基板处理设备和基板处理系统技术方案

公开了一种基板处理设备。所述基板处理设备包括：转位部件，其具有装载端口；以及工艺执行部件，其从所述转位部件接收基板并处理所述基板，所述装载端口包括：壳体，其具有内部空间；底座部件，其设置在所述壳体的上侧，并且在底座部件上放置接收基板型传感器的容器；以及充电单元，其以无线充电方式对安装在所述容器中的电源装置进行充电。中的电源装置进行充电。中的电源装置进行充电。

【技术实现步骤摘要】
基板处理设备和基板处理系统


[0001]本公开涉及一种基板处理设备和一种基板处理系统。

技术介绍

[0002]等离子体是指包括离子、自由基和电子的电离气态。等离子体由非常高的温度、强电场或射频(RF)电磁场产生。半导体器件制造工艺可以包括通过使用等离子体去除形成在诸如晶片的基板上的薄膜的蚀刻工艺。当等离子体的离子和/或自由基与基板上的薄膜碰撞或与薄膜反应时，执行蚀刻工艺。
[0003]一种通过使用等离子体处理基板的设备包括工艺室、在工艺室中支撑基板并连接到RF电源的支撑卡盘(例如，ESC)、以及围绕安置在支撑卡盘上的基板的外周边的聚焦环。安装聚焦环以使等离子体以高均匀度性分布，并且与基板一起用等离子体进行刻蚀。当重复蚀刻基板时，聚焦环也被蚀刻，使得聚焦环的形状逐渐改变。其中离子和/或自由基输入基板的方向根据聚焦环的形状的改变而改变，并且因此基板的蚀刻特性改变。因此，当蚀刻特定数量或更多的基板或者改变聚焦环的形状以偏离可允许范围时，需要更换聚焦环。
[0004]通常，操作者通过打开工艺室、从打开的工艺室中取出用过的聚焦环、在工艺室中安装未使用的聚焦环来更换聚焦环。然而，在更换方案中，耗费了大量的工作时间，并且将颗粒引入工艺室的可能性很高。因此，近年来，已经使用了一种更换方案，其中基板处理设备的传送机械手将用过的聚焦环从工艺室中取出并将环盒装入，然后传送机械手将新的聚焦环从环盒中取出并将聚焦环装进工艺室中。
[0005]同时，由传送基板的传送机械手传送聚焦环。传送机械手将聚焦环传送到工艺室中的特定位置。此外，为了识别聚焦环是否被传送到特定位置，通过形状与基板形状相似的视觉晶片拍摄聚焦环。在消耗电能的同时驱动视觉晶片。诸如电池的电源装置安装在视觉晶片中，并且有必要对视觉晶片中的电源装置进行充电。此外，视觉晶片中的电源装置可以位于容纳视觉晶片的容器中，诸如FOUP。电池可以设置在容器中，使得视觉晶片被充电。也就是说，需要对FOUP中提供的电池进行充电，以对视觉晶片进行充电。
[0006]设置在FOUP中的电池连接到设置在装载端口中的充电单元以进行充电。通常，电源通过连接器直接连接。在电源连接方案中，有必要实现安全装置和保护电路，以用于防止当FOUP没有位于装载端口中或者FOUP与装载端口分离时可能产生的连接器短路。此外，连接器必须暴露于外部以直接连接到设置在FOUP中的电池。然而，用于调节FOUP中的情况以及打开和关闭FOUP的门的各种组件安装在装载端口中，FOUP位于该装载端口中。也就是说，必须暴露于外部的连接器的位置受到安装在装载端口中的组件的相对限制。此外，根据场合，在FOUP中提供的电池的位置可以改变。连接器安装成暴露于外部，因此很难改变连接器的位置以使连接器对应于电池。

