一种晶圆盒自动开盖机构制造技术

本申请涉及自动开盖的领域，尤其是涉及一种晶圆盒自动开盖机构，其包括设置在机架上的安装台、升降座和用于锁定晶圆盒盒盖的移动板，升降座通过升降组件沿竖直方向滑动连接于机架，移动板通过微移组件沿水平方向滑动连接于升降座。本申请具有提高检测效率的效果。本申请具有提高检测效率的效果。本申请具有提高检测效率的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆盒自动开盖机构


[0001]本申请涉及自动开盖的领域，尤其是涉及一种晶圆盒自动开盖机构。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片、蚀刻等工艺，形成晶圆。
[0003]半导体器件的整个制造流程可以分为晶圆制造、晶圆针测及芯片封装等制程。晶圆针测是对晶圆上的每一个芯片开展针测，在测试机连接装上铍铜制作而成的探头针，与芯片上的pad(焊盘)点触碰，对芯片电性功能上的测试，不过关的芯片会被标出来标记，标记不合格的芯片体会被淘汰，不会再开展下一个制造过程，以减少不必要的制造成本。
[0004]在相关技术中，检测晶圆前，常利用晶圆盒来装载晶圆，晶圆盒一般包括盒体和盒盖，盒体与盒盖可拆卸连接。把晶圆盒运输到检测地点后，再利用人工将晶圆盒的盖子打开。
[0005]针对上述中的相关技术，专利技术人认为晶圆盒就位后，需要等待人工以开启晶圆盒，若工作人员没有及时开启，后续的检测无法持续供给晶圆，导致检测效率较低。

