半导体生产用镀膜设备制造技术

技术编号:35978440 阅读:46 留言:0更新日期:2022-12-17 22:47
本实用新型专利技术公开了半导体生产用镀膜设备,包括箱体和盒体,所述盒体水平安装于箱体内底部中心处,且箱体一侧为敞开式并铰接有箱门,所述箱体内顶部下方水平设置有横板,且箱体顶部设有用于升降横板的升降机构,所述箱体内部四端均设有用于限位横板的限位机构,且横板底部中心处竖直安装有旋转电机,所述旋转电机的输出轴水平安装有转盘,且转盘底部两端均设有半导体镀膜机构,所述盒体上设有半导体夹持机构。本实用新型专利技术其中一个圆辊转动会带动半导体移动,从而可使两个圆辊夹持半导体的位置改变,则可对半导体表面进行全部镀膜,进而提高了半导体镀膜的质量。了半导体镀膜的质量。了半导体镀膜的质量。

【技术实现步骤摘要】
半导体生产用镀膜设备


[0001]本技术涉及半导体
,尤其涉及半导体生产用镀膜设备。

技术介绍

[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,半导体在生产时需要用到镀膜设备。
[0003]如授权公告号为CN215964334U3,所公开的半导体生产用镀膜设备,虽然可对半导体进行镀膜,但是被夹板夹住的地方是无法进行镀膜的,降低了对半导体镀膜的效果,因此,亟需重新设计一种半导体生产用镀膜设备。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的半导体生产用镀膜设备。
[0005]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:
[0006]半导体生产用镀膜设备,包括箱体和盒体,所述盒体水平安装于箱体内底部中心处,且箱体一侧为敞开式并铰接有箱门,所述箱体内顶部下方水平设置有横板,且箱体顶部设有用于升降横板的升降机构,所述箱体内部四端均设有用于限位横板的限位机构,且横板底部中心处竖直安装有旋转电机,所述旋转电机的输出轴水平安装有转盘,且转盘底部两端均设有半导体镀膜机构,所述盒体上设有半导体夹持机构。
[0007]作为本技术的进一步方案,所述升降机构包括电动伸缩杆,且电动伸缩杆竖直安装于箱体顶部中心处,所述电动伸缩杆的输出轴穿过箱体顶部并安装于横板顶部中心处。
[0008]作为本技术的进一步方案,所述半导体镀膜机构包括喷射头,且喷射头安装于转盘底部一端,所述转盘顶部一端设有镀膜桶,且镀膜桶和喷射头连通。
[0009]作为本技术的进一步方案,所述半导体夹持机构包括条形板和C型板,且条形板有两个并分别滑动于盒体内部,所述盒体内部水平转动有丝杆,且丝杆表面通过螺纹连接于两个条形板内部,所述丝杆连接两个条形板的螺纹方向相反,且盒体内部一侧水平安装有第二电机,所述第二电机的输出轴安装于丝杆一端中心处。
[0010]作为本技术的进一步方案,所述C型板有两个并分别设置于盒体上方,且两个C型板对称设置,每个所述C型板两个短边之间均转动有圆辊,且其中一个C型板其中一个短边水平安装有第一电机,所述第一电机的输出轴安装于其中一个圆辊一端中心处,且两个C型板长边远离的两侧四端均固定有C型柱,四个所述C型柱下横边四端分别安装于两个条形板远离的侧面四端。
[0011]作为本技术的进一步方案,所述限位机构包括滑道,且滑道竖直安装于箱体内部一侧端部,所述滑道内部滑动有滑块,且滑块顶端安装于横板一侧端部。
[0012]作为本技术的进一步方案,所述限位机构包括C型杆,且C型杆两个横边均安装于箱体内部一侧,所述C型杆竖边表面滑动于横板内部。
[0013]本技术的有益效果:
[0014]1.半导体生产用镀膜设备,在使用时,首先把半导体置于两个圆辊之间,通过第二电机带动丝杆转动,丝杆转动会带动两个条形板移动,两个条形板移动会带动四个C型柱移动,四个C型柱移动会带动四个两个C型板移动,两个C型板移动会带动两个圆辊移动,从而可对半导体进行夹持,再通过喷射头即可对半导体进行镀膜,且通过旋转电机带动转盘转动,转盘带动两个喷射头转动,从而可对半导体进行均匀的镀膜,进而提高了该设备的使用效果。
[0015]2.半导体生产用镀膜设备,当对半导体镀膜时,还可通过电动伸缩杆带动横板移动,且通过滑道和滑块的设置,保证了横板移动的稳定性,横板移动会带动旋转电机移动,旋转电机移动会带动喷射头上下移动,从而可对半导体进行全方位镀膜,另外通过第一电机带动其中一个圆辊转动,由于两个圆辊对半导体进行夹持,则其中一个圆辊转动会带动半导体移动,从而可使两个圆辊夹持半导体的位置改变,则可对半导体表面进行全部镀膜,进而提高了半导体镀膜的质量。
[0016]3.半导体生产用镀膜设备,当对半导体镀膜时,还可通过电动伸缩杆带动横板移动,且通过C型杆的设置,保证了横板移动的稳定性,横板移动会带动旋转电机移动,旋转电机移动会带动喷射头上下移动,从而可对半导体进行全方位镀膜,另外通过第一电机带动其中一个圆辊转动,由于两个圆辊对半导体进行夹持,则其中一个圆辊转动会带动半导体移动,从而可使两个圆辊夹持半导体的位置改变,则可对半导体表面进行全部镀膜,进而提高了半导体镀膜的质量。
附图说明
[0017]图1是根据本技术实施例1的半导体生产用镀膜设备的结构示意图;
[0018]图2是根据本技术实施例1的半导体生产用镀膜设备的仰视图;
[0019]图3是根据本技术实施例1的半导体生产用镀膜设备的盒体剖视图;
[0020]图4是根据本技术实施例2的半导体生产用镀膜设备的结构示意图。
[0021]图中:1、箱体;2、箱门;3、横板;4、电动伸缩杆;5、盒体;6、C型板;7、圆辊;8、第一电机;9、旋转电机;10、转盘;11、喷射头;12、滑道;13、滑块;14、条形板;15、丝杆;16、第二电机;17、C型柱;18、C型杆。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0023]实施例1
[0024]参照图1