技术实现思路

[0007]本公开的实施例提供了一种基板处理设备和一种基板处理系统，基板处理设备可
以有效地对安装在容器中的电源装置进行充电。
[0008]本公开的实施例还提供了一种基板处理设备和一种基板处理系统，当安装在容器中的电源装置充电时，基板处理设备可以使短路的发生最少化。
[0009]本公开的实施例又提供了一种基板处理设备和一种基板处理系统，基板处理设备可以提高充电单元的信号传输构件的安装位置的自由度。
[0010]本公开的方面不限于此，并且本领域技术人员根据以下描述能够清楚地理解本公开的其他未提及的方面。
[0011]本公开提供了一种基板处理设备。基板处理设备包括：转位部件，其具有装载端口；以及工艺执行部件，其从转位部件接收基板并处理基板，装载端口包括：壳体，其具有内部空间；底座部件，其设置在壳体的上侧，并且在所述底座部件上放置容纳基板型传感器的容器；以及充电单元，其以无线充电方式对安装在容器中的电源装置进行充电。
[0012]根据实施例，充电单元可以包括：信号传输构件，其设置在底座部件中，并将电力输送至电源装置；转换构件，其设置在内部空间中，并设置在外部电源线和信号传输构件之间；以及开关构件，其选择性地将外部电源线的电力输送至信号传输构件。
[0013]根据实施例，转换构件可以将外部电源线输送的AC电力转换为DC电力。
[0014]根据实施例，充电单元还可以包括检测构件，检测构件检测容器是否被安置在底座部件上，并且当检测构件检测到容器被安置在底座部件上时可以接通开关构件，使得外部电源线的电力输送至信号传输构件。
[0015]根据实施例，充电单元还可以包括检测构件，检测构件检测容器是否被安置在底座部件上，并且当检测构件未检测到容器被安置在底座部件上时可以断开开关构件，使得向信号传输构件输送的外部电源线的电力被中断。
[0016]根据实施例，底座部件可以包括一个或多个定位销，其用于对准位于底座部件上的容器的位置，以及信号传输构件可以安装在当从顶部观察时、信号传输构件不与定位销重叠的位置处。
[0017]本公开提供了一种基板处理系统。基板处理系统包括：转位部件，其具有装载端口；工艺执行部件，其从转位部件接收基板并处理基板；以及容器，其位于装载端口中，并且该容器容纳运送到工艺执行部件中的基板型传感器，该容器还包括：具有接收空间的主体，该接收空间的一侧是敞开的；选择性地打开和关闭接收空间的门；搁架部件，其在接收空间中支撑基板型传感器；以及电源装置，其输送用于对基板型传感器进行充电的电力，并且装载端口包括：壳体，其具有内部空间；底座部件，其设置在壳体的上侧上，并且容纳基板型传感器的容器定位在底座部分上；以及充电单元，其以无线充电方式对安装在容器中的电源装置进行充电。
[0018]根据实施例，充电单元可以包括：信号传输构件，其设置在底座部件中，并将电力输送至电源装置；转换构件，其设置在内部空间中，并设置在外部电源线和信号传输构件之间；以及开关构件，其选择性地将外部电源线的电力输送至信号传输构件。
[0019]根据实施例，转换构件可以将外部电源线输送的AC电力转换为DC电力。
[0020]根据实施例，充电单元还可以包括检测构件，检测构件检测容器是否被安置在底座部件上，并且当检测构件检测到容器被安置在底座部件上时可以接通开关构件，使得外部电源线的电力输送至信号传输构件。
[0021]根据实施例，充电单元还可以包括检测构件，检测构件检测容器是否被安置在底座部件上，并且当检测构件未检测到容器被安置在底座部件上时可以断开开关构件，使得向信号传输构件输送的外部电源线的电力被中断。
[0022]根据实施例，所述容器还可以包括充电模块，其对由搁架部件支撑的基板型传感器进行充电，并且充电模块可以通过无线充电方式对由搁架部件支撑的基板型传感器进行充电。
[0023]根据实施例，充电模块可以通过电磁感应方式对由搁架部件支撑的基板型传感器进行充电。
[0024]根据实施例，可以提供多个搁架部件和多个充电模块。
