OQA自动化出货方法及装置制造方法及图纸

技术编号:35992850 阅读:17 留言:0更新日期:2022-12-17 23:08
本发明专利技术公开一种OQA自动化出货方法及装置,方法包括:获取用于表示目标产品的产品标识的第一数据信息;根据第一数据信息获取目标产品的defect信息;获取目标产品对应的第二数据信息,其中,第二数据信息包括出货报告模板信息和客户信息;根据第二数据信息中的出货报告模板信息及目标产品的defect信息生成出货报告;根据第二数据信息中的客户信息将出货报告发送至与第二数据信息对应的客户。本发明专利技术能够实现自动获取产品的defect信息并根据目标客户所需的报告模板和要求自动整合生成出货报告,避免了OQA工程师对各种信息的获取、整理以及整合,能够有效提高效率的同时,还能够避免出现误操作或漏操作等行为。免出现误操作或漏操作等行为。免出现误操作或漏操作等行为。

【技术实现步骤摘要】
OQA自动化出货方法及装置


[0001]本专利技术涉及半导体晶圆制造
,尤其涉及一种OQA自动化出货方法、OQA自动化出货装置及电子设备和存储介质。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片,由于其形状为圆形,故称为晶圆。在硅芯片上可加工制作成各种电路组件结构,而成为有特定电性功能之IC产品。而在晶圆制造中,晶圆出货之前,需要经由OQA(outgoing quality assurance,出货质量检验)部门根据不同的客户的对应需求,对晶圆的质量品质进行筛选,并生成相应的出货报告发送给客户。在现有的流程中,具体的晶圆出货步骤包括以下几个步骤:1、OQA工程师记录产品与客户之间的mapping(映射)关系和出货报告格式;2、OQA工程师根据客户要求获取量测机台上指定批次晶圆的defect信息(缺陷信息);3、OQA工程师根据客户的要求把defect信息按照客户所需要的模板,手动制作生成出货报告;4、OQA工程师针对有些与客户达成协议的晶圆进行ink(打墨)操作;5、OQA工程师手动发送出货报告给对应的客户。
[0003]在上述的出货流程中,基本都需要OQA工程师去对各种不同的信息数据进行手动收集与整理,并手动形成报告和手动发送报告给客户,由于整个过程高度依赖OQA工程师的人工处理,因而很容易发生误操作或漏操作等行为,并且处理效率不高。

