用于运输载体的磁悬浮系统、其基部结构以及真空沉积系统技术方案

本公开内容的实施方式涉及用于运输载体的磁悬浮系统、用于运输载体的磁悬浮系统的基部结构以及真空沉积系统。所述磁悬浮系统(100)包括：基部结构(20)；载体(10)，所述载体在载体运输空间(55)中沿所述基部结构(20)是可移动的；和悬浮磁体布置(30)，所述悬浮磁体布置用于产生在竖直方向(V)上作用在所述载体上的载体悬浮力(F

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于运输载体的磁悬浮系统、其基部结构以及真空沉积系统


[0001]本公开内容的实施方式涉及用于利用磁悬浮系统运输载体的设备和方法。更具体地，本公开内容的实施方式涉及用于运输载体(特别是用于承载大面积基板的载体)的磁悬浮系统。载体可在用于在大面积基板上沉积材料的真空处理系统中以基本上竖直的取向进行运输。特别地，本公开内容的实施方式涉及磁悬浮系统、磁悬浮系统的基部结构和载体、以及利用磁悬浮系统运输载体的方法。

技术介绍

[0002]用于在基板上进行层沉积的技术包括例如溅射沉积、物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)和热蒸发。经涂覆的基板可用于若干应用和若干
中。例如，经涂覆的基板可用于显示装置的领域中。显示装置可用于制造电视机屏幕、计算机显示器、移动电话、其他手持装置等，以显示信息。典型地，通过利用不同材料的层的堆叠涂覆基板来生产显示器。
[0003]典型地，在具有多个沉积源和其他基板处理设备的真空沉积系统中涂覆基板。典型地，基板沿运输轨道运输通过真空沉积系统，例如从第一沉积源运输到第二沉积源和运输到其他基板处理设备。基板可以基本上竖直的取向被运输通过处理系统。
[0004]典型地，基板由载体(即用于承载基板的承载装置)承载。典型地，使用载体运输系统(例如，其中载体的重量至少部分地由磁力保持的磁悬浮系统) 将载体运输通过真空系统。磁悬浮系统可被配置用于沿限定有用于载体的运输轨道的基部结构运送承载基板的载体。
[0005]准确地且平稳地运输载体通过真空系统是有挑战性的。例如，因在移动部件之间的摩擦而造成的颗粒产生可导致制造工艺的劣化。利用磁悬浮系统运输载体可减少颗粒产生，因为在移动部件之间的机械接触减少。例如，磁悬浮系统可包括产生载体悬浮力(即在竖直方向作用在载体上以保持载体的重量的磁力)的悬浮磁体的布置。
[0006]多个主动控制的磁体单元可用于产生载体悬浮力。换句话说，可以闭环控制的方式来主动控制由悬浮磁体产生的悬浮力，以持续地确保在竖直方向上的预定的载体位置。然而，主动控制的磁体单元是昂贵且复杂的，并且存在发生故障和产生振动的风险。
[0007]因此，提供克服了现有技术的问题中的至少一些的用于在真空系统中悬浮载体并运输载体的改进的磁悬浮系统以及在真空系统中运输载体的改进的方法将是有益的。具体地，提供防故障且易维修的用于运输载体的磁悬浮系统将是有益的。