[0025]根据实施例，基板处理系统还可以包括保存单元，其保存容器，保存单元可以包括：底座框架，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板处理设备，其包括：转位部件，所述转位部件具有装载端口；以及工艺执行部件，所述工艺执行部件配置成从所述转位部件接收基板并处理所述基板，其中所述装载端口包括：壳体，所述壳体具有内部空间；底座部件，所述底座部件设置在所述壳体的上侧，并且容纳基板型传感器的容器定位在所述底座部件上；以及充电单元，所述充电单元配置成以无线充电方式对安装在所述容器中的电源装置进行充电。2.根据权利要求1所述的基板处理设备，其中所述充电单元包括：信号传输构件，其设置在所述底座部件中，并且配置成向所述电源装置输送电力；转换构件，其设置在所述内部空间中，并且设置在外部电源线和所述信号传输构件之间；以及开关构件，其配置成选择性地将所述外部电源线的电力输送到所述信号传输构件。3.根据权利要求2所述的基板处理设备，其中所述转换构件将由所述外部电源线输送的AC电力转换成DC电力。4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板处理设备，其中所述充电单元还包括：检测构件，其配置成检测所述容器是否被安置在所述底座部件上，以及其中当所述检测构件检测到所述容器被安置在所述底座部件上时，接通所述开关构件，使得将所述外部电源线的所述电力输送到所述信号传输构件。5.根据权利要求1至3中任一项所述的基板处理设备，其中所述充电单元还包括：检测构件，其配置成检测所述容器是否被安置在所述底座部件上，以及其中当所述检测构件未检测到所述容器被安置在所述底座部件上时，断开所述开关构件，从而使向所述信号传输构件输送的所述外部电源线的所述电力被中断。6.根据权利要求1至3中任一项所述的基板处理设备，其中所述底座部件包括：一个或多个定位销，其配置成对准定位在所述底座部件上的所述容器的位置，以及其中所述信号传输构件安装在当从顶部观察时、所述信号传输构件不与所述定位销重叠的位置处。7.一种基板处理系统，其包括：转位部件，所述转位部件具有装载端口；工艺执行部件，所述工艺执行部件配置成从所述转位部件接收基板并处理所述基板；以及容器，所述容器位于所述装载端口中，并且配置成容纳运送到所述工艺执行部件中的基板类型传感器，其中所述容器还包括：主体，其具有接收空间，所述接收空间的一侧是敞开的；门，其配置成选择性地打开和关闭所述接收空间；搁架部件，其配置成在所述接收空间中支撑所述基板型传感器；以及电源装置，其配置成输送电力以用于对所述基板型传感器进行充电，并且
其中所述装载端口包括：壳体，所述壳体具有内部空间；底座部件，所述底座部件设置在所述壳体的上侧，并且容纳基板型传感器的容器定位在所述底座部件上；以及充电单元，所述充电单元配置成以无线充电方式对安装在所述容器中的电源装置进行充电。8.根据权利要求7所述的基板处理系统，其中所述充电单元包括：信号传输构件，其设置在所述底座部件中，并且配置成向所述电源装置输送电力；转换构件，其设置在所述内部空间中，并且设置在外部电源线和所述信号传输构件之间；以及开关构件，其配置成选择性地将所述外部电源线的电力输送到所述信号传输构件。9.根据权利要求8所述的基板处理系统，其中所述转换构件将由所述外部电源线输送的AC电力转换成DC电力。10.根据权利要求7至9中任一项所述的基板处理系统，其中所述充电单元还包括：检测构件，其配置成检测所述容器是否被安置在所述底座部件上，以及其中当所述检测构件检测到所述容器被安置在所述底座部件上时，接通所述开关构件，使得将所述外部电源线的所述电力输送到所述信号传输构件。11.根据权利要求7至9中任一项所述的基板处理系统，其中所述充电单元还包括：检测构件，其配置成检测所述容器是否被安置在所述底座部...

【专利技术属性】
技术研发人员：李尚奂，张容硕，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：