沿着龙门式平台对称设置两个且进行移动，用于对PCB组件定位。
[0010]作为本技术进一步的方案：龙门式上平台和龙门式下平台为U型支撑结构。
[0011]作为本技术进一步的方案：龙门式左平台和龙门式右平台为U型支撑结构。
[0012]作为本技术进一步的方案：光刻组件包括光刻镜头，并沿着龙门式平台对称设置两个且进行移动，用于对PCB组件光刻。
[0013]作为本技术进一步的方案：龙门式上平台顶面的水平高度高于龙门式下平台顶面的水平高度。
[0014]作为本技术进一步的方案：龙门式上平台的宽度大于龙门式下平台的宽度。
[0015]作为本技术进一步的方案：龙门式平台与底座之间通过滑轨方式进行连接。
[0016]本技术的有益效果：
[0017]本技术通过在PCB板上增设上玻璃和下玻璃，可以将PCB板进行固定并调平，
使得PCB板的两侧不会发生卷边，从而保证后期光刻的质量；以及有效防PCB塞孔，防止油墨污染。
附图说明
[0018]下面结合附图对本技术作进一步的说明。
[0019]图1是本技术上下龙门式平台光刻系统的结构示意图；
[0020]图2是本技术上下龙门式平台光刻系统的俯视图；
[0021]图3是本技术图2中C
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C的剖视图；
[0022]图4是本技术左右龙门式平台光刻系统的结构示意图；
[0023]图5是本技术左右龙门式平台光刻系统的结构示意图；
[0024]图6是本技术图5中D
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D的剖视图；
[0025]图7是本技术压紧机构的结构示意图；
[0026]图8是本技术立柱与压紧板连接关系的结构示意图；
[0027]图9是本技术装卸机构的结构示意图；
[0028]图10是本技术装卸机构的剖视图。
[0029]图中：1、底座；2、顶座；31、龙门式上平台；32、龙门式左平台；41、龙门式下平台；42、龙门式右平台；5、上光刻组件；6、下光刻组件；7、上CCD组件；8、下CCD组件；9、PCB板组件；91、PCB板体；92、上玻璃板；93、下玻璃板；
[0030]10、压紧机构；101、弹性座；102、立柱；103、压紧辊；104、压紧板；105、滑轮；
[0031]11、装卸机构；111、基座；112、伸缩杆；113、吸盘；114、活动杆；115、双轴气缸；116、安装板；117、升降气缸。
具体实施方式
[0032]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0033]实施例1
[0034]请参阅图1
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3所示，本技术为一种龙门双面光刻系统，包括底座1、顶座2、龙门式上平台31、龙门式下平台41、上光刻组件5、下光刻组件6、上CCD组件7、下CCD组件8、PCB组件9；
[0035]底座1的顶面上设置有两个顶座2，两组顶座2之间预留有空隙，上光刻组件5设置在两组顶座2的空隙中，在上光刻组件5的正下方设置有下光刻组件6，下光刻组件6位于底座1上，底座1的顶面两侧分别设置有龙门式上平台31和龙门式下平台41，龙门式上平台31和龙门式下平台41的底面分别通过滑轨与底座1的顶面滑动连接；以及在顶座2上设置有上CCD组件7，底座1上对应设置有下CCD组件8，龙门式上平台31和龙门式下平台41的顶面上设置有PCB组件9；
[0036]其中，顶座2为U型结构；
[0037]龙门式上平台31和龙门式下平台41也为U型结构，龙门式上平台31、龙门式下平台
41的U型结构，可以对很好地对平台顶面上起到支撑作用，使得PCB组件对应放置在平台顶面上，不会发生晃动倾斜的问题，保证PCB组件在光刻时的稳定性，从而提高PCB组件被光刻时的质量；龙门式上平台31顶面的水平高度高于龙门式下平台41顶面的水平高度，龙门式上平台31的宽度大于龙门式下平台41的宽度，使得龙门式下平台41将沿着龙门式上平台31下方移动，在光刻时，两者之间可以实现交叉作业，从而将其光刻效果；龙门式上平台31和龙门式下平台41通过移动模组沿着底座1进行往复移动，实现上料、光刻、卸料工序；
[0038]上光刻组件5、下光刻组件6结构相同，均包括光刻镜头和镜头移动板，光刻镜头连接在镜头移动板上，镜头移动板对应安装在底座1和顶座2上，镜头移动板与移动模组连接，通过移动模组控制上光刻组件5和下光刻组件6沿着X轴和Z轴进行移动，分别对应调节光刻组件的水平位置和高度位置；
[0039]上CCD组件7和下CCD组件8包括对位相机，对位相机连接在相机移动板上，相机移动板对应安装在底座1和顶座2上，相机移动板与移动模组连接；通过移动模组控制上CCD组件7和下CCD组件8沿着X轴和Y轴进行移动，分别对应调节CCD组件本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双面光刻系统的装载系统，用于装载PCB组件(9)的龙门式平台，其特征在于，PCB组件(9)包括：PCB板(91)的上下两面分别对应设置有上玻璃板(92)和下玻璃板(93)。2.根据权利要求1所述的一种双面光刻系统的装载系统,其特征在于，龙门式平台：为PCB组件(9)的载体，并沿着底座(1)往返移动，包括具有高度差的龙门式上平台(31)和龙门式下平台(41)，或同一高度的龙门式左平台(32)和龙门式右平台(42)。3.根据权利要求2所述的一种双面光刻系统的装载系统,其特征在于，CCD组件，包括对位相机，并沿着龙门式平台对称设置两个且进行移动，用于对PCB组件(9)定位。4.根据权利要求3所述的一种双面光刻系统的装载系统,其特征在于，龙门式上平台(31)和龙门式下平台(...

【专利技术属性】
技术研发人员：王华，陈志特，朱敏，甘泉，黄海浩，
申请(专利权)人：广东科视光学技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：