本实用新型专利技术涉及一种利用电磁脉冲清除加工屑的装置，包括：电磁脉冲发射器，所述电磁脉冲发射器包括支撑结构和设置在所述支撑结构一端的感应线圈；以及电磁脉冲控制系统，所述电磁脉冲控制系统与所述感应线圈电性连接，用于控制脉冲宽度和脉冲间隔。该装置通过在金刚石线锯的一侧设置电磁脉冲发射器，利用电磁脉冲对加工屑进行充分消电离，从而降低加工屑的粘附性，之后利用工作液将加工屑带走，从而确保相邻金刚石线的间隙不被堵塞，避免金刚石线因张力增大而断裂。因张力增大而断裂。因张力增大而断裂。
【技术实现步骤摘要】
一种利用电磁脉冲清除加工屑的装置
[0001]本技术涉及线锯切割
，具体涉及一种利用电磁脉冲清除加工屑的装置。
技术介绍
[0002]半导体行业中，晶圆片的切割多数采用金刚石线切割技术。然而，在晶圆片切割过程中，因金刚石线张力增大导致金刚石线断裂成为晶圆片切割过程中的常态现象。而金刚石线作为切割的核心部件，其断裂所造成的机台停机、废线处理、人员时间浪费、甚至产品报废等让当前生产晶圆片衬底的企业承受相当大的损失。因此，如何在切割过程中减少因张力增大导致的金刚线断裂现象是亟待解决的问题。
[0003]因此，特提出本技术。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是解决现有技术中存在的技术问题，提供一种利用电磁脉冲清除加工屑的装置，该装置通过在金刚石线锯的一侧设置电磁脉冲发射器，利用电磁脉冲对加工屑进行充分消电离，从而降低加工屑的粘附性，之后利用工作液将加工屑带走，从而确保相邻金刚石线的间隙不被堵塞，避免金刚石线因张力增大而断裂。
[0005]为了实现以上目的，本技术提供如下技术方案。
[0006]一种清除加工屑的装置，包括：
[0007]电磁脉冲发射器，所述电磁脉冲发射器包括支撑结构和设置在所述支撑结构一端的感应线圈；以及
[0008]电磁脉冲控制系统，所述电磁脉冲控制系统与所述感应线圈电性连接，用于控制脉冲宽度和脉冲间隔。
[0009]相比现有技术，本技术的有益效果：
[0010]1、本技术提供了一种利用电磁脉冲清除加工屑的装置，该装置通过在金刚石线锯的一侧设置电磁脉冲发射器，利用电磁脉冲对加工屑进行充分消电离，从而降低加工屑的粘附性，之后利用工作液将加工屑带走，从而确保相邻金刚石线的间隙不被堵塞，避免金刚石线因张力增大而断裂。
[0011]2、本技术的装置包括有机械臂，可根据需要控制机械臂的活动，从而调整感应线圈与金刚石线锯之间的距离。另外，在加工过程中，加工件的位置不断变化，本技术的红外感应器可实时监控感应线圈与加工件之间的距离，当两者过于接近时，红外感应器可将信号传输至电磁脉冲控制系统，由电磁脉冲控制系统发出指令来调整机械臂的位置，从而确保加工件不会碰触感应线圈，对感应线圈起到保护作用。
[0012]3、本技术的遮挡外壳可吸收电磁脉冲能量，通过在遮挡外壳上设置朝向金刚石线锯的开口，从而限定了由感应线圈发射的脉冲的传播方向，避免了脉冲向任意方向传播，从而减少对其他电子结构的危害。本技术的隔板可吸收过量的电磁脉冲能量，避免
了多余脉冲对其他电子结构的危害，同时避免了由脉冲反射带来的风险。
[0013]4、本技术的装置结构简单、操作方便且性能安全。
附图说明
[0014]通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本技术的限制。而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中：
[0015]图1为本技术的清除加工屑的装置的主视图。
[0016]图2为图1中的电磁脉冲发射器的放大图。
[0017]图3为图1中的电磁脉冲发射器的局部结构示意图。
[0018]图4为图1中的电磁脉冲控制系统的结构示意图。
[0019]附图标记说明：
[0020]100为晶圆体，200为料架，300为金刚石线锯，400为电磁脉冲发射器，401为支架，402为机械臂，402a为第一关节臂，402b为第二关节臂，403为遮挡外壳，404为感应线圈，405为红外感应器，500为隔板，600为电磁脉冲控制系统，601为脉冲级别灯，602为脉冲宽度调节开关，603为脉冲间隔调节开关，604为电源开关，605为电源指示灯，606为警报灯，607为工作灯，608为手自动开关，609为感应线圈左右位置调节开关，610为感应线圈上下位置调节开关，611为LED显示器，612为原点复位键。
具体实施方式