技术实现思路

[0004]本专利技术实施例提供一种OQA自动化出货方法、装置及系统,以解决现有技术中在晶圆制造领域中,OQA部门在进行晶圆出货的时候高度依赖人工操作因而容易出现误操作或漏操作等行为的问题,同时能够有效提高晶圆出货流程的整体效率。
[0005]第一方面,本专利技术实施例提供一种OQA自动化出货方法,包括:
[0006]获取用于表示目标产品的产品标识的第一数据信息,其中,所述第一数据信息包括晶圆批次号;
[0007]根据第一数据信息获取目标产品的defect信息,其中,所述目标产品是基于所述第一数据信息确定出的;
[0008]获取目标产品对应的第二数据信息,其中,所述第二数据信息包括出货报告模板信息和客户信息;
[0009]根据第二数据信息中的出货报告模板信息及目标产品的defect信息生成出货报告;
[0010]根据第二数据信息中的客户信息将出货报告发送至与第二数据信息对应的客户。
[0011]第二方面,本专利技术实施例提供一种OQA自动化出货装置,包括:
[0012]第一数据信息接收模块,用于获取用于表示目标产品的产品标识的第一数据信息,其中,所述第一数据信息包括晶圆批次号;
[0013]目标产品信息获取模块,用于根据第一数据信息获取目标产品的defect信息,其
中,所述目标产品是基于所述第一数据信息确定出的;
[0014]第二数据信息获取模块,用于获取目标产品对应的第二数据信息,其中,所述第二数据信息包括出货报告模板信息和客户信息;
[0015]出货报告生成模块,用于根据第二数据信息中的出货报告模板信息及目标产品的defect信息生成出货报告;
[0016]出货报告发送模块,用于根据第二数据信息中的客户信息将出货报告发送至与第二数据信息对应的客户。
[0017]第三方面,本专利技术实施例提供了一种电子设备,其特征在于,包括:
[0018]存储器,用于存储可执行指令;以及
[0019]处理器,用于执行存储器中存储的可执行指令,所述可执行指令在由所述处理器执行时实现上述方法的步骤。
[0020]第四方面,本专利技术实施例提供了本专利技术实施例提供了一种存储介质,其上存储有计算机程序,该程序被处理器执行时实现上述方法的步骤。
[0021]本专利技术实施例的有益效果在于:本专利技术实施例提供的OQA自动化出货方法能够根据接收到的晶圆批次号自动获取对应的目标产品的defect信息,并能够获取该目标产品对应的客户所需要的出货报告模板,自动根据获取到的目标产品的defect信息生成对应的客户所需要的出货报告,自动发送给客户,全过程实现了自动化,无需OQA工程师手动地对相关信息进行获取、整理以及整合,在能够有效提高效率的同时,还能够避免出现误操作或漏操作等情况。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1为本专利技术一实施方式的OQA自动化出货方法的流程图;
[0024]图2为本专利技术一实施方式的OQA自动化出货方法的步骤S14的方法的流程图;
[0025]图3为本专利技术一实施方式的OQA自动化出货方法的生成出货报告的方法的流程图;
[0026]图4为本专利技术一实施方式的OQA自动出货方法的形成ink信息的方法的流程图;
[0027]图5为本专利技术一实施方式的OQA自动出货方法的映射信息的存储方法的流程图;
[0028]图6为本专利技术一实施方式的OQA自动化出货装置的原理框图;
[0029]图7为本专利技术另一实施方式的OQA自动化出货装置的原理框图;
[0030]图8为本专利技术的电子设备的一实施例的结构示意图。
具体实施方式
[0031]为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本专利技术保护的范围。
[0032]需要说明的是,在不冲突的情况下,本专利技术中的实施例及实施例中的特征可以相
互组合。
[0033]本专利技术可以在由计算机执行的计算机可执行指令的一般上下文中描述,例如程序模块。一般地,程序模块包括执行特定任务或实现特定抽象数据类型的例程、程序、对象、元件、数据结构等等。也可以在分布式计算环境中实践本专利技术,在这些分布式计算环境中,由通过通信网络而被连接的远程处理设备来执行任务。在分布式计算环境中,程序模块可以位于包括存储设备在内的本地和远程计算机存储介质中。
[0034]在本专利技术中,“模块”、“装置”、“系统”等指应用于计算机的相关实体,如硬件、硬件和软件的组合、软件或执行中的软件等。详细地说,例如,元件可以、但不限于是运行于处理器的过程、处理器、对象、可执行元件、执行线程、程序和/或计算机。还有,运行于服务器上的应用程序或脚本程序、服务器都可以是元件。一个或多个元件可在执行的过程和/或线程中,并且元件可以在一台计算机上本地化和/或分布在两台或多台计算机之间,并可以由各种计算机可读介质运行。元件还可以根据具有一个或多个数据包的信号,例如,来自一个与本地系统、分布式系统中另一元件交互的,和/本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.OQA自动化出货方法,其特征在于,包括:获取用于表示目标产品的产品标识的第一数据信息,其中,所述第一数据信息包括晶圆批次号;根据第一数据信息获取目标产品的defect信息,其中,所述目标产品是基于所述第一数据信息确定出的;获取目标产品对应的第二数据信息,其中,所述第二数据信息包括出货报告模板信息和客户信息;根据第二数据信息中的出货报告模板信息及目标产品的defect信息生成出货报告;根据第二数据信息中的客户信息将出货报告发送至与第二数据信息对应的客户。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,还包括:接收第一用户指令,所述第一用户指令中包括有产品信息、客户信息、客户要求信息以及出货报告模板信息,所述产品信息至少包括晶圆批次号;根据第一用户指令生成包括有产品、客户及出货报告模板信息之间的对应关系的映射信息并存储;其中,在获取目标产品对应的第二数据信息时,是根据目标产品的晶圆批次号和存储的映射信息获取目标产品对应的第二数据信息。3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述第二数据信息还包括客户要求信息;所述根据第二数据信息中的出货报告模板信息和目标产品的defect信息生成出货报告,包括:根据第二数据信息中的客户要求信息和目标产品的defect信息确定出要写入出货报告的待写入信息,其中,所述待写入信息包括待写入defect信息,所述待写入defect信息为目标产品的defect信息中的至少部分;根据出货报告模板信息和待写入信息生成目标产品的出货报告。4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据第二数据信息中的客户信息将出货报告发送至与第二数据信息对应的客户具体是根据预置的发送策略将出货报告发送至与第二数据信息对应的客户,其中,所述预置的发送策略至少能够用于确定发送时间。5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述预置的发送策略为定时...

【专利技术属性】
技术研发人员:司徒志鹏林鸿楷张恒
申请(专利权)人:广州粤芯半导体技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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