本申请披露了一种Micro LED微显示芯片及其制造方法，该Micro LED微显示芯片包括：驱动面板；多个LED单元，排布在所述驱动面板上，所述多个LED单元具有一一对应的多个LED台面，每一所述LED单元能够由所述驱动面板单独驱动；具有多个栅格孔的栅栏结构，所述多个栅格孔分别围绕所述多个LED台面设置，所述LED台面与对应的所述栅格孔之间形成凹陷区域；多个微透镜，所述微透镜具有发光曲面，所述微透镜填充在对应的所述凹陷区域内，用于对所述LED单元发出的光线进行聚拢和/或准直。本方案中多个微透镜设置在对应的凹陷区域内，对光线进行汇聚和/或准直，可以提升Micro LED微显示芯片的发光效率。发光效率。发光效率。
【技术实现步骤摘要】
Micro LED微显示芯片及其制造方法
[0001]本申请实施例涉及LED显示
，并且更为具体地，涉及一种Micro LED微显示芯片及其制造方法。
技术介绍
[0002]现代社会已经进入信息化并向智能化方向发展，显示是实现信息交换和智能化的关键环节。在目前众多显示技术中，Micro LED显示技术受到了广泛关注。Micro LED显示技术是一种自发光显示技术，通过将阵列化的微米级LED单元（也称LED发光单元）集成在有源寻址驱动面板上，以实现单独控制和点亮，从而输出显示图像。
[0003]随着Micro LED显示技术的出现，使得显示设备如增强现实（augmented reality，AR）显示设备、虚拟现实（virtual reality，VR）显示设备、近眼显示（near
‑
eye display，NED）以及抬头显示（head up display，HUD）设备等的微型化和高分辨率成为可能。
[0004]Micro LED微显示芯片一般会包括多个LED发光单元，但是，在工作过程中，LED单元发出的光比较散乱，导致Micro LED微显示芯片的发光效率较低。
技术实现思路
[0005]本申请实施例提供一种Micro LED微显示芯片及其制造方法。下面对本申请实施例涉及的各个方面进行介绍。
[0006]第一方面，提供一种Micro LED微显示芯片，包括：驱动面板；多个LED单元，排布在所述驱动面板上，所述多个LED单元具有一一对应的多个LED台面，每一所述LED单元能够由所述驱动面板单独驱动；具有多个栅格孔的栅栏结构，所述多个栅格孔分别围绕所述多个LED台面设置，所述LED台面与对应的所述栅格孔之间形成凹陷区域；多个微透镜，所述微透镜具有发光曲面，所述微透镜填充在对应的所述凹陷区域内，用于对所述LED单元发出的光线进行聚拢和/或准直。
[0007]作为一种可能的实现方式，所述发光曲面为弧形曲面或半球形曲面。
[0008]作为一种可能的实现方式，所述微透镜的中心轴与所述LED单元的中心轴位于同一直线上。
[0009]作为一种可能的实现方式，沿着所述LED单元的出光方向，所述栅格孔的横截面尺寸逐渐变大。
[0010]作为一种可能的实现方式，所述栅格孔的侧壁为斜面，且所述微透镜的顶表面齐平或者低于所述栅栏结构的顶表面。
[0011]作为一种可能的实现方式，所述栅栏结构的表面设置有反光层，所述反光层设置在所述栅格孔的侧壁和所述栅栏结构的顶表面。
[0012]作为一种可能的实现方式，所述微透镜的发光曲面的曲率半径与所述LED单元的尺寸的比率为0.5
‑
3。
[0013]作为一种可能的实现方式，所述微透镜的材料包括以下中的一种或多种：透明光
刻胶，透明有机树脂，二氧化硅，氮化硅。
[0014]作为一种可能的实现方式，所述微透镜中具有增透粒子。
[0015]作为一种可能的实现方式，所述增透粒子为二氧化钛，所述二氧化钛的含量为15mg/ml~30mg/ml。
[0016]作为一种可能的实现方式，所述LED单元的尺寸为0.1
‑
10微米。
[0017]第二方面，提供一种制造Micro LED微显示芯片的方法，包括：提供一驱动面板；在所述驱动面板上形成多个LED单元，所述多个LED单元具有一一对应的多个LED台面，每一所述LED单元能够由所述驱动面板单独驱动；形成具有多个栅格孔的栅栏结构，所述多个栅格孔分别围绕所述多个LED台面设置，所述LED台面与对应的所述栅格孔之间形成凹陷区域；在所述栅栏结构上形成多个微透镜，所述微透镜具有发光曲面，所述微透镜填充在对应的所述凹陷区域内，用于对所述LED单元发出的光线进行聚拢和/或准直。
[0018]作为一种可能的实现方式，在所述栅栏结构上形成多个微透镜，包括：在所述栅栏结构上形成微透镜材料层，所述微透镜材料层的材质为透明光刻胶或者透明有机树脂；通过刻蚀形成多个微透镜单元；通过烘烤所述多个微透镜单元，以在所述栅栏结构上形成所述多个微透镜。
[0019]作为一种可能的实现方式，在所述栅栏结构上形成多个微透镜，包括：在所述栅栏结构上形成微透镜材料层；在所述微透镜材料层上形成前体层；通过刻蚀形成多个前体层单元；烘烤所述多个前体层单元，形成多个微透镜图形；将所述多个微透镜图形转印至所述微透镜材料层，以在所述栅栏结构上形成所述多个微透镜。
[0020]作为一种可能的实现方式，在所述栅栏结构上形成多个微透镜之前，所述方法还包括：在所述微透镜材料层中添加增透粒子。