技术实现思路

[0008]鉴于上文，提供了一种用于运输载体的磁悬浮系统、一种用于运输载体的磁悬浮系统的基部结构以及一种在真空腔室中运输载体的方法。另外的方面、优点和特征从说明书和附图中显而易见。
[0009]根据本公开内容的一方面，提供了一种用于运输载体的磁悬浮系统。该磁悬浮系
统包括：基部结构；载体，该载体在载体运输空间中沿基部结构是可移动的；和悬浮磁体布置，该悬浮磁体布置用于产生载体悬浮力。另外，设置有至少一个机械接触元件，该至少一个机械接触元件被配置为在载体上施加侧向接触力，以抵消由悬浮磁体布置施加在载体上的第一侧向力分量。
[0010]载体悬浮力在竖直方向上作用在载体上，以悬浮载体。第一侧向力分量和侧向接触力可在相反的侧向方向上作用在载体上，使得可在载体运输期间维持载体的预定的侧向位置。
[0011]在一些实施方式中，悬浮磁体布置仅包括被动磁体，使得载体悬浮力是纯被动力。具体地，悬浮磁体布置的所有磁体可以是永磁体。
[0012]在一些实施方式中，悬浮磁体布置包括：设置在载体和基部结构中的一者处的中心磁体；和设置在载体和基部结构中的另一者处的第一侧向磁体和第二侧向磁体，中心磁体在载体的运输期间布置在第一侧向磁体与第二侧向磁体之间。中心磁体在载体的运输期间可布置在第一侧向磁体与第二侧向磁体之间的偏心位置。
[0013]在一些实施方式中，中心磁体、第一侧向磁体和第二侧向磁体分别是具有相反极性的第一磁极和第二磁极的永磁体，并且中心磁体具有第一取向，在第一取向中中心磁体的第一磁极布置在中心磁体的第二磁极上方，并且第一侧向磁体和第二侧向磁体具有与第一取向相反的第二取向。
[0014]在一些实施方式中，第一侧向磁体和第二侧向磁体设置在基部结构处并且在第一侧向磁体和第二侧向磁体之间限定用于中心磁体的空间，并且中心磁体设置在载体处。可选地，中心磁体设置在载体的底端处，中心磁体突出到第一侧向磁体与第二侧向磁体之间的空间中。
[0015]在一些实施方式中，至少一个机械接触元件包括安装在基部结构处的多个可旋转辊。可选地，多个可旋转辊相对于载体运输空间侧向地安装，并且被配置为在载体的运输期间在载体的侧向面上施加压力。
[0016]在一些实施方式中，至少一个机械接触元件相对于载体运输空间仅侧向地安装在载体运输空间的一侧上，并且在载体的运输期间仅在载体的一个侧向面上施加压力。
[0017]在一些实施方式中，载体悬浮力F
V
仅由被动磁体产生。特别地，中心磁体、第一侧向磁体和第二侧向磁体中的至少一者是永磁体。具体而言，悬浮磁体布置可仅包括永磁体。
[0018]在一些实施方式中，磁悬浮系统还包括用于沿基部结构移动载体的线性电机。线性电机可相对于载体运输空间侧向地布置，并且至少一个机械接触元件被配置为在载体上施加侧向接触力F
C
，以抵消由悬浮磁体布置施加在载体上的第一侧向力分量F
L1
和由线性电机施加在载体上的第二侧向力分量F
L2
。
[0019]根据本公开内容的另一方面，提供了一种用于运输载体的磁悬浮系统的基部结构。基部结构限定用于载体的运输轨道，并且包括悬浮磁体布置的第一侧向磁体和第二侧向磁体，该第一侧向磁体和第二侧向磁体之间限定有用于设置在载体处的中心磁体的空间。另外，设置有至少一个机械接触元件，该至少一个机械接触元件被配置为在载体上施加侧向接触力，以抵消由悬浮磁体布置施加在载体上的第一侧向力分量。
[0020]代替地，基部结构可包括磁悬浮系统的中心磁体，并且其间限定用于中心磁体的空间的第一侧向磁体和第二侧向磁体可布置在载体处。
[0021]根据本公开内容的另一方面，提供了另一种用于运输载体的磁悬浮系统。该磁悬浮系统包括：基部结构；载体，该载体在载体运输空间中沿基部结构是可移动的；和悬浮磁体布置，该悬浮磁体布置用于产生载体悬浮力。悬浮磁体布置包括：中心磁体，该中心磁体设置在载体和基体结构中的一者处；和第一侧向磁体和第二侧向磁，该第一侧向磁体和第二侧向磁体设置在载体和基体结构中的另一者处，该中心磁体在载体运输期间在侧向方向上布置在第一侧向磁体与第二侧向磁体之间。中心磁体、第一侧向磁体和第二侧向磁体分别是具有第一磁极和第二磁极的永磁体。中心磁体具有第一取向，在第一取向中该中心磁体的第一磁极布置在中心磁体的第二磁极上方，并且第一侧向磁体和第二侧向磁体具有与中心磁体的第一取向相反的第二取向。