技术实现思路

[0006]为了提高检测效率，本申请提供一种晶圆盒自动开盖机构。
[0007]本申请提供的一种晶圆盒自动开盖机构采用如下的技术方案：
[0008]一种晶圆盒自动开盖机构，包括设置在机架上的安装台、升降座和用于锁定晶圆盒盒盖的移动板，所述升降座通过升降组件沿竖直方向滑动连接于机架，所述移动板通过微移组件沿水平方向滑动连接于升降座。
[0009]通过采用上述技术方案，把晶圆盒安装到安装台上，然后将移动板与晶圆盒盒盖固定起来，通过微移组件使移动板朝远离晶圆盒的方向移动，使得晶圆盒盒盖与晶圆盒分离，然后通过升降组件使得移动板往下降，从而完成晶圆盒的自动开盖，工作人员仅需将晶圆盒安装至安装台上即可，方便快捷，从而提高检测效率。
[0010]可选的，所述升降组件包括第一驱动件、螺纹杆和升降座，所述第一驱动件与机架连接，所述螺纹杆转动连接于机架，所述螺纹杆与带动其转动的第一驱动件连接，所述升降座螺纹连接于螺纹杆；所述微移组件与升降座连接。
[0011]通过采用上述技术方案，通过第一驱动件转动螺纹杆，升降座随之沿竖直方向移动，从而达到自动改变微移组件、移动板在竖直方向上的位置的效果。
[0012]可选的，所述升降组件还包括传动件，传动件包括主动同步轮、从动同步轮和同步带，主动同步轮与带动其转动的第一驱动件连接，从动同步轮固定连接于螺纹杆，主动同步轮与从动同步轮之间通过同步带连接。
[0013]通过采用上述技术方案，利用第一驱动件转动主动同步轮，在同步带的带动下，从
动同步轮转动，进而带动螺纹杆转动，传动件的设置提高了升降座移动的精准度。
[0014]可选的，所述微移组件包括第二驱动件，第二驱动件为气缸，气缸固定连接于升降座，气缸的输出轴与移动板连接。
[0015]通过采用上述技术方案，气缸的输出轴伸长即可使得移动板朝远离晶圆盒的方向移动，快捷有效，从而提高效率。
[0016]可选的，所述微移组件还包括若干组直线导轨，直线导轨固定连接于升降座顶部，直线导轨顶部与移动板底部固定连接。
[0017]通过采用上述技术方案，增设直线导轨使得移动板的运动更加平稳，同时也减少了移动板偏离原本设定路线的情况发生。
[0018]可选的，所述直线导轨设置有两组，两组直线导轨对称设置在气缸的两侧。
[0019]通过采用上述技术方案，对称设置的直线导轨加强了定位组价移动的稳定性。
[0020]可选的，所述移动板上设置有与晶圆盒盒盖连接的若干个开门模组和若干个定位销。
[0021]通过采用上述技术方案，利用定位销对晶圆盒盒盖进行预定位，然后再利用开门模组将晶圆盒盒盖锁起来，从而加强了晶圆盒盒盖与移动板之间的连接强度，晶圆盒盒盖更容易、快速与晶圆盒分离，从而提高效率。
[0022]可选的，所述定位销上套设有用于与晶圆盒盒盖连接的吸盘。
[0023]通过采用上述技术方案，吸盘将晶圆盒盒盖吸住，进一步加强晶圆盒盒盖与移动板之间的连接强度。
[0024]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0025]1.把晶圆盒安装到安装台上，然后将移动板与晶圆盒盒盖固定起来，通过微移组件使移动板朝远离晶圆盒的方向移动，使得晶圆盒盒盖与晶圆盒分离，然后通过升降组件使得移动板往下降，从而完成晶圆盒的自动开盖，工作人员仅需将晶圆盒安装至安装台上即可，方便快捷，从而提高检测效率；
[0026]2.气缸和直线导轨使得移动板的运动更加平稳，同时也减少了移动板偏离原本设定路线的情况发生；
[0027]3.把晶圆盒安装到安装台上，然后将移动板与晶圆盒盒盖固定起来，通过微移组件使移动板朝远离晶圆盒的方向移动，使得晶圆盒盒盖与晶圆盒分离，然后通过升降组件使得移动板往下降，从而完成晶圆盒的自动开盖，工作人员仅需将晶圆盒安装至安装台上即可，方便快捷，从而提高检测效率。
附图说明
[0028]图1是本申请实施例的整体结构示意图。
[0029]图2是图1中A部分的放大图。
[0030]附图标记说明：1、机架；11、安装台；2、升降组件；21、第一电机；22、主动同步轮；23、从动同步轮；24、同步带；25、螺纹杆； 3、微移组件；31、气缸；32、直线导轨； 4、移动板；5、升降座；6、开门模组；7、定位销；8、吸盘；9、晶圆盒。
具体实施方式
[0031]以下结合附图1
‑
2对本申请作进一步详细说明。
[0032]本申请实施例公开一种晶圆盒自动开盖机构。参照图1，一种晶圆盒自动开盖机构包括设置在机架1上的安装台11、移动板4和升降座5，晶圆盒9安装于安装台11上，升降座5位于安装台11下方。升降座5与机架1滑动连接，升降座5可沿竖直方向移动，升降座5的移动可以通过升降组件2来实现。移动板4与升降座5滑动连接，移动板4朝水平方向移动，移动板4的移动可以通过微移组件3来实现。
[0033]升降组件2包括第一驱动件、传动件和螺纹杆25。在本实施例中，第一驱动件为第一电机21，第一电机21固定连接于机架1。螺纹杆25顶部与安装台11底部转动连接，螺纹杆25底部与机架1连接,螺纹杆25呈竖直设置。升降座5套设且螺纹连接于螺纹杆25外壁。传动件包括主动同步轮22、从动同步轮23和同步带24，主动同步轮22通过联轴器固定连接于第一电机21的输出轴，从动同步轮23固定连接于螺纹杆25底部外壁，主动同步轮22与从动同步轮23之间通过同步带24连接。微移组件3底部与升降座5顶部固定连接。
[0034]参照图1和图2，微移组件3带动移动板4沿水平方向往复运动。微移组件3包括第二驱动件和若干个直线导轨32，在本实施例中，第二驱动件为气缸31，气缸31、直线导轨32分别固定连接于升降座5顶部，气缸31的输出本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒自动开盖机构，其特征在于：包括设置在机架(1)上的安装台(11)、升降座(5)和用于锁定晶圆盒(9)盒盖的移动板(4)，所述升降座(5)通过升降组件(2)沿竖直方向滑动连接于机架(1)，所述移动板(4)通过微移组件(3)沿水平方向滑动连接于升降座(5)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆盒自动开盖机构，其特征在于：所述升降组件(2)包括第一驱动件和螺纹杆(25)，所述第一驱动件与机架(1)连接，所述螺纹杆(25)转动连接于机架(1)，所述螺纹杆(25)与带动其转动的第一驱动件连接，所述升降座(5)螺纹连接于螺纹杆(25)；所述微移组件(3)与升降座(5)连接。3.根据权利要求2所述的一种晶圆盒自动开盖机构，其特征在于：所述升降组件(2)还包括传动件，传动件包括主动同步轮(22)、从动同步轮(23)和同步带(24)，主动同步轮(22)与带动其转动的第一驱动件连接，从动同步轮(23)固定连接于螺纹杆(25)，主动同步轮(22)与从动同步轮(...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘世文，陈亮，刘艺，
申请(专利权)人：深圳市森美协尔科技有限公司，
类型：新型
国别省市：