一种新型化学机械抛光机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型化学机械抛光机，涉及抛光机技术领域，包括机体，机体的顶端设有抛光组件，抛光组件包括支撑杆、加工板、支撑架、驱动电机、加工盘和辅助结构，支撑杆与机体顶端的中部转动连接，支撑杆的顶端固定加工板，支撑架固定设置在机体顶端的中部，支撑架的顶端开设有调节槽，调节槽的内部转动连接有固定架，本实用新型专利技术的有益效果是：通过支撑杆支撑加工板，并通过驱动电机固定加工盘，来配合对物料进行抛光打磨处理，同时使用支撑架对固定架进行支撑，并配合电动液压推杆的伸缩端带动支撑架快速转动调节加工盘的位置，来使其与放料板位置和加工板的位置对应来实现快速上下料使用。上下料使用。上下料使用。

【技术实现步骤摘要】
一种新型化学机械抛光机


[0001]本技术涉及一种抛光机，特别涉及一种新型化学机械抛光机，属于抛光机


技术介绍

[0002]抛光机也称为研磨机，常常用作机械式研磨、抛光及打蜡。其工作原理是：电动机带动安装在抛光机上的海绵或羊毛抛光盘高速旋转，由于抛光盘和抛光剂共同作用并与待抛表面进行摩擦，进而可达到去除漆面污染、氧化层、浅痕的目的。抛光盘的转速一般在1500
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3000 r/min，多为无级变速，施工时可根据需要随时调整。
[0003]其中申请号为“CN202020874855.8”所公开的“一种电化学机械抛光机”也是日益成熟的技术，其“包括气缸、导电环、抛光头、透明保护罩、导电盘、安装板和安装框架；所述气缸通过安装板与第一调速电机相连接，并通过固定块固定在安装框架上，所述导电环与抛光头通过上旋转轴相连；所述安装板上固定有气缸活塞杆、双直线导轨和滑块，所述第一调速电机的输出轴通过上联轴器与上旋转轴相连接。本技术结合电、化学、机械多能场作用，可实现集成电路制造中互连金属的高效、超精密抛光”，但是该装置在实际使用时还存在以下缺陷。
[0004]1）不便于对抛光结构快速调节移动，来便于配合工作人员实现快速上下料使用；
[0005]2）不便于快速调节夹持物料并对加持料进行调节夹持使用。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于提供一种新型化学机械抛光机，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的化学机械抛光机不便于对抛光结构快速调节移动实现快速上下料，且不便于快速调节夹持物料的问题。
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种新型化学机械抛光机，包括机体，所述机体的顶端设有抛光组件，所述抛光组件包括支撑杆、加工板、支撑架、驱动电机、加工盘和辅助结构，所述支撑杆与所述机体顶端的中部转动连接，所述支撑杆的顶端固定加工板，所述支撑架固定设置在所述机体顶端的中部，所述支撑架的顶端开设有调节槽，所述调节槽的内部转动连接有固定架，所述固定架的一侧滑动连接有驱动电机，所述驱动电机的顶端固定设有加工盘，所述加工盘的底端设有辅助结构。
[0008]优选的，所述支撑架的一侧固定设有支撑板，所述支撑板的一侧转动连接有电动液压推杆，所述电动液压推杆的伸缩端与所述固定架的另一侧转动连接，所述固定架的一侧固定设有第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆的伸缩端与所述驱动电机的顶端固定连接，所述固定架一侧的固定设有两个定位杆，两个所述定位杆均与所述驱动电机的两侧滑动连接。
[0009]优选的，所述辅助结构包括加工槽、限位板、辅助杆、第二电动伸缩杆和放料板，所述加工槽开设在所述加工盘的底端，所述加工槽的内部开设有四个滑动槽，四个所述滑动
槽的底端均滑动连接有限位板，四个所述限位板的一侧均固定设有限位垫，四个所述限位板的另一侧均转动连接有辅助杆，四个所述辅助杆的一端均与所述加工盘的表面螺纹连接，所述第二电动伸缩杆固定设置在所述机体顶端的另一侧，所述第二电动伸缩杆的伸缩端均固定设有放料板。
[0010]优选的，所述机体的内部开设有放置槽，所述放置槽的内部滑动连接有放置板，所述放置板的一侧固定设有把手。
[0011]优选的，所述机体的内部开设有驱动槽，所述驱动槽的内部固定设有伺服电机，所述支撑杆的底端固定设有连接杆，所述伺服电机的传动轴通过联轴器与所述连接杆的一端固定连接。
[0012]优选的，所述机体的一侧固定设有控制箱，所述控制箱的内部固定设有开关面板，所述开关面板的表面固定设有电动液压推杆开关、第一电动伸缩杆开关、第二电动伸缩杆开关、驱动电机开关和伺服电机开关，所述电动液压推杆、第一电动伸缩杆、第二电动伸缩杆、驱动电机和伺服电机分别通过电动液压推杆开关、第一电动伸缩杆开关、第二电动伸缩杆开关、驱动电机开关和伺服电机开关与电源电性连接。