3,半导体生产用镀膜设备,包括箱体1和盒体5,盒体5水平安装于箱体1内底部中心处,且箱体1一侧为敞开式并铰接有箱门2,箱体1内顶部下方水平设置有横板3,且箱体1顶部设有用于升降横板3的升降机构,箱体1内部四端均设有用于限位横板3的限位
机构,且横板3底部中心处竖直安装有旋转电机9,旋转电机9的输出轴水平安装有转盘10,且转盘10底部两端均设有半导体镀膜机构,盒体5上设有半导体夹持机构。
[0025]本实施例,升降机构包括电动伸缩杆4,且电动伸缩杆4竖直安装于箱体1顶部中心处,电动伸缩杆4的输出轴穿过箱体1顶部并安装于横板3顶部中心处。
[0026]本实施例,半导体镀膜机构包括喷射头11,且喷射头11安装于转盘10底部一端,转盘10顶部一端设有镀膜桶,且镀膜桶和喷射头11连通。
[0027]本实施例,半导体夹持机构包括条形板14和C型板6,且条形板14有两个并分别滑动于盒体5内部,盒体5内部水平转动有丝杆15,且丝杆15表面通过螺纹连接于两个条形板14内部,丝杆15连接两个条形板14的螺纹方向相反,且盒体5内部一侧水平安装有第二电机16,第二电机16的输出轴安装于丝杆15一端中心处。
[0028]本实施例,C型板6有两个并分别设置于盒体5上方,且两个C型板6对称设置,每个C型板6两个短边之间均转动有圆辊7,且其中一个C型板6其中一个短边水平安装有第一电机8,第一电机8的输出轴安装于其中一个圆辊7一端中心处,且两个C型板6长边远离的两侧四端均固定有C型柱17,四个C型柱17下横边四本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.半导体生产用镀膜设备,包括箱体(1)和盒体(5),其特征在于,所述盒体(5)水平安装于箱体(1)内底部中心处,且箱体(1)一侧为敞开式并铰接有箱门(2),所述箱体(1)内顶部下方水平设置有横板(3),且箱体(1)顶部设有用于升降横板(3)的升降机构,所述箱体(1)内部四端均设有用于限位横板(3)的限位机构,且横板(3)底部中心处竖直安装有旋转电机(9),所述旋转电机(9)的输出轴水平安装有转盘(10),且转盘(10)底部两端均设有半导体镀膜机构,所述盒体(5)上设有半导体夹持机构。2.根据权利要求1所述的半导体生产用镀膜设备,其特征在于,所述升降机构包括电动伸缩杆(4),且电动伸缩杆(4)竖直安装于箱体(1)顶部中心处,所述电动伸缩杆(4)的输出轴穿过箱体(1)顶部并安装于横板(3)顶部中心处。3.根据权利要求2所述的半导体生产用镀膜设备,其特征在于,所述半导体镀膜机构包括喷射头(11),且喷射头(11)安装于转盘(10)底部一端,所述转盘(10)顶部一端设有镀膜桶,且镀膜桶和喷射头(11)连通。4.根据权利要求3所述的半导体生产用镀膜设备,其特征在于,所述半导体夹持机构包括条形板(14)和C型板(6),且条形板(14)有两个并分别滑动于盒体(5)内部,所述盒体(5)内部水平转动...

【专利技术属性】
技术研发人员:白莉刘蒙恩钟富平王怀建
申请(专利权)人:重庆工业职业技术学院
类型:新型
国别省市:

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