[0022]根据本公开内容的另一方面，提供了一种真空沉积系统。该真空沉积系统包括本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于运输载体的磁悬浮系统(100)，其特征在于，包括：基部结构(20)；载体(10)，所述载体在载体运输空间(55)中沿所述基部结构(20)是移动的；悬浮磁体布置(30)，所述悬浮磁体布置用于产生载体悬浮力(F
V
)；和至少一个机械接触元件(40)，所述至少一个机械接触元件被配置为在所述载体上施加侧向接触力(F
C
)，以抵消由所述悬浮磁体布置(30)施加在所述载体上的第一侧向力分量(F
L1
)。2.如权利要求1所述的磁悬浮系统，其中所述悬浮磁体布置(30)包括：中心磁体(35)，所述中心磁体设置在所述载体和所述基部结构中的一者处；和第一侧向磁体(31)和第二侧向磁体(32)，所述第一侧向磁体和所述第二侧向磁体设置在所述载体和所述基部结构中的另一者处，所述中心磁体(35)在所述载体的运输期间布置在所述第一侧向磁体(31)与所述第二侧向磁体(32)之间。3.如权利要求2所述的磁悬浮系统，其中所述中心磁体(35)在所述载体的运输期间布置在所述第一侧向磁体(31)与所述第二侧向磁体(32)之间的偏心位置。4.如权利要求2所述的磁悬浮系统，其中所述中心磁体(35)、所述第一侧向磁体(31)和所述第二侧向磁体(32)分别是具有相反极性的第一磁极和第二磁极的永磁体，并且所述中心磁体(35)具有第一取向，在所述第一取向中所述中心磁体(35)的所述第一磁极布置在所述中心磁体的所述第二磁极上方，并且所述第一侧向磁体(31)和所述第二侧向磁体(32)具有与所述第一取向相反的第二取向。5.如权利要求2所述的磁悬浮系统，其中所述第一侧向磁体(31)和所述第二侧向磁体(32)设置在所述基部结构(20)处并且在所述第一侧向磁体和所述第二侧向磁体之间限定用于所述中心磁体(35)的空间，并且所述中心磁体(35)设置在所述载体(10)处。6.如权利要求5所述的磁悬浮系统，其中所述中心磁体(35)设置在所述载体的底端处，所述中心磁体突出到所述第一侧向磁体(31)与所述第二侧向磁体(32)之间的所述空间中。7.如权利要求1至6中任一项所述的磁悬浮系统，其中所述至少一个机械接触元件(40)包括安装在所述基部结构(20)处的多个可旋转辊(41)。8.如权利要求7所述的磁悬浮系统，其中所述多个可旋转辊相对于所述载体运输空间(50)侧向地安装，并且被配置为在所述载体的运输期间在所述载体(10)的侧向面(12)上施加压力。9.如权利要求1至6中任一项所述的磁悬浮系统，其中所述至少一个机械接触元件(40)相对于所述载体运输空间(50)仅侧向地安装在所述载体运输空间的一侧上，并且在所述载体的运输期间仅在所述载体的一个侧向面(12)上施加压力。10.如权利要求7中所述的磁悬浮系统，其中所述至少一个机械接触元件(40)相对于所述载体运输空间(50)仅侧向地安装在所述载体运输空间的一侧上，并且在所述载体的运输期间仅在所述载体的一个侧向面(12)上施加压力。11.如权利要求1至6中任一项所述的磁悬浮系统，其中所述载体悬浮力(F
V
)仅由被动磁体产生。12.如权利要求7所述的磁悬浮系统，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：克里斯蒂安，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：新型
国别省市：