一种用于控制风向的晶圆传输系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种用于控制风向的晶圆传输系统，包括系统框架以及位于系统框架内部的晶圆传输腔室，所述晶圆传输腔室包括位于其顶端的进风口和位于其底端的出风口，所述进风口固定用于向晶圆传输腔室供风的风机过滤机组，所述风机过滤机组的排风口除固定蜂窝芯板，所述排风口竖直朝下；所述蜂窝芯板包含多个与所述排风口平行的通孔。本实用新型专利技术提供的一种用于控制风向的晶圆传输系统，确保晶圆传输系统内部风速均匀性，避免晶圆被损坏。避免晶圆被损坏。避免晶圆被损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种用于控制风向的晶圆传输系统


[0001]本技术属于半导体装置领域，具体属于一种用于控制风向的晶圆传输系统。

技术介绍

[0002]FFU英文全称为(Fan Filter Unit)，中文为风机过滤机组。FFU风机滤网机组可模块化连接使用，使用FFU广泛应用于洁净室、洁净工作台、洁净生产线、组装式洁净室和局部百级等应用场合。FFU设有初、高效两级过滤网。风机从 FFU顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45M/S
±
20％的风速匀速送出。
[0003]在晶圆传输系统中，为了确保晶圆表面的洁净度，通常需要在晶圆传输系统的进风口出设置FFU。以往的设计都是FFU在设备的上方直接对设备内部进行送风，理想状态为风向统一并均匀竖直向下吹，这样理想状态下是不会产生涡流的。在实际吹风过程中，FFU中风机产生的风经过过滤器进入至晶圆传输腔室中，进入晶圆传输腔室的风向除了向下以外，还有一部分杂乱无章的横向和倾斜方向的；这样气流会产生涡流，设备内部粉尘颗粒随着涡流出现漂浮并聚集。一旦当调整FFU风速，发生变换时，已经聚集漂浮的颗粒可能会集中落在晶圆上，致使晶圆报废。

