本实用新型专利技术涉及硅片盒生产技术领域，尤其涉及一种用于硅片盒生产的清洗装置。其技术方案包括：箱体、清洗腔和处理腔，箱体的顶部固定连接有电动推杆，箱体的内部开设有清洗腔，清洗腔底部的箱体内部开设有处理腔，处理腔的内部活动连接有过滤层，处理腔底部的箱体内部固定连接有水泵，箱体的另一侧固定连接有超声波发生器，箱体的表面固定安装有计时器。本实用新型专利技术通过各种结构的组合使得本装置在使用过程中可以快速的进行清洗工作，并可以对清洗后的硅片盒进行烘干，方便人员快速取出进行后续工作，可以对清洗水处理进行循环使用工作，并可以对清洗水进行储存防护，方便人员使用。方便人员使用。方便人员使用。
【技术实现步骤摘要】
一种用于硅片盒生产的清洗装置
[0001]本技术涉及硅片盒生产
，具体为一种用于硅片盒生产的清洗装置。
技术介绍
[0002]硅片，是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件，在现代社会中使用较为广泛，在硅片使用时需要使用硅片盒对其进行储存防护，在硅片盒生产过程中需要对其进行清洗工作，非常重要，而现有的清洗效果不理想，无法对清洗完成后的硅片盒进行烘干工作，并且无法对清洗水进行循环利用，因此我们提出一种用于硅片盒生产的清洗装置。
[0003]经检索，专利公告号为CN 210386880 U公开了种硅片盒清洗装置，包括清洗室、隔板、超声波换能器以及及控制系统，位于右腔室的隔板底部设置一驱动电机，所述驱动电机的输出轴穿过隔板、右腔室的底部活动连接有能够使液体流动用于清洗硅片盒的清洗槽，所述清洗槽位于右腔室内；所述清洗槽包括清洗槽体、溢流盘及卡固架，所述溢流盘的下盘面固定连接有转轴，所述转轴穿过清洗槽体的底部与驱动电机的输出轴活动连接，所述溢流盘的上盘面与卡固架的底部卡扣连接，所述卡固架用于稳固支撑硅片盒，现有的技术中CN 210386880 U在使用的过程中清洗效果不理想，同时无法对清洗完成后的硅片盒进行烘干工作，不方便工作人员快速将其取出进行后续加工工作，并且无法对清洗水处理进行循环利用，鉴于此我们提出一种用于硅片盒生产的清洗装置来解决现有的问题。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种用于硅片盒生产的清洗装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于硅片盒生产的清洗装置，包括箱体、清洗腔和处理腔，所述箱体的顶部固定连接有电动推杆，所述箱体的内部开设有清洗腔，且电动推杆的底部贯穿箱体固定安装有放置架，所述清洗腔底部的箱体内部开设有处理腔，所述处理腔的内部活动连接有过滤层，所述处理腔底部的箱体内部固定连接有水泵，且箱体一侧的水泵与清洗腔之间固定安装有输水管，所述箱体的另一侧固定连接有超声波发生器，所述箱体的表面固定安装有计时器。
[0006]在工作时可以将需要进行清洗的硅片盒放置在放置架上，电动推杆会带动放置架连同硅片盒移动将其导入清洗腔内部的清洁水中，启动超声波发生器，超声波发生器会使清洗腔内液体中的微气泡在声波的作用下保持振动，从而破坏污物与硅片盒表面的吸附，引起污物层的疲劳破坏而被驳离，气体型气泡的振动对固体表面进行擦洗，可以快速高效完全的进行清洗工作，清洗完成后启动电动推杆带动放置架回升，将其移回原位，然后经过过滤后的水会在处理腔内部进行储存防护，在后续需要进行清洗工作时可以启动水泵，水泵会通过输水管自动的将水输入清洗腔内，方便人员进行连续清洗工作，增加装置的实用性，并且计时器会对过滤层的工作时间进行记录，方便人员在使用时间达到标准时及时的
进行过滤层的维护工作。
[0007]优选的，所述放置架另一端的箱体内部固定安装有加热板，且放置架两侧的箱体内部固定连接有风扇，箱体两侧的表面开始有通风口。风扇会通过通风口增加装置内部的空气流动速度，加热板会加热装置内部的空气，使其配合可以对硅片盒表面残留的水分快速烘干，方便人员取出进行后续加工工作，方便人员进行使用。
[0008]优选的，所述过滤层两侧的表面固定安装有滑块，且滑块外围的箱体内部两侧表面固定连接有滑轨，清洗腔与处理腔之间固定安装有电磁阀。在清洗完成进行烘干工作时可以打开电磁阀，清洗腔内部的清洗液会在重力左右下自动流入处理腔内部，从而通过过滤层对其清洗下来的杂质进行吸附过滤工作，同时可以通过滑块在滑轨内前后滑动轻松的进行过滤层的拆卸维护工作，方便人员进行使用。