[0013]优选的，所述机体底端的四角均固定设有减震器，四个所述减震器的底端均固定设有底板。
[0014]与相关技术相比较，本技术提供的一种新型化学机械抛光机具有如下有益效果：
[0015]1、通过支撑杆支撑加工板，并通过驱动电机固定加工盘，来配合对物料进行抛光打磨处理，同时使用支撑架对固定架进行支撑，并配合电动液压推杆的伸缩端带动支撑架快速转动调节加工盘的位置，来使其与放料板位置和加工板的位置对应来实现快速上下料使用，同时使用第一电动伸缩杆的伸缩端便于带动驱动电机沿固定架移动，以便于带动加工盘上下移动调节加工使用；
[0016]2、通过加工槽便于放置加工物料，并同时使用四个复合组干便于带动限位板沿滑动槽滑动调节对物料进行紧固加工或松开下料使用，同时使用限位垫避免挤压损坏物料，使用第二电动伸缩杆的伸缩端便于配合放料板带动物料移动，来便于工作人员快速上下料使用。
附图说明
[0017]图1为本技术的结构示意图；
[0018]图2为本技术的剖面结构示意图；
[0019]图3为本技术图1的A处放大结构示意图；
[0020]图4为本技术图2的B处放大结构示意图。
[0021]图中：1、机体；2、第一电动伸缩杆；3、电动液压推杆；4、抛光组件；41、支撑杆；42、加工板；43、支撑架；44、驱动电机；45、加工盘；46、辅助结构；47、固定架；461、加工槽；462、限位板；463、辅助杆；464、第二电动伸缩杆；465、放料板；5、支撑板；6、减震器；7、底板；8、定位杆；9、放置板；10、把手；11、伺服电机；12、控制箱；13、开关面板。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]实施例1：
[0024]请参阅图1
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4，本技术提供了一种新型化学机械抛光机，包括机体1，机体1的顶端设有抛光组件4，抛光组件4包括支撑杆41、加工板42、支撑架43、驱动电机44、加工盘45、辅助结构46和固定架47，支撑杆41与机体1顶端的中部转动连接，支撑杆41的顶端固定加工板42，支撑架43固定设置在机体1顶端的中部，支撑架43的顶端开设有调节槽，调节槽的内部转动连接有固定架47，固定架47的一侧滑动连接有驱动电机44，驱动电机44的顶端固定设有加工盘45，加工盘45的底端设有辅助结构46；
[0025]支撑架43的一侧固定设有支撑板5，支撑板5的一侧转动连接有电动液压推杆3，电动液压推杆3的伸缩端与固定架47的另一侧转动连接，固定架47的一侧固定设有第一电动伸缩杆2，第一电动伸缩杆2的伸缩端与驱动电机44的顶端固定连接，固定架47一侧的固定设有两个定位杆8，两个定位杆8均与驱动电机44的两侧滑动连接，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型化学机械抛光机，包括机体（1），其特征在于，所述机体（1）的顶端设有抛光组件（4），所述抛光组件（4）包括支撑杆（41）、加工板（42）、支撑架（43）、驱动电机（44）、加工盘（45）、辅助结构（46）和固定架（47），所述支撑杆（41）与所述机体（1）顶端的中部转动连接，所述支撑杆（41）的顶端固定加工板（42），所述支撑架（43）固定设置在所述机体（1）顶端的中部，所述支撑架（43）的顶端开设有调节槽，所述调节槽的内部转动连接有固定架（47），所述固定架（47）的一侧滑动连接有驱动电机（44），所述驱动电机（44）的顶端固定设有加工盘（45），所述加工盘（45）的底端设有辅助结构（46）。2.根据权利要求1所述的一种新型化学机械抛光机，其特征在于：所述支撑架（43）的一侧固定设有支撑板（5），所述支撑板（5）的一侧转动连接有电动液压推杆（3），所述电动液压推杆（3）的伸缩端与所述固定架（47）的另一侧转动连接，所述固定架（47）的一侧固定设有第一电动伸缩杆（2），所述第一电动伸缩杆（2）的伸缩端与所述驱动电机（44）的顶端固定连接，所述固定架（47）一侧的固定设有两个定位杆（8），两个所述定位杆（8）均与所述驱动电机（44）的两侧滑动连接。3.根据权利要求2所述的一种新型化学机械抛光机，其特征在于：所述辅助结构（46）包括加工槽（461）、限位板（462）、辅助杆（463）、第二电动伸缩杆（464）和放料板（465），所述加工槽（461）开设在所述加工盘（45）的底端，所述加工槽（461）的内部开设有四个滑动槽，四个所述滑动槽的底端均滑动连接有限位板（4...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴拥中，龚圣智，赵宇，刘忠旭，
申请(专利权)人：山东加睿晶欣新材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：