[0021]以下，将参照附图来描述本公开的实施例。但是应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本公开的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本公开的概念。
[0022]在附图中示出了根据本公开实施例的各种结构示意图。这些图并非是按比例绘制的，其中为了清楚表达的目的，放大了某些细节，并且可能省略了某些细节。图中所示出的各种区域、层的形状以及它们之间的相对大小、位置关系仅是示例性的，实际中可能由于制造公差或技术限制而有所偏差，并且本领域技术人员根据实际所需可以另外设计具有不同形状、大小、相对位置的区域/层。
[0023]在本公开的上下文中，当将一层/元件称作位于另一层/元件“上”时，该层/元件可以直接位于该另一层/元件上，或者它们之间可以存在居中层/元件。另外，如果在一种朝向中一层/元件位于另一层/元件“上”，那么当调转朝向时，该层/元件可以位于该另一层/元件“下”。
[0024]下面将结合具体附图对本技术作进一步说明。
[0025]图1给出了本技术的清除加工屑的装置的主视图。具体地，如图1所示，本技术的清除加工屑的装置包括：电磁脉冲发射器400，电磁脉冲发射器400包括支撑结构和设置在所述支撑结构一端的感应线圈；以及电磁脉冲控制系统600，电磁脉冲控制系统600与所述感应线圈电性连接，用于控制脉冲宽度和脉冲间隔。
[0026]本技术的装置通过在金刚石线锯的一侧设置电磁脉冲发射器，利用电磁脉冲对加工屑进行充分消电离，从而降低加工屑的粘附性，之后利用工作液将加工屑带走，从而
确保相邻金刚石线的间隙不被堵塞，避免金刚石线因张力增大而断裂。
[0027]图2给出了图1中的电磁脉冲发射器的放大图。图3给出了图1中的电磁脉冲发射器的局部结构示意图。具体地，如图2和3所示，电磁脉冲发射器400包括支撑结构和设置在所述支撑结构一端的感应线圈404。所述支撑结构包括支架401和机械臂402，机械臂402的两端分别与支架401和感应线圈404连接，并且机械臂402与电磁脉冲控制系统600电性连接。根据实际需要，通过电磁脉冲控制系统600可以控制机械臂402的上下移动和左右移动，从而调整感应线圈和加工件的间距以及感应线圈和金刚石线锯的间距。机械臂402还可包括第一关节臂402a和第二关节臂402b，第一关节臂402a与支架401连接，第二关节臂402b与感应线圈404连接。第一关节臂402a和第二关节臂402b可通过转轴活动连接。这样设置使得机械臂更加灵活，更加便于调整感应线圈的位置。
[0028]在一些实施方案中，电磁脉冲发射器400还包括：红外感应器405，红外感应器405和感应线圈404设置在所述支撑结构的同一端，并且与电磁脉冲控制系统600电性连接，用于监控所述感应线圈和加工件的间距。在一些具体实施例中，红外感应器405和感应线圈404设置在第二关本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种清除加工屑的装置，其特征在于，包括：电磁脉冲发射器，所述电磁脉冲发射器包括支撑结构和设置在所述支撑结构一端的感应线圈；以及电磁脉冲控制系统，所述电磁脉冲控制系统与所述感应线圈电性连接，用于控制脉冲宽度和脉冲间隔。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述支撑结构包括支架和机械臂，所述机械臂的两端分别与所述支架和所述感应线圈连接，并且所述机械臂与所述电磁脉冲控制系统电性连接。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述电磁脉冲发射器还包括：红外感应器，所述红外感应器和所述感应线圈设置在所述支撑结构的同一端，并且与所述电磁脉冲控制系统电性连接，用于监控所述感应线圈和加工件的间距。4.根据权利要求1
‑
3中任一项所述的装置，其特征在于，还包括：隔板，所述隔板和所述电磁脉冲发射器设置在金刚石线锯的相对两侧，所述隔板用于吸收过量的电磁脉冲能量。5.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐良，余雅俊，占俊杰，陈素春，孟秀清，童雪峰，
申请(专利权)人：金华博蓝特新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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