[0009]优选的，所述计时器顶部的箱体表面活动连接与旋转门，且计时器另一侧的箱体表面固定连接有控制板。工作人员可以通过打开旋转门进行硅片盒的放置与取出工作，可以通过控制板对整个装置进行集中控制工作。
[0010]优选的，所述计时器底部的箱体表面通过螺栓安装有维修板，且维修板外围的箱体表面粘胶有密封垫。使用人员可以通过螺栓打开维修板进行过滤层的拆卸维护工作，密封垫会在维修板工作时保证箱体的密封效果。
[0011]优选的，所述过滤层底部的箱体另一侧表面固定连接有排水口，且排水口的外围固定安装有阀门。工作人员可以在清洗液循环一定程度后打开阀门，从而通过排水口将清洗液排出进行更换工作。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1、在工作时可以将需要进行清洗的硅片盒放置在放置架上，电动推杆会带动放置架连同硅片盒移动将其导入清洗腔内部的清洁水中，超声波发生器会使清洗腔内液体中的微气泡在声波的作用下保持振动，从而破坏污物与硅片盒表面的吸附，引起污物层的疲劳破坏而被驳离，气体型气泡的振动对固体表面进行擦洗，可以快速高效完全的进行清洗工作，清洗完成后启动电动推杆带动放置架回升，将其移回原位，风扇会通过通风口增加装置内部的空气流动速度，加热板会加热装置内部的空气，使其配合可以对硅片盒表面残留的水分快速烘干，方便人员取出进行后续加工工作，方便人员进行使用。
[0014]2、在清洗完成进行烘干工作时可以打开电磁阀，清洗腔内部的清洗液会在重力左右下自动流入处理腔内部，从而通过过滤层对其清洗下来的杂质进行吸附过滤工作，然后经过过滤后的水会在处理腔内部进行储存防护，避免与外界接触造成污染影响清洗效果，在后续需要进行清洗工作时可以启动水泵，水泵会通过输水管自动的将水输入清洗腔内，方便人员进行连续清洗工作，并且计时器会对过滤层的工作时间进行记录，方便人员在使用时间达到标准时及时的进行过滤层的维护工作，避免没有及时更换维护对后续清洗水的质量造成影响，同时可以通过滑块在滑轨内前后滑动轻松的进行过滤层的拆卸维护工作，方便人员进行使用。
附图说明
[0015]图1为本技术的立体图；
[0016]图2为本技术的主视图；
[0017]图3为本技术的内部结构示意图；
[0018]图4为本技术的滑轨局部结构示意图。
[0019]图中：1、箱体；101、旋转门；102、维修板；103、通风口；2、电动推杆；3、超声波发生器；4、计时器；5、输水管；6、排水口；7、放置架；8、风扇；9、加热板；10、清洗腔；11、电磁阀；12、过滤层；13、处理腔；14、水泵；15、滑轨；16、滑块。
具体实施方式
[0020]下文结合附图和具体实施例对本技术的技术方案做进一步说明。
[0021]实施例一
[0022]如图1、图2、图3和图4所示，本技术提出的一种用于硅片盒生产的清洗装置，包括箱体1、清洗腔10和处理腔13，箱体1的顶部固定连接有电动推杆2，箱体1的内部开设有清洗腔10，且电动推杆2的底部贯穿箱体1固定安装有放置架7，清洗腔10底部的箱体1内部开设有处理腔13，处理腔13的内部活动连接有过滤层12，处理腔13底部的箱体1内部固本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于硅片盒生产的清洗装置，包括箱体（1）、清洗腔（10）和处理腔（13），其特征在于：所述箱体（1）的顶部固定连接有电动推杆（2），所述箱体（1）的内部开设有清洗腔（10），且电动推杆（2）的底部贯穿箱体（1）固定安装有放置架（7），所述清洗腔（10）底部的箱体（1）内部开设有处理腔（13），所述处理腔（13）的内部活动连接有过滤层（12），所述处理腔（13）底部的箱体（1）内部固定连接有水泵（14），且箱体（1）一侧的水泵（14）与清洗腔（10）之间固定安装有输水管（5），所述箱体（1）的另一侧固定连接有超声波发生器（3），所述箱体（1）的表面固定安装有计时器（4）。2.根据权利要求1所述的一种用于硅片盒生产的清洗装置，其特征在于：所述放置架（7）另一端的箱体（1）内部固定安装有加热板（9），且放置架（7）两侧的箱体（1）内部固定连接有风扇（8），箱体（1）两侧的表面开始有通风口（1...
【专利技术属性】
技术研发人员：张玉琳，张晓成，
申请(专利权)人：福州市科尔包装科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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