技术实现思路

[0004]为了解决上述问题，本技术提供了一种用于控制风向的晶圆传输系统，确保晶圆传输系统内部风速均匀性，避免晶圆被损坏。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用如下技术方案：一种用于控制风向的晶圆传输系统，包括系统框架以及位于系统框架内部的晶圆传输腔室，所述晶圆传输腔室包括位于其顶端的进风口和位于其底端的出风口，所述进风口固定用于向晶圆传输腔室供风的风机过滤机组，所述风机过滤机组的排风口除固定蜂窝芯板，所述排风口竖直朝下；所述蜂窝芯板包含多个与所述排风口平行的通孔。
[0006]进一步的，所述通孔的高度为13
‑
17mm。
[0007]进一步的，所述通孔的截面为正六边形。
[0008]进一步的，所述正六边形的周长为8mm。
[0009]进一步的，所述蜂窝芯板通过固定件固定在所述辅助固定板上，所述辅助固定板固定在所述系统框架上。
[0010]进一步的，所述固定件包括垫片、螺钉和螺母；所述蜂窝芯板的下表面与所述辅助固定板的上表面接触，所述蜂窝芯板的上表面与所述垫片的下表面接触，所述螺钉贯穿垫片、蜂窝芯板中通孔和辅助固定板，并通过所述螺母固定。
[0011]进一步的，所述固定件包括垫片、螺钉和螺母；所述蜂窝芯板的上表面与所述辅助固定板的下表面接触，所述蜂窝芯板的下表面与所述垫片的上表面接触，所述螺钉贯穿垫片、蜂窝芯板中通孔和辅助固定板，并通过所述螺母固定。
[0012]进一步的，所述辅助固定板为条状辅助固定板。
[0013]进一步的，所述垫片的截面面积大于所述通孔的截面面积。
[0014]进一步的，所述辅助固定板的截面面积小于所述蜂窝芯板的截面面积。
[0015]本技术具有如下有益效果：本技术能有效的阻止腔室内进风口处斜向风和横向风的产生，进而减少了腔室中涡流的产生，使得腔室内粉尘受竖直风力影响靠近设备底部顺利排出。本申请可以改善风速均匀性问题，减少粉尘漂浮数量，降低晶圆被污染的可能性。
附图说明
[0016]附图1为本技术中蜂窝芯板的结构示意图；
[0017]附图2为本技术中蜂窝芯板的其中一种固定安装示意图；
[0018]附图3为本技术增加蜂窝芯板后的风向模拟示意图；
[0019]附图4为现有技术中不包含蜂窝芯板与本技术中包含蜂窝芯板的出风情况比较图。
[0020]附图标记：1蜂窝芯板，2垫片，3辅助固定板，4螺钉，5螺母。
具体实施方式
[0021]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本技术的具体实施方式做进一步的详细说明。
[0022]晶圆传输系统用于在半导体行业中搬运或者传输晶圆，随着集成度的提高，越来越多的行业都对晶圆表面的洁净度提出了新的要求，因此，需要不断改进晶圆传输以及加工各个环节中的洁净度。
[0023]本申请提供的一种用于控制风向的晶圆传输系统，包括系统框架以及位于系统框架内部的晶圆传输腔室，晶圆传输腔室包括进风口，进风口固定用于向晶圆传输腔室供风的风机过滤机组，风机过滤机组的排风口除固定蜂窝芯板，排风口竖直朝下；蜂窝芯板包含多个与所述排风口平行的通孔。
[0024]本申请中具体的风机可以为FFU；晶圆传输腔室的进风口设置在腔室顶端，出风口设置在腔室低端，在进风口和出风口形成循环的过程中，循环风可以带动腔室内的颗粒等杂质一起排出晶圆传输腔室，确保晶圆传输腔室内部的洁净度。同时通过FFU设计，可以过滤掉空气中杂质，确保进入晶圆传输腔室内部的空气洁净度。通常进风口吹进的风都是竖直向下的，且进风口和出风口分别位于晶圆传输系统的顶端和底端相对的位置。当未增加蜂窝芯板时，即使进风口和出风口位于上下相对的位置上，还是会在在晶圆传输腔室内部产生斜向风和横向风；而如附图3所示，增加蜂窝芯板之后，风向经倒流作用后变向改成竖直向下，能够确保晶圆传输腔室内部的风向均为竖直向下的风向。
[0025]如附图1所示，为本申请其中一种蜂窝芯板的具体示意图，该实施例中有选的，通孔的高度为15mm。通孔的截面为正六边形；正六边形的周长为8mm。本技术中通孔的截面形状还可以为其他形状。
[0026]蜂窝芯板中包含多个通孔，无法直接固定在系统框架或者出风口处，本技术中蜂窝芯板借助固定件固定在辅助固定板上，然后再将辅助固定板固定在系统框架上。辅助固定板可以为条状的辅助固定板，不能将蜂窝芯板的所有通孔遮挡住，因此，可以优选条
状的辅助固定板，只需要将条状辅助固定板的两端固定在系统框架上，蜂窝芯板被固定在条状辅助板的中间；为了使得蜂窝芯板被固定牢靠，可以借助多个条状辅助固定板对蜂窝芯板进行固定。
[0027]如附图2所示，为其中一种固定示意图；本实施例中蜂窝芯板和辅助固定板之间通过固定件进行固定，具体的固定件包括垫片2、螺钉4和螺母5；蜂窝芯板1的下表面与辅助固定板3的上表面接触，蜂窝芯板1的上表面与垫片2的下表面接触，螺钉4贯穿垫片2、蜂窝芯板中通孔和辅助固定板3，并通过螺母 5固定。在这种结构中，螺母可以固定在辅助固定板的下表面，也可以固定在垫片的上表面；只需要通过螺钉螺母将蜂窝芯板上下两侧的垫片和辅助固定板压紧即可。本实施例中固定件一共包含15个，均匀分布在三个辅助固定板上，对蜂窝芯板进行牢固固定。
[0028]同样的道理，还可以将垫片设置在蜂窝芯板下端，将辅助固定板设置在蜂窝芯板上端，同样能够实现对蜂窝芯板固定的作用。例如：蜂窝芯板的上表面与辅助固定板的下表面接触，蜂窝芯板的下表面与垫片的上表面接触，螺钉贯穿垫片、蜂窝芯板中通孔和辅助固定板，并通过螺母固定。在这种结构中，螺母可以固定在辅助固定板的上表面，也可以固定在垫片的下表本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于控制风向的晶圆传输系统，其特征在于，包括系统框架以及位于系统框架内部的晶圆传输腔室，所述晶圆传输腔室包括位于其顶端的进风口和位于其底端的出风口，所述进风口固定用于向晶圆传输腔室供风的风机过滤机组，所述风机过滤机组的排风口除固定蜂窝芯板，所述排风口竖直朝下；所述蜂窝芯板包含多个与所述排风口平行的通孔。2.根据权利要求1所述的一种用于控制风向的晶圆传输系统，其特征在于，所述通孔的高度为13
‑
17mm。3.根据权利要求1所述的一种用于控制风向的晶圆传输系统，其特征在于，所述通孔的截面为正六边形。4.根据权利要求3所述的一种用于控制风向的晶圆传输系统，其特征在于，所述正六边形的周长为8mm。5.根据权利要求1所述的一种用于控制风向的晶圆传输系统，其特征在于，所述蜂窝芯板通过固定件固定在辅助固定板上，所述辅助固定板固定在所述系统框架上。6.根据权利要求5所述的一种用于控制风向的晶...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹洁，马刚，
申请(专利权)人：上海广川科技有限公司，
类型：新型
国别省市：