[0021]作为一种可能的实现方式，在所述栅栏结构上形成多个微透镜，包括：根据调整烘烤的温度或时长，在所述栅栏结构上形成具有不同曲率的发光曲面的所述多个微透镜。
[0022]作为一种可能的实现方式，在所述栅栏结构上形成多个微透镜之前，所述方法还包括：在所述栅栏结构表面形成反光层。
[0023]作为一种可能的实现方式，在所述栅栏结构表面形成所述反光层，包括：在所述多个LED台面和所述栅栏结构之上形成反光材料层；对所述多个LED台面上的反光材料层进行刻蚀去除，以在所述栅格孔的侧壁和所述栅栏结构的顶表面形成所述反光层。
[0024]作为一种可能的实现方式，在所述驱动面板上形成多个LED单元，包括：在所述驱动面板上形成LED外延层；根据图形化掩膜设计的MESA图形，对所述LED外延层进行刻蚀，以形成所述多个LED单元。
[0025]本申请实施例中的Micro LED微显示芯片，包括多个LED单元、具有多个栅格孔的栅栏结构和多个微透镜。多个LED单元具有一一对应的多个LED台面，多个栅格孔分别围绕该多个LED台面设置，LED台面与对应的栅格孔之间可以形成凹陷区域，微透镜填充在对应的凹陷区域内。一方面，本方案中微透镜直接覆盖LED单元，且填充对应凹陷区域，使得微透镜可以更好的聚拢、准直LED单元从出光顶表面以及侧面发出的光线，从而提升了Micro LED微显示芯片的发光效率、提升了整体的发光亮度。另一方面，微透镜直接覆盖LED单元，且填充对应凹陷区域，增大了微透镜与Micro LED微显示芯片的接触面积，从而使得微透镜不易脱落，提升了产品的良率。
附图说明
[0026]通过结合附图对本申请实施例进行更详细的描述，本申请的上述以及其他目的、特征和优势将变得更加明显。附图用来提供对本申请实施例的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本申请实施例一起用于解释本申请，并不构成对本申请的限制。在附图中，相同的参考标号通常代表相同部件或步骤。
[0027]图1是本申请实施例提供的Micro LED微显示芯片的一种可能的结构示意图。
[0028]图2是图1中示出的Micro LED微显示芯片的另一种可能的结构示意图。
[0029]图3是本申请一实施例提供的制造Micro LED微显示芯片的方法的流程示意图。本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种Micro LED微显示芯片，其特征在于，包括：驱动面板；多个LED单元，排布在所述驱动面板上，所述多个LED单元具有一一对应的多个LED台面，每一所述LED单元能够由所述驱动面板单独驱动；具有多个栅格孔的栅栏结构，所述多个栅格孔分别围绕所述多个LED台面设置，所述LED台面与对应的所述栅格孔之间形成凹陷区域；多个微透镜，所述微透镜具有发光曲面，所述微透镜填充在对应的所述凹陷区域内，用于对所述LED单元发出的光线进行聚拢和/或准直。2.根据权利要求1所述的Micro LED微显示芯片，其特征在于，所述发光曲面为弧形曲面或半球形曲面。3.根据权利要求1所述的Micro LED微显示芯片，其特征在于，所述微透镜的中心轴与所述LED单元的中心轴位于同一直线上。4.根据权利要求1所述的Micro LED微显示芯片，其特征在于，沿着所述LED单元的出光方向，所述栅格孔的横截面尺寸逐渐变大。5.根据权利要求4所述的Micro LED微显示芯片，其特征在于，所述栅格孔的侧壁为斜面，且所述微透镜的顶表面齐平或者低于所述栅栏结构的顶表面。6.根据权利要求1所述的Micro LED微显示芯片，其特征在于，所述栅栏结构的表面设置有反光层，所述反光层设置在所述栅格孔的侧壁和所述栅栏结构的顶表面。7.根据权利要求1所述的Micro LED微显示芯片，其特征在于，所述微透镜的发光曲面的曲率半径与所述LED单元的尺寸的比率为0.5
‑
3。8.根据权利要求1所述的Micro LED微显示芯片，其特征在于，所述微透镜的材料包括以下中的一种或多种：透明光刻胶，透明有机树脂，二氧化硅，氮化硅。9.根据权利要求1所述的Micro LED微显示芯片，其特征在于，所述微透镜中具有增透粒子。10.根据权利要求9所述的Micro LED微显示芯片，其特征在于，所述增透粒子为二氧化钛，所述二氧化钛的含量为15mg/ml~30mg/ml。11.根据权利要求1所述的Micro LED微显示芯片，其特征在于，所述LED单元的尺寸为0.1
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10微米。12.一种制造Micro LED微显示芯片的方法，其特征在于，包括：提供一驱动面板；在所述驱动面...
【专利技术属性】
技术研发人员：张闹，庄永漳，卢子元，曾鸿图，仉旭，
申请(专利权)人：镭昱